一种具有活塞模式的声表面波装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种具有活塞模式的声表面波装置，涉及声表面波器件技术领域，该装置包括压电基板和设置在其上的叉指换能器电极，叉指换能器电极包括相互对置的第一汇流条和第二汇流条、沿平行于汇流条延伸方向上间隔交错设置的多根第一电极指和多根第二电极指；两种汇流条均包括汇流条内侧部、汇流条外侧部和用于连接两者的汇流条连接部；每根第一电极指的连接端连接第一汇流条的汇流条内侧部，每根第二电极指的连接端连接第二汇流条的汇流条内侧部；汇流条连接部具有平行于电极指延伸方向的多根汇流条连接指，任一汇流条的汇流条连接指的指条数与所有电极指的指条数之和的比值小于0.5，可以同时实现装置的高Q值性能和抑制横模杂波效果。横模杂波效果。横模杂波效果。

【技术实现步骤摘要】
一种具有活塞模式的声表面波装置


[0001]本专利技术涉及声表面波器件
，尤其是一种具有活塞模式的声表面波装置。

技术介绍

[0002]在传统技术中，已知声表面波装置通常利用活塞模式来抑制横模杂波的产生，所谓的活塞模式为在叉指换能器的电极指所延伸的方向上，在电极指中央区域的外侧依次设置低音速部和高音速部，其中高音速部是由与一侧的汇流条101连接的电极指103a沿着声表面波传播方向配置形成的，如图1所示。由于位于高音速部的电极指103a与位于中央区域的电极指103b为同一叉指电极，因此，位于高音速部的电极指103a的指条数与位于中央区域的电极指103b、104b的指条数的比值通常为0.50，导致高音速部中传播的声表面波的音速相对在中央区域中传播的声表面波的音速的提高程度有限、且大致固定，从而会限制利用活塞模式来抑制寄生横模杂波的效果。因此，需要一种新方案，可以在高音速部获得更大的声速提升，从而实现更好地横模杂波抑制效果。

