弹性波装置制造方法及图纸

本申请关于一种弹性波装置，涉及弹性波器件领域。包括压电性基板以及设置在压电性基板上的叉指换能器电极，叉指换能器电极包括沿弹性波传播方向间隔布置的n根电极指，n为正整数值，每根电极指都具有各自的电极指宽度、电极指间隙和电极指周期，n根电极指具有算术平均的电极指宽度、算术平均的电极指间隙和算术平均的电极指周期；n根电极指中存在m根电极指，m根电极指中的任意一根电极指的电极指宽度与算术平均的电极指宽度的比值、电极指间隙与算术平均的电极指间隙的比值、电极指周期与算术平均的电极指周期的比值中的至少一者落在0.97至0.99，或1.01至1.03范围内。解决了现有弹性波装置存在的伴生工作模态的寄生杂波很难抑制或削弱的问题。难抑制或削弱的问题。难抑制或削弱的问题。

【技术实现步骤摘要】
弹性波装置


[0001]本申请涉及弹性波器件
，特别涉及一种弹性波装置。

技术介绍

[0002]弹性波装置已广泛应用于通信、医疗、卫星、交通等领域。现有技术中的弹性波装置，有时存在伴生工作模态的寄生杂波，很难抑制或削弱。这导致基于该种弹性波装置的滤波器或双工器存在通带插损过大或带外抑制不够的情况。

