炉管快速换气系统技术方案

本发明专利技术公开了炉管快速换气系统，关于太阳能电池片生产技术领域，所述炉管包括炉管本体，所述炉管本体的一端安装有炉门；所述快速换气系统包括进排气组件，用于炉管内部的换气，所述进排气组件包括出气管和进气管，所述出气管和进气管与炉管本体内部形成换气通路；水瓶用于废气的预处理，实现废气的冷却以及分离去除废气中的有害物质；排气组件能够将炉管本体内部的废气抽入水瓶的内部，加快废气排出速率。本发明专利技术通过排气组件能够辅助炉管内部废气的排出，实现炉管的快速换气，另外能够实现废气中偏磷酸的两次分离以及废气的降温冷却，有效提高了废气处理效果，简化了废气后续的处理工艺，并能够对分离出的偏磷酸进行冲洗收集，防止发生污染。防止发生污染。防止发生污染。

【技术实现步骤摘要】
炉管快速换气系统


[0001]本专利技术是关于太阳能电池片生产
，特别是关于炉管快速换气系统。

技术介绍

[0002]随着人们环保意识的越来越强，太阳能电池片行业也得到了足够的发展，在生产太阳能电池片时，需要对单晶硅片进行一系列的加工制造。
[0003]晶硅太阳能电池片的生产工艺流程分为：硅片检测—表面制绒及酸洗—扩散制结—去磷硅玻璃—等离子刻蚀及酸洗—镀减反射膜—丝网印刷—快速烧结等，其中扩散制造PN结是太阳电池生产最基本也是最关键的工序。
[0004]太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850
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900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了N型半导体和P型半导体的交界面，也就是PN结。
[0005]扩散炉管在使用过程中需要通入三氯氧磷，在正常工艺过程中反应会生成偏磷酸掺杂在炉管空气中，对扩散反应的质量造成影响，偏磷酸需要通过换气的方式排放至酸处理设备进行处理。
[0006]现有技术中，扩散炉管的换气只能通过不断通入氮气使炉管内部的废气排出，但这种换气方式效率低下，无法及时的将废气排出，并且无法及时分离出废气中的偏磷酸，导致废气后续处理工艺复杂，增加生产成本。
[0007]因此，针对上述技术问题，有必要提供炉管快速换气系统。

