【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及射频滤波，尤其是一种叉指换能器、声表面波谐振器和装置。
技术介绍
1、声表面波装置作为频率源器件，广泛应用于通信、遥控、报警等系统，而声表面波装置通常存在由横模造成的杂散波，导致器件性能降低。传统的抑制横向模式的叉指换能器100结构如图1所示，在idt电极101的弹性表面波传播方向两侧，配置有反射器102a、102b。该叉指换能器100应用于声表面波装置的实测导纳/电导-频率曲线图如图2所示。通过观察曲线可以看到，传统的叉指换能器结构并不能很好的抑制横向模式，导致通带内的波动较大，无法应用于高性能的声表面波装置中。
2、另一现有技术中，对叉指换能器100进行了加权处理，即叉指换能器200的两相对电极指211和212位于激发区的电极指长度从区域中部向区域端部方向逐渐变小，如图3所示。叉指换能器200应用于声表面波装置的实测导纳/电导-频率曲线图如图4所示。通过观察曲线可以看到，加权后的叉指换能器结构显示出比传统的叉指换能器结构更好的横向模式抑制水平，带内的波动减小，但仍然存在细小的抖动，需要进一步优化。
技术实现思路
1、本专利技术人针对上述问题及技术需求，提出了一种叉指换能器、声表面波谐振器和装置，利用活塞模式(piston mode)和特定形状的标准声速区来实现具有良好的横模抑制效果的大带宽弹性波器件。本专利技术的技术方案如下：
2、第一方面，本申请提供了一种叉指换能器，包括相对交错设置的多根第一电极指和多根第二电极指，以及与第一电极指始端相
3、第一电极指和第二电极指位于标准声速区部分的电极指长度从区域中部向区域端部方向逐渐变大或变小；
4、第一电极指和第二电极指位于低声速区的部分设置成电极指质量增部，电极指质量增部的指条单位长度质量大于第一电极指和第二电极指位于标准声速区的部分的指条单位长度质量；
5、第一电极指和第二电极指的主体采用重金属电极材料。
6、其进一步的技术方案为，两侧的低声速区沿弹性波传播方向的叉指换能器中轴对称分布，或者一侧的低声速区沿弹性波传播方向水平分布。
7、其进一步的技术方案为，重金属电极材料由铜、铂、钨、金、银、钼、钽中的一种或多种组成。
8、其进一步的技术方案为，第一电极指和第二电极指位于标准声速区部分的电极指长度从区域中部向区域端部方向以固定加权系数逐渐变大或变小。
9、其进一步的技术方案为，第一电极指和第二电极指中位于标准声速区的中部的电极指长度大于等于第一电极指和第二电极指中位于标准声速区的端部的电极指长度的0.5倍。
10、其进一步的技术方案为，沿弹性波传播方向上，电极指质量增部的宽度大于第一电极指和第二电极指位于标准声速区的部分的宽度；和/或，沿垂直于区域平面方向上，电极指质量增部的厚度大于第一电极指和第二电极指位于标准声速区的部分的厚度。
11、第二方面，本申请还提供了一种声表面波谐振器，包括：
12、压电基底；
13、设于压电基底工作面上的导电材料薄膜图形；
14、其中，导电材料薄膜图形形成有至少一个叉指换能器和两个反射器，两个反射器沿弹性波传播方向分别布置在叉指换能器的两侧，叉指换能器为第一方面所述的叉指换能器。
15、其进一步的技术方案为，压电基底为具有压电性的块体材料，或者，压电基底为压电多层材料。
16、第三方面，本申请还提供了一种声表面波装置，该装置为声表面波滤波器或多工器，均包括位于串联臂上的谐振器和位于并联臂上的谐振器，其中：
17、谐振器为第二方面所述的声表面波谐振器。
18、本专利技术的有益技术效果是：
19、与现有的声表面波谐振器和装置相比，本申请将叉指换能器的第一电极指和第二电极指设置成三个声速区以形成活塞模式，其中标准声速区的电极指长度从区域中部到端部逐渐变大或变小，即将电极指延伸方向设为标准声速区的宽度所在方向时，所形成的标准声速区的宽度为加权变化，活塞模式和加权变化均有横模抑制的功能，同时使用使得横向模式被抑制的更加彻底；本申请取消在叉指换能器中设置假指，并采用重金属电极材料作为idt电极主体，最大化避免了标准声速区的声能量泄露。
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1.一种叉指换能器，其特征在于，包括相对交错设置的多根第一电极指和多根第二电极指，以及与第一电极指始端相连的第一汇流条和与第二电极指始端相连的第二汇流条，每根电极指末端分别插入相对侧的两根相邻电极指之间且互不接触；在所述第一电极指和所述第二电极指沿弹性波传播方向上相互交叉所形成的区域中，区域边缘设置成低声速区，其余部分为标准声速区，靠近第一汇流条的区域边缘与所述第一汇流条之间、靠近第二汇流条的区域边缘与所述第二汇流条之间为高声速区，所述标准声速区传播弹性波的音速介于所述低声速区和所述高声速区之间；
2.根据权利要求1所述的叉指换能器，其特征在于，两侧的低声速区沿弹性波传播方向的叉指换能器中轴对称分布，或者一侧的低声速区沿弹性波传播方向水平分布。
3.根据权利要求1所述的叉指换能器，其特征在于，所述重金属电极材料由铜、铂、钨、金、银、钼、钽中的一种或多种组成。
4.根据权利要求1所述的叉指换能器，其特征在于，所述第一电极指和所述第二电极指位于所述标准声速区部分的电极指长度从区域中部向区域端部方向以固定加权系数逐渐变大或变小。
5.根据
6.根据权利要求1所述的叉指换能器，其特征在于，沿弹性波传播方向上，所述电极指质量增部的宽度大于所述第一电极指和所述第二电极指位于所述标准声速区的部分的宽度；和/或，沿垂直于区域平面方向上，所述电极指质量增部的厚度大于所述第一电极指和所述第二电极指位于所述标准声速区的部分的厚度。
7.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：
8.根据权利要求7所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述压电基底为具有压电性的块体材料，或者，所述压电基底为压电多层材料。
9.一种声表面波装置，其特征在于，所述装置为声表面波滤波器或多工器，均包括位于串联臂上的谐振器和位于并联臂上的谐振器，其中：
...【技术特征摘要】
1.一种叉指换能器，其特征在于，包括相对交错设置的多根第一电极指和多根第二电极指，以及与第一电极指始端相连的第一汇流条和与第二电极指始端相连的第二汇流条，每根电极指末端分别插入相对侧的两根相邻电极指之间且互不接触；在所述第一电极指和所述第二电极指沿弹性波传播方向上相互交叉所形成的区域中，区域边缘设置成低声速区，其余部分为标准声速区，靠近第一汇流条的区域边缘与所述第一汇流条之间、靠近第二汇流条的区域边缘与所述第二汇流条之间为高声速区，所述标准声速区传播弹性波的音速介于所述低声速区和所述高声速区之间；
2.根据权利要求1所述的叉指换能器，其特征在于，两侧的低声速区沿弹性波传播方向的叉指换能器中轴对称分布，或者一侧的低声速区沿弹性波传播方向水平分布。
3.根据权利要求1所述的叉指换能器，其特征在于，所述重金属电极材料由铜、铂、钨、金、银、钼、钽中的一种或多种组成。
4.根据权利要求1所述的叉指换能器，其特征在于，所述第一电极指和所述第二电极指位于所述标准声速区部分的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李祥振，傅肃磊，俞振一，王为标，刘平，
申请(专利权)人：无锡市好达电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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