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本发明提供一种用于晶圆盒内污染物萃取的装置，包括控制器、由控制器控制的动力装置、旋转轴和连接轴；供连接轴在内滑动以控制连接轴在半球形方向上自由切换方向的万向器；连接轴连接晶圆盒并由动力装置带动以使晶圆盒围绕旋转轴的轴线旋转；所述万向器包括：...
该专利属于上海集成电路材料研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路材料研究院有限公司授权不得商用。

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