技术实现思路

[0003]本申请的目的是提供一种弹性波装置，以解决上述现有弹性波装置存在的伴生工作模态的寄生杂波很难抑制或削弱，导致基于该种弹性波装置的滤波器或双工器存在通带插损过大或带外抑制不够的问题。
[0004]为实现上述目的，本申请采用的技术方案为：
[0005]一方面，本申请提供了一种弹性波装置，包括压电性基板以及设置在所述压电性基板上的叉指换能器电极，所述叉指换能器电极包括沿弹性波传播方向间隔布置的n根电极指，所述n为正整数值，每根所述电极指都具有各自的电极指宽度、电极指间隙和电极指周期，所述n根电极指具有算术平均的电极指宽度、算术平均的电极指间隙和算术平均的电极指周期；
[0006]所述n根电极指中存在m根电极指，所述m根电极指中的任意一根电极指的电极指宽度与所述算术平均的电极指宽度的比值、电极指间隙与所述算术平均的电极指间隙的比值、电极指周期与所述算术平均的电极指周期的比值中的至少一者落在以下范围内：
[0007]0.97至0.99，或1.01至1.03；
[0008]其中，所述m为小于等于n的任意正整数，且m/n≥0.6。
[0009]在一种可能的实现方式中，所述叉指换能器电极的n根电极指包括相互交错插入的多根第一电极指和多根第二电极指，以及在所述第一电极指、所述第二电极指指条延伸方向上相互对置的第一汇流条和第二汇流条；多根所述第一电极指和多根所述第二电极指都具有各自的第一端部和第二端部；多根所述第一电极指的第一端部与所述第一汇流条直接连接，多根所述第一电极指的第二端部与所述第二汇流条间隔对置；多根所述第二电极指的第一端部与所述第二汇流条直接连接，多根所述第二电极指的第二端部与所述第一汇流条间隔对置。
[0010]在一种可能的实现方式中，还包括温度补偿层，所述温度补偿层由具有正的温度系数的材料构成，所述温度补偿层设置在所述压电性基板上并覆盖所述叉指换能器电极以及所述叉指换能器电极的电极指之间的间隙区域。
[0011]在一种可能的实现方式中，所述压电性基板为具有压电性的块体材料。
[0012]在一种可能的实现方式中，所述压电性基板包括位于所述叉指换能器电极下方的压电材料膜、位于所述压电材料膜下方的低声速材料膜以及位于所述低声速材料膜下方的
高声速支撑基板；或
[0013]所述压电性基板包括位于所述叉指换能器电极下方的压电材料膜以及位于所述压电材料膜下方的并与所述压电材料膜直接接触的高声速支撑基板。
[0014]在一种可能的实现方式中，在所述低声速材料膜中传播的体波的声速比在所述压电材料膜中传播的体波的声速低，在所述高声速支撑基板中传播的体波的声速比在所述压电材料膜中传播的体波的声速高。
[0015]在一种可能的实现方式中，所述压电性基板包括：
[0016]位于所述叉指换能器电极下方的压电材料膜；以及
[0017]位于所述压电材料膜下方的空腔，所述空腔具有反射在所述压电材料膜中传播的声波的作用。
[0018]在一种可能的实现方式中，所述压电性基板包括：
[0019]位于所述叉指换能器电极下方的压电材料膜；以及
[0020]位于所述压电材料膜下方的布拉格声学反射器，所述布拉格声学反射器包括多个低声阻抗膜层和多个高声阻抗膜层，多个所述低声阻抗膜层与多个所述高声阻抗膜层间隔布置，所述布拉格声学反射器具有反射在所述压电材料膜中传播的声波的作用。
[0021]另一方面，本申请提供了一种滤波器装置，所述滤波器装置与天线连接，所述滤波器装置包括串联臂弹性波装置以及并联臂弹性波装置，所述串联臂弹性波装置以及所述并联臂弹性波装置中的至少一个弹性波装置是如上任一所述的弹性波装置。
[0022]另一方面，本申请提供了一种多工器，包括：
[0023]天线端子，其与天线连接；以及
[0024]多个滤波器装置，公共连接于所述天线端子，至少一个所述滤波器装置是上述滤波器装置。
[0025]本申请提供的技术方案带来的有益效果至少包括：
[0026]通过适当调整叉指换能器电极的电极指线宽、间隙、周期等参数，可以减小甚至消除伴生工作模态的寄生杂波，进而提升基于该种弹性波装置的滤波器或双工器的通带插损性能或带外抑制性能。
附图说明
[0027]附图用来提供对本申请的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本申请，并不构成对本申请的限制。在附图中：
[0028]图1示出了本申请实施例一提供的弹性波装置100的俯视示意图；
[0029]图2示出了图1中的A
‑
A
’
剖视示意图；
[0030]图3示出了本申请实施例二提供的弹性波装置200的俯视示意图；
[0031]图4示出了图3中的B
‑
B
’
剖视示意图；
[0032]图5示出了本申请实施例三提供的弹性波装置300的俯视示意图；
[0033]图6示出了图5中的C
‑
C
’
剖视示意图；
[0034]图7示出了本申请实施例四提供的弹性波装置400的俯视示意图；
[0035]图8示出了图7中的D
‑
D
’
剖视示意图；
[0036]图9示出了本申请实施例五提供的弹性波装置500的俯视示意图；
[0037]图10示出了图9中的E
‑
E
’
剖视示意图；
[0038]图11(a)至图11(f)示出了本申请实施例一提供的弹性波装置100在不同的电极指间隙b设置时的导纳
‑
频率曲线图；
[0039]图12(a)至图12(f)示出了本申请实施例一的变形例一提供的弹性波装置100在不同的电极指间隙b设置时的导纳
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频率曲线图；
[0040]图13(a)至图13(f)示出了本申请实施例一的变形例二提供的弹性波装置100在不同的电极指间隙b设置时的导纳
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频率曲线图；
[0041]图14(a)至图14(f)示出了本申请实施例一的变形例三提供的弹性波装置100在不同的电极指间隙b设置时的导纳
‑
频率曲线图；
[0042]图15(a)至图15(f)示出了本申请实施例一的变形例四提供的弹性波装置100在不同的电极指间隙b设置时的导纳
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频率曲线图；
[0043]图16(a)示出了本申请实施例一提供的弹性波装置100的叉指换能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种弹性波装置，包括压电性基板以及设置在所述压电性基板上的叉指换能器电极，所述叉指换能器电极包括沿弹性波传播方向间隔布置的n根电极指，所述n为正整数值，每根所述电极指都具有各自的电极指宽度、电极指间隙和电极指周期，所述n根电极指具有算术平均的电极指宽度、算术平均的电极指间隙和算术平均的电极指周期，其特征在于：所述n根电极指中存在m根电极指，所述m根电极指中的任意一根电极指的电极指宽度与所述算术平均的电极指宽度的比值、电极指间隙与所述算术平均的电极指间隙的比值、电极指周期与所述算术平均的电极指周期的比值中的至少一者落在以下范围内：0.97至0.99，或1.01至1.03；其中，所述m为小于等于n的任意正整数，且m/n≥0.6。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述叉指换能器电极的n根电极指包括相互交错插入的多根第一电极指和多根第二电极指，以及在所述第一电极指、所述第二电极指指条延伸方向上相互对置的第一汇流条和第二汇流条；多根所述第一电极指和多根所述第二电极指都具有各自的第一端部和第二端部；多根所述第一电极指的第一端部与所述第一汇流条直接连接，多根所述第一电极指的第二端部与所述第二汇流条间隔对置；多根所述第二电极指的第一端部与所述第二汇流条直接连接，多根所述第二电极指的第二端部与所述第一汇流条间隔对置。3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，还包括温度补偿层，所述温度补偿层由具有正的温度系数的材料构成，所述温度补偿层设置在所述压电性基板上并覆盖所述叉指换能器电极以及所述叉指换能器电极的电极指之间的间隙区域。4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述压电性基板为具有压电性的块体...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓士宝，李祥振，傅肃磊，许志斌，窦韶旭，王为标，刘平，
申请(专利权)人：无锡市好达电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：