一种芯片测试多级分选设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片测试多级分选设备，包括水平设置的机架，还包括料盒机构、支台、料梭平台、测试机构、测试分料搬臂、料盘搬臂及测试上料搬臂，机架上形成分选区域及测试区域；分选区域包括依次间隔设置的满盘工位、空盘工位、第一分选工位、第二分选工位、第三分选工位及第四分选工位；测试区域间隔设置有至少两个测试工位；料盒机构包括至少两个；支台水平设置在机架的分选区域内；料梭平台水平设置在机架上；测试机构设置于所述测试工位处；分料搬臂架设在分选区域上方；架设在分选区域上方；测试上料搬臂架设在测试工位上方。本实用新型专利技术芯片批量料盘上料、转移、测试，达到了芯片自动循环不停机测试，有效提升芯片测试效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片测试多级分选设备


[0001]本技术涉及半导体制造设备领域，特别指一种芯片测试多级分选设备。

技术介绍

[0002]在芯片制成工艺中，一项重要工艺为测试，芯片测试的过程是将芯片置于各种环境下测试其各种特性，如电气特性，消耗功率、运行速度、耐压度等。经测试后的芯片，依其电气特性划分为不同等级。而特殊测试则是根据客户特殊需求的技术参数，从相近参数规格、品种中拿出部分芯片，做有针对性的专门测试，看是否能满足客户的特殊需求，以决定是否须为客户设计专用芯片。经一般测试合格的产品贴上规格、型号及出厂日期等标识的标签并加以包装后即可出厂。而未通过测试的芯片则视其达到的参数情况定作降级品或废品。
[0003]基于芯片本身为微型尺寸（毫米级），其工艺测试要求以及现代化测试产能要求，需要设计一种能够实现芯片自动化测试设备。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种实现了芯片批量料盘上料、转移、测试，达到了芯片自动循环不停机测试，有效提升芯片测试效率的芯片测试多级分选设备。
[0005]本技术采用的技术方案如下：一种芯片测试多级分选设备，包括水平设置的机架，还包括料盒机构、支台、料梭平台、测试机构、测试分料搬臂、料盘搬臂及测试上料搬臂，其中，
[0006]所述机架上形成水平承载面，水平承载面的一侧为分选区域，另一侧为测试区域；
[0007]所述分选区域包括依次间隔设置的满盘工位、空盘工位、第一分选工位、第二分选工位、第三分选工位及第四分选工位；<br/>[0008]所述测试区域间隔设置有至少两个测试工位；
[0009]所述料盒机构包括至少两个，至少两个料盒机构设置在所述满盘工位、空盘工位、第一分选工位、第二分选工位处；
[0010]所述支台水平设置在机架的分选区域内；所述第三分选工位及第四分选工位设置在支台上；
[0011]所述料梭平台水平设置在机架上，料梭平台的两侧分别延伸至所述分选区域及测试区域内，以便在分选区域及测试区域之间循环运送料盘；
[0012]所述测试机构包括至少两个，至少两个测试机构分别对应设置于所述测试工位处；
[0013]所述分料搬臂架设在满盘工位、空盘工位、第一分选工位、第二分选工位、第三分选工位及第四分选工位上方，以便将测试完成后的芯片分级存放至第一分选工位、第二分选工位、第三分选工位及第四分选工位处的料盘内；
[0014]所述料盘搬臂架设在满盘工位、空盘工位、第一分选工位、第二分选工位、第三分选工位及第四分选工位上方，以便将搬移料盘；
[0015]所述测试上料搬臂架设在测试工位上方，以便在测试过程中取放芯片。
[0016]优选的，所述料盒机构包括料盒支板、料盒挡板、支撑滑条及开合组件，其中，所述料盒支板包括两块，两块料盒支板平行间隔设置，两者之间形成料盒空间，料盒空间内叠放有料盘；所述支撑滑条包括两块，两块支撑滑条分别水平设置在两块料盒支板内侧壁的下部，并水平向料盒空间内延伸，以便承载支撑料盒空间内的料盘；所述料盒挡板设置在料盒空间的一端处，以便从料盒空间的一端处阻挡料盒空间内放置的料盘；所述开合组件设置在料盒支板的另一端处，开合组件打开或关闭料盒空间的另一端，进行料盘取放。
