【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆盒内污染物萃取的装置
[0001]本专利技术方法属于集成电路制造用晶圆盒清洗领域,尤其涉及一种提高清洗效果节省清洗时间的晶圆盒内污染物萃取/清洗的装置。
技术介绍
[0002]在集成电路制造过程中需要大量晶圆盒转运晶圆,因制造过程使用多种不同种类的化学品如掺杂离子等造成晶圆盒内污染物聚集,一批次集成电路产品制造完成后,需要清洗该过程中使用的晶圆盒以再投入下一批次集成电路产品制造中使用。
[0003]晶圆盒的液体污染物主要包括金属杂质、阴离子杂质、颗粒污染物等。现有检测晶圆盒内液体污染物方法主要采用人工或半人工全浸泡萃取法,使用大量溶剂对晶圆盒内部进行润洗,润洗后取样进行污染物指标测试,由于晶圆盒在集成电路制造中用于放置和运输晶圆,晶圆盒内的污染物多少将直接影响运输晶圆,为避免污染晶圆,萃取清洗晶圆盒内污染物后对萃取液检测,筛选出供下一次集成电路制造使用的污染物降低至合格水平的晶圆盒。
[0004]现有集成电路制造工厂使用的晶圆盒大部分近似正方体,内部体积较大,全浸泡萃取法存在以下问题:
[0005]第一,全浸泡萃取法需要大量的溶剂/萃取液,浪费溶剂/萃取液,成本高昂,且由于采取全浸泡形式,可采取的萃取形式是静态的,无法动态萃取;
[0006]第二,采取全人工或者半人工萃取清洗,无法实现标准化的清洗,需要人工实时检测萃取清洗液污染物水平以确定晶圆盒内污染物降低至合格水平,清洗工序繁杂;
[0007]第三,未采取程序控制手段,无法实时精确调整萃取清洗模式,清洗作业浪费时 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆盒内污染物萃取的装置,包括控制器、由所述控制器控制的动力装置、旋转轴和连接轴;其特征在于,还包括,供所述连接轴在内滑动以控制所述连接轴在半球形方向上自由切换方向的万向器;所述连接轴连接晶圆盒并由所述动力装置带动以使晶圆盒围绕所述旋转轴的轴线旋转;所述万向器包括:垂直槽,以控制所述连接轴在垂直方向上滑动以实现第一状态旋转晶圆盒;所述第一状态是,晶圆盒以第一面水平,晶圆盒围绕所述轴线转动;水平槽,以控制所述连接轴在水平方向上滑动以实现第二状态旋转晶圆盒;所述第二状态是,使所述第一面竖直,晶圆盒围绕所述轴线转动;所述旋转轴固定连接所述万向器,所述动力装置带动所述旋转轴围绕其轴线转动并带动所述万向器以及位于所述万向器内的所述连接轴转动从而带动晶圆盒围绕所述轴线转动;或者,包括与所述旋转轴共轴线的控向轴,所述控向轴与所述连接轴连接且允许所述连接轴在半球形的空间内自由转换方向,所述动力装置带动所述控向轴转动并带动所述连接轴乃至晶圆盒围绕所述轴线转动。2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述万向器还包括,倾斜槽,以控制所述连接轴在倾斜方向上滑动以实现第三状态旋转晶圆盒;所述第三状态是,使所述第一面倾斜,晶圆盒围绕所述轴线转动,以清洗预定区域。3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述万向器是片状或者半圆状。4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述连接轴与所述旋转轴同步或不同步旋转。5.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述垂直槽、所述水平槽或者所述倾斜槽包括与所述连接轴配合以固定方向的定位结构。6.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述预定区域至少包括棱部、和/或组成所述棱部两面的一部分。7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述控制器控制,以使清洗进程满足所述第一状态的清洗程度和所述第二状态的所述清洗程度之间的关系与所清洗的面积比相关;所述清洗进程满足公式(3):ak=Qi/QiiQi=q{a6*f(d,vi),a6*s(vi),a8*e(d,s)}Qii=q{a6*f(d,vii),a7*s(vii),a8*e(d,s)} (3)其中,a取值范围是0.1~10,k是所述第一状态与所述第二状态的清洗面积比,Qi是所述第一状态下的清洗量,Qii是所述第二状态下的清洗量;溶剂对晶圆盒内表面的压力f是溶剂量d和溶剂的速度v的函数,溶剂的路程s是溶剂速度v的函数,清洗成分有效量e是溶剂量d和路程s的函数;a6、a7、a8分别是溶剂在所述第一状态或所述第二状态对晶圆盒内表面的压力f、溶剂经过的路程s、溶剂清洗成分有效量e的之间的权重关系,a6+a7+a8=1或者a6、a7、a8的取值范围是0.1~10。8.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄梦可,王轶滢,
申请(专利权)人:上海集成电路材料研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:
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