技术实现思路

[0008]本专利技术的目的在于提供炉管快速换气系统，其能够解决换气效率低下，废气处理效果较差的问题。
[0009]为实现上述目的，本专利技术的实施例提供了炉管快速换气系统，所述炉管包括炉管本体，所述炉管本体的一端安装有炉门；
[0010]所述快速换气系统包括：进排气组件，用于炉管内部的换气，所述进排气组件包括出气管和进气管，所述出气管和进气管与炉管本体内部形成换气通路；
[0011]水瓶，用于废气的预处理，实现废气的冷却以及分离去除废气中的有害物质；
[0012]排气组件，能够将炉管本体内部的废气抽入水瓶的内部，加快废气排出速率；
[0013]水冷组件，用于对排气组件进行换热冷却，保障排气组件长时间高效的运行，同时能够冲洗去除水瓶内壁上附着的废气中分离出的有害物质。
[0014]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述出气管和进气管上均安装有气阀，所述
出气管和进气管的一端均与炉门固定连接，所述出气管的另一端与水瓶固定连接，通过所述出气管能够将废气导入水瓶的内部。
[0015]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述出气管的中间管段呈螺旋状盘绕在水瓶的外部。
[0016]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述进气管用于将扩散反应所需要的气体送入炉管本体的内部，所述进气管上固定连接有换热盘管，所述换热盘管位于水瓶的内部。
[0017]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述换热盘管呈螺旋状，且换热盘管的材质为碳素钢、低合金钢、不锈钢、铜、铜镍合金或铝合金中的一种。
[0018]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述水瓶的顶端安装有排气管，所述水瓶的底端安装有收集瓶，所述收集瓶的底端固定连接有排液管，所述排液管上安装有水阀。
[0019]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述水瓶的内部固定连接有固定架，所述排气组件安装在固定架上，所述排气组件包括转动轴、马达、离心扇叶和洒水流道，所述转动轴与固定架固定连接。
[0020]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述马达固定连接在转动轴的输出轴上，所述离心扇叶在马达上安装有多组，所述洒水流道设置在马达和离心扇叶的内部之间。
[0021]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述水冷组件与马达相连接，所述水冷组件包括水箱、增压泵和输水管，所述输水管的一端与马达相连接，所述输水管的内部与洒水流道的内部相连通，所述输水管上安装有控制阀。
[0022]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述增压泵固定连接在水箱上，所述增压泵的输入端与水箱固定连接，所述输水管的一端与增压泵的输出端固定连接。
[0023]与现有技术相比，根据本专利技术实施方式具有以下技术效果：
[0024]本专利技术通过排气组件能够辅助炉管内部废气的排出，实现炉管的快速换气，另外能够实现废气中偏磷酸的两次分离以及废气的降温冷却，有效提高了废气处理效果，简化了废气后续的处理工艺，并能够对分离出的偏磷酸进行冲洗收集，防止发生污染。
附图说明
[0025]图1是根据本专利技术一实施方式的炉管快速换气系统结构示意图；
[0026]图2是根据本专利技术一实施方式的炉管快速换气系统正视图；
[0027]图3是根据本专利技术一实施方式的炉管快速换气系统后视图；
[0028]图4是根据本专利技术一实施方式的炉管快速换气系统水瓶正视剖面放大图一；
[0029]图5是根据本专利技术一实施方式的炉管快速换气系统排气组件剖视放大图；
[0030]图6是根据本专利技术一实施方式的炉管快速换气系统排气组件俯视图；
[0031]图7是根据本专利技术一实施方式的炉管快速换气系统图5中A处放大图；
[0032]图8是根据本专利技术一实施方式的炉管快速换气系统水瓶正视剖面放大图二。
[0033]主要附图标记说明：
[0034]1、炉管本体；2、炉门；3、出气管；4、进气管；5、气阀；6、水瓶；7、排气管；8、收集瓶；9、水阀；10、排液管；11、水箱；12、增压泵；13、输水管；14、控制阀；15、排气组件；1501、转动轴；1502、马达；1503、离心扇叶；1504、洒水流道；16、固定架；17、除雾器；18、换热盘管；19、螺纹接头；20、连接头；21、连接槽；22、密封组件。
具体实施方式
[0035]下面结合附图，对本专利技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本专利技术的保护范围并不受具体实施方式的限制。
[0036]除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。
[0037]如图1至图8所示，根据本专利技术优选实施方式的炉管快速换气系统，炉管包括炉管本体1，硅片送入炉管本体1的内部进行扩散制结工艺。炉管本体1的一端安装有炉门2，炉门2用于密封炉口。
[0038]参图1～3所示，快速换气系统包括：进排气组件用于炉管内部的换气，进排气组件包括出气管3和进气管4，出气管3和进气管4与炉管本体1内部形成换气通路。出气管3和进气管4上均安装有气阀5。通过气阀5的设置可以灵活的控制进气和出气。
[0039]参图1～本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.炉管快速换气系统，其特征在于，所述炉管包括：炉管本体，所述炉管本体的一端安装有炉门；所述快速换气系统包括：进排气组件，用于炉管内部的换气，所述进排气组件包括出气管和进气管，所述出气管和进气管与炉管本体内部形成换气通路；水瓶，用于废气的预处理，实现废气的冷却以及分离去除废气中的有害物质；排气组件，能够将炉管本体内部的废气抽入水瓶的内部，加快废气排出速率；水冷组件，用于对排气组件进行换热冷却，保障排气组件长时间高效的运行，同时能够冲洗去除水瓶内壁上附着的废气中分离出的有害物质。2.如权利要求1所述的炉管快速换气系统，其特征在于，所述出气管和进气管上均安装有气阀，所述出气管和进气管的一端均与炉门固定连接，所述出气管的另一端与水瓶固定连接，通过所述出气管能够将废气导入水瓶的内部。3.如权利要求2所述的炉管快速换气系统，其特征在于，所述出气管的中间管段呈螺旋状盘绕在水瓶的外部。4.如权利要求1所述的炉管快速换气系统，其特征在于，所述进气管用于将扩散反应所需要的气体送入炉管本体的内部，所述进气管上固定连接有换热盘管，所述换热盘管位于水瓶的内部。5.如权利要求4所述的炉管快速换气系统，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵法友，刘洋，
申请(专利权)人：徐州中辉光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：