[0017]优选的，所述料盘搬臂包括第一支座、第一直线模组、第一搬臂滑座、第一升降气缸、第一升降座、搬臂支板及取盘组件，其中，所述第一支座包括至少两个，至少两个第一支座间隔设置在机架上；所述第一直线模组水平设置在第一支座上；所述第一搬臂滑座可滑动地设置在第一直线模组上，并与第一直线模组的输出端连接，经第一直线模组驱动而直线运动；所述第一升降气缸竖直设置在第一搬臂滑座的侧壁上，且输出端朝下设置；所述第一升降座沿竖直方向可滑动地设置在第一搬臂滑座的侧壁上，且与第一升降气缸的输出端连接，经第一升降气缸驱动而升降运动；所述搬臂支板水平连接在第一升降座的下部；所述取盘组件包括至少两组，至少两组取盘组件间隔设置在搬臂支板的下部；所述取盘组件包括取盘气缸及取盘夹座，其中，所述取盘气缸水平设置在搬臂支板的下部，且包括两个向外延伸的输出端；所述取盘夹座设置在取盘气缸的输出端上，并经取盘气缸驱动；所述取盘夹座的下部设有向内水平延伸的插入部，以便取盘时插入料盘下方。
[0018]优选的，所述测试分料搬臂包括第二支座、第二直线模组、第二搬臂滑座、第二升降气缸、第二升降座、取料支座及分选吸嘴，其中，所述第二支座包括至少两个，至少两个第二支座间隔设置在机架上；所述第二直线模组水平设置在第二支座上；所述第二搬臂滑座可滑动地设置在第二直线模组上，并与第二直线模组的输出端连接，经第二直线模组驱动而直线运动；所述第二升降气缸竖直设置在第二搬臂滑座的侧壁上，且输出端朝下设置；所述第二升降座沿竖直方向可滑动地设置在第二搬臂滑座的侧壁上，且与第二升降气缸的输出端连接，经第二升降气缸驱动而升降运动；所述取料支座包括至少两个，至少两个取料支座可活动地连接在第二升降座上，至少两个取料支座的下部形成水平延伸的支台部；所述分选吸嘴包括至少两个，至少两个分选吸嘴竖直设置在所述取料支座的支台部上，分选吸嘴的下端竖直向下延伸至支台部的下方，并通过真空负压吸附固定芯片；所述第二搬臂滑座的下部侧壁上沿水平方向设有通槽；所述第二升降座的侧壁上设有至少两个倾斜通槽；所述取料支座通过连接柱与第二升降座连接；所述连接柱的一端固定在取料支座上，连接柱的另一端水平穿过第二搬臂滑座的通槽插入第二升降座的倾斜通槽内，连接柱在通槽及倾斜通槽内自由滑动。
[0019]优选的，所述测试上料搬臂包括第三支座、第三直线模组、第三搬臂滑座、第四直线模组及测试上料头，其中，所述第三支座包括至少两个，至少两个第三支座间隔设置在机架上；所述第三直线模组水平设置在第三支座上；所述第三搬臂滑座包括至少两个，至少两个第三搬臂滑座可滑动地设置在第三直线模组上，并与第三直线模组的输出端连接，经第三直线模组驱动而直线运动；所述第四直线模组沿垂直于第三直线模组方向设置在第三搬
臂滑座的下部；所述测试上料头可滑动地设置在第四直线模组上，并与第四直线模组的输出端连接，经第四直线模组驱动而直线运动。
[0020]优选的，所述测试上料头包括上料支座、升降部件、横移部件及上料部件，其中，所述上料支座竖直连接在第四直线模组上；所述升降部件包括至少两组，至少两组升降部件设置在上料支座的侧壁上，且沿竖直方向输出动力；所述横移部件设置在上料支座的下方，且沿水平方向输出动力；所述上料部件包括至少两组，至少两组上料部件沿竖直方向可活动地设置在横移部件上，并经横移部件驱动而沿水平方向直线运动；所述上料部件的上部沿水平方向可活动地连接在升降部件上，并经升降部件驱动而沿竖直方向升降运动。
[0021]优选的，所述升降部件包括升降电机、升降传动带、升降滑轨、升降滑座及连接板，其中，所述升降电机水平设置在上料支座的一侧壁上；所述升降传动带套设在升降电机的输出轴及设置于升降电机下方的同步轮上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试多级分选设备，包括水平设置的机架（1），其特征在于：还包括料盒机构（2）、支台（3）、料梭平台（4）、测试机构（5）、测试分料搬臂（6）、料盘搬臂（7）及测试上料搬臂（8），其中，所述机架（1）上形成水平承载面，水平承载面的一侧为分选区域，另一侧为测试区域；所述分选区域包括依次间隔设置的满盘工位（a）、空盘工位（b）、第一分选工位（c）、第二分选工位（d）、第三分选工位（e）及第四分选工位（f）；所述测试区域间隔设置有至少两个测试工位；所述料盒机构（2）包括至少两个，至少两个料盒机构（2）设置在所述满盘工位（a）、空盘工位（b）、第一分选工位（c）、第二分选工位（d）处；所述支台（3）水平设置在机架（1）的分选区域内；所述第三分选工位（e）及第四分选工位（f）设置在支台（3）上；所述料梭平台（4）水平设置在机架（1）上，料梭平台（4）的两侧分别延伸至所述分选区域及测试区域内，以便在分选区域及测试区域之间循环运