技术实现思路

[0003]本专利技术人针对上述问题及技术需求，提出了一种具有活塞模式的声表面波装置，本专利技术的技术方案如下：
[0004]一种具有活塞模式的声表面波装置，包括压电基板和设置在压电基板上的叉指换能器电极，叉指换能器电极包括相互对置的第一汇流条和第二汇流条、在沿平行于第一汇流条和第二汇流条的延伸方向上间隔交错设置的多根第一电极指和多根第二电极指；第一汇流条和第二汇流条均包括汇流条内侧部、汇流条连接部和汇流条外侧部，汇流条内侧部和汇流条外侧部之间通过汇流条连接部电连接；每根第一电极指的连接端连接第一汇流条的汇流条内侧部，每根第二电极指的连接端连接第二汇流条的汇流条内侧部；汇流条连接部具有平行于电极指延伸方向的多根汇流条连接指，任一汇流条的汇流条连接指的指条数与第一和第二电极指的指条数之和的比值小于0.5。
[0005]其进一步的技术方案为，任一汇流条的汇流条连接指的指条数与第一和第二电极指的指条数之和的比值范围为[0.25,0.45]。
[0006]其进一步的技术方案为，在电极指延伸方向上，第一电极指和第二电极指均包括电极指激发部、在电极指激发部两侧的电极指增重部、在一个电极指增重部外侧的电极指连接部；电极指增重部和电极指连接部共同作为第一或第二电极指的连接端，每根第一电极指中另一个作为非连接端的电极指增重部朝向第二汇流条，并与汇流条内侧部间隔对置，每根第二电极指中另一个作为非连接端的电极指增重部朝向第一汇流条，并与汇流条内侧部间隔对置。
[0007]其进一步的技术方案为，每根第一和第二电极指的电极指激发部、电极指增重部、电极指连接部沿平行于声表面波传播方向的投影区域依次形成中央区域、第一低音速部、第一高音速部；第一和第二汇流条的汇流条内侧部、汇流条连接部沿平行于声表面波传播
方向的投影区域依次形成第二低音速部、第二高音速部；
[0008]在第一低音速部和第二低音速部中传播的声表面波的音速低于在中央区域中传播的声表面波的音速，在第一高音速部和第二高音速部中传播的声表面波的音速高于在中央区域中传播的声表面波的音速，从而形成活塞模式。
[0009]其进一步的技术方案为，在靠近第一汇流条一侧的所有电极指增重部中，至少有一个电极指增重部的宽度大于电极指增重部所在电极指的电极指激发部的宽度，且在靠近第二汇流条一侧的所有电极指增重部中，至少有一个电极指增重部的宽度大于电极指增重部所在电极指的电极指激发部的宽度；其中，宽度方向平行于声表面波传播方向。
[0010]其进一步的技术方案为，在靠近第一汇流条一侧的所有电极指增重部中，至少有一个电极指增重部的高度大于电极指增重部所在电极指的电极指激发部的高度，且在靠近第二汇流条一侧的所有电极指增重部中，至少有一个电极指增重部的高度大于电极指增重部所在电极指的电极指激发部的高度；其中，高度方向同时垂直于声表面波传播方向和电极指延伸方向。
[0011]其进一步的技术方案为，沿电极指延伸的方向上，位于电极指连接部的第一或第二电极指的指条的单位长度质量是位于电极指激发部的第一或第二电极指的指条的单位长度质量的0.7
‑
1.3倍。
[0012]其进一步的技术方案为，第一汇流条的汇流条内侧部具有沿着第一包络线延伸方向布置的一个条状图案，第一包络线为将多根第二电极指的非连接端依次连接形成的虚拟线；第二汇流条的汇流条内侧部具有沿着第二包络线延伸方向布置的一个条状图案，第二包络线为将多根第一电极指的非连接端依次连接形成的虚拟线。
[0013]其进一步的技术方案为，第一汇流条的汇流条内侧部具有沿着第一包络线延伸方向间隔布置的多个条状图案，第一包络线为将多根第二电极指的非连接端依次连接形成的虚拟线；第二汇流条的汇流条内侧部具有沿着第二包络线延伸方向间隔布置的多个条状图案，第二包络线为将多根第一电极指的非连接端依次连接形成的虚拟线。
[0014]其进一步的技术方案为，压电基板选用具有压电性的块体材料，或者，压电基板选用块体材料和位于块体材料上方的具有压电性的薄膜材料。
[0015]本专利技术的有益技术效果是：
[0016]本申请通过将第一汇流条和第二汇流条进一步划分成包含汇流条内侧部、汇流条连接部和汇流条外侧部的汇流条结构，并与第一电极指和第二电极指共同构建活塞模式，相比于图1示意的传统的声表面波装置，本装置抑制横模杂波的效果更好；并且通过适当设置位于第二高音速部的汇流条连接指的指条数与第一电极指和第二电极指的指条数之和的比值，既可以获得更优的横模杂波抑制效果，又可以保证声表面波装置的电阻值不会太大，从而确保装置的高Q值性能。
附图说明
[0017]图1是传统的声表面波装置示意图。
[0018]图2是本申请提供的具有活塞模式的声表面波装置的概略俯视图。
[0019]图3是实施例一提供的声表面波装置中叉指换能器电极的示意图，其中：(a)概略俯视图；(b)实际俯视图。
[0020]图4是实施例二提供的声表面波装置中叉指换能器电极的示意图。
[0021]图5是实施例三提供的声表面波装置中叉指换能器电极的示意图。
[0022]图6是实施例四提供的声表面波装置中叉指换能器电极的示意图。
[0023]图7是声表面波装置在不同汇流条连接指的指条数与第一电极指和第二电极指的指条数之和的比值(FR)下的阻抗曲线图，其中：(a)FR＝0.50；(b)FR＝0.45；(c)FR＝0.35；(d)FR＝0.25；(e)FR＝0.15。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做进一步说明。
[0025]如图2所示，本申请提供了一种具有活塞模式的声表面波装置，包括压电基板21、设置在压电基板21上的叉指换能器电极22和两个反射器电极23A、23B，可选的，还包括直接设置在叉指换能器电极22和反射器电极23A、23B上的温度补偿层。其中，压电基板21选用具有压电性的块体材料，或者，压电基板21选用块体材料本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有活塞模式的声表面波装置，其特征在于，包括压电基板和设置在所述压电基板上的叉指换能器电极，所述叉指换能器电极包括相互对置的第一汇流条和第二汇流条、在沿平行于所述第一汇流条和第二汇流条的延伸方向上间隔交错设置的多根第一电极指和多根第二电极指；所述第一汇流条和所述第二汇流条均包括汇流条内侧部、汇流条连接部和汇流条外侧部，所述汇流条内侧部和所述汇流条外侧部之间通过所述汇流条连接部电连接；每根所述第一电极指的连接端连接所述第一汇流条的汇流条内侧部，每根所述第二电极指的连接端连接所述第二汇流条的汇流条内侧部；所述汇流条连接部具有平行于电极指延伸方向的多根汇流条连接指，任一汇流条的汇流条连接指的指条数与所述第一和第二电极指的指条数之和的比值小于0.5。2.根据权利要求1所述的具有活塞模式的声表面波装置，其特征在于，任一汇流条的汇流条连接指的指条数与所述第一和第二电极指的指条数之和的比值范围为[0.25,0.45]。3.根据权利要求1所述的具有活塞模式的声表面波装置，其特征在于，在电极指延伸方向上，所述第一电极指和所述第二电极指均包括电极指激发部、在电极指激发部两侧的电极指增重部、在一个电极指增重部外侧的电极指连接部；所述电极指增重部和所述电极指连接部共同作为第一或第二电极指的连接端，每根所述第一电极指中另一个作为非连接端的电极指增重部朝向所述第二汇流条，并与所述汇流条内侧部间隔对置，每根所述第二电极指中另一个作为非连接端的电极指增重部朝向所述第一汇流条，并与所述汇流条内侧部间隔对置。4.根据权利要求3所述的具有活塞模式的声表面波装置，其特征在于，每根第一和第二电极指的电极指激发部、电极指增重部、电极指连接部沿平行于声表面波传播方向的投影区域依次形成中央区域、第一低音速部、第一高音速部；第一和第二汇流条的汇流条内侧部、汇流条连接部沿平行于声表面波传播方向的投影区域依次形成第二低音速部、第二高音速部；在所述第一低音速部和所述第二低音速部中传播的声表面波的音速低于在所述中央区域中传播的声表面波的音速，在所述第一高音速部和所述第二高音速部中传播的声表面波的音速高于在所述中央区域中传播的声表面波的音速，从而形成所述活塞模式。5.根据权利要求3所述的具有活塞模式的声表面波装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王为标，李祥振，许志斌，傅肃磊，王浩威，刘平，
申请(专利权)人：无锡市好达电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：