送料盘；所述测试机构（5）包括至少两个，至少两个测试机构分别对应设置于所述测试工位处；所述分料搬臂（6）架设在满盘工位（a）、空盘工位（b）、第一分选工位（c）、第二分选工位（d）、第三分选工位（e）及第四分选工位（f）上方，以便将测试完成后的芯片分级存放至第一分选工位（c）、第二分选工位（d）、第三分选工位（e）及第四分选工位（f）处的料盘内；所述料盘搬臂（7）架设在满盘工位（a）、空盘工位（b）、第一分选工位（c）、第二分选工位（d）、第三分选工位（e）及第四分选工位（f）上方，以便将搬移料盘；所述测试上料搬臂（8）架设在测试工位上方，以便在测试过程中取放芯片。2.根据权利要求1所述的一种芯片测试多级分选设备，其特征在于：所述料盒机构（2）包括料盒支板（21）、料盒挡板（22）、支撑滑条（215）及开合组件，其中，所述料盒支板（21）包括两块，两块料盒支板（21）平行间隔设置，两者之间形成料盒空间（A），料盒空间（A）内叠放有料盘；所述支撑滑条（215）包括两块，两块支撑滑条（215）分别水平设置在两块料盒支板（21）内侧壁的下部，并水平向料盒空间（A）内延伸，以便承载支撑料盒空间（A）内的料盘；所述料盒挡板（22）设置在料盒空间（A）的一端处，以便从料盒空间（A）的一端处阻挡料盒空间（A）内放置的料盘；所述开合组件设置在料盒支板（21）的另一端处，开合组件打开或关闭料盒空间（A）的另一端，进行料盘取放。3.根据权利要求1所述的一种芯片测试多级分选设备，其特征在于：所述料盘搬臂（7）包括第一支座（71）、第一直线模组（72）、第一搬臂滑座（73）、第一升降气缸（74）、第一升降座（75）、搬臂支板（76）及取盘组件，其中，所述第一支座（71）包括至少两个，至少两个第一支座（71）间隔设置在机架（1）上；所述第一直线模组（72）水平设置在第一支座（71）上；所述第一搬臂滑座（73）可滑动地设置在第一直线模组（72）上，并与第一直线模组（72）的输出端连接，经第一直线模组（72）驱动而直线运动；所述第一升降气缸（74）竖直设置在第一搬臂滑座（73）的侧壁上，且输出端朝下设置；所述第一升降座（75）沿竖直方向可滑动地设置在第一搬臂滑座（73）的侧壁上，且与第一升降气缸（74）的输出端连接，经第一升降气缸（74）驱动而升降运动；所述搬臂支板（76）水平连接在第一升降座（75）的下部；所述取盘组件包括至少两组，至少两组取盘组件间隔设置在搬臂支板（76）的下部；所述取盘组件包括取盘气缸（77）及取盘夹座（78），其中，所述取盘气缸（77）水平设置在搬臂支板（76）的下部，且包
括两个向外延伸的输出端；所述取盘夹座（78）设置在取盘气缸（77）的输出端上，并经取盘气缸（77）驱动；所述取盘夹座（78）的下部设有向内水平延伸的插入部，以便取盘时插入料盘下方。4.根据权利要求1所述的一种芯片测试多级分选设备，其特征在于：所述测试分料搬臂（6）包括第二支座（61）、第二直线模组（62）、第二搬臂滑座（63）、第二升降气缸（64）、第二升降座（65）、取料支座（66）及分选吸嘴（67），其中，所述第二支座（61）包括至少两个，至少两个第二支座（61）间隔设置在机架（1）上；所述第二直线模组（62）水平设置在第二支座（61）上；所述第二搬臂滑座（63）可滑动地设置在第二直线模组（62）上，并与第二直线模组（62）的输出端连接，经第二直线模组（62）驱动而直线运动；所述第二升降气缸（64）竖直设置在第二搬臂滑座（63）的侧壁上，且输出端朝下设置；所述第二升降座（65）沿竖直方向可滑动地设置在第二搬臂滑座（63）的侧壁上，且与第二升降气缸（64）的输出端连接，经第二升降气缸（64）驱动而升降运动；所述取料支座（66）包括至少两个，至少两个取料支座（66）可活动地连接在第二升降座（65）上，至少两个取料支座（66）的下部形成水平延伸的支台部；所述分选吸嘴（67）包括至少两个，至少两个分选吸嘴（67）竖直设置在所述取料支座（66）的支台部上，分选吸嘴（67）的下端竖直向下延伸至支台部的下方，并通过真空负压吸附固定芯片；所述第二搬臂滑座（63）的下部侧壁上沿水平方向设有通槽；所述第二升降座（65）的侧壁上设有至少两个倾斜通...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢国强，管宏明，韩飞，欧斌，王勇，
申请(专利权)人：深圳市优界科技有限公司，
类型：新型
国别省市：