【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体行业拉单晶所使用的加热系统。
技术介绍
目前，在现有单晶硅加工过程中，用到的化料设备就是晶体生长炉，晶体 生长炉包括炉体、炉盖、坩埚、导流简、加热系统，坩埚位于炉体内部，加热 系统中有加热器，加热器通过螺栓固定在电极柱上。拉单晶所使用加热系统中的加热器是非常重要的石墨件，加热器的安装是 由电极螺栓直接固定到电极柱上，而电极螺栓直接裸露在炉膛中，在拉制单晶 过程中由于硅液蒸发以及滴落在电极螺栓与加热器上，流到电极螺栓与加热器 缝隙之间，经常出现电极螺栓与加热器粘连现象，拆卸时极易损坏加热器电极 脚，使加热器整个报废。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是提供一种能够防止螺栓与加热器粘连的 单晶硅生长炉的加热系统。为解决上述技术问题，本技术的单晶硅生长炉的加热系统，包括加热 器、电极柱，加热器包括加热器本体和电极脚，螺栓将电极脚固定到电极柱上， 在螺栓和电极脚上配装有密封罩，密封罩将螺栓与电极脚整体包裹。作为本技术的改进，密封罩与加热器本体上的接触部位保持密闭。作为本技术的进一步改进，密封罩的内腔形状与螺栓和电极脚的形状 相配。由于采用了上述技术方案，本技术所取得的技术进步在于 由于密封罩将电极螺栓与电极脚整体包裹，当硅液蒸发以及滴落在电极螺 栓与加热器上时，就会由密封罩挡住；密封罩与加热器的接触部分保持密封，硅液就不会从密封罩与加热器之间的缝隙中流进去。防止了电极螺栓与加热器 粘连现象的发生。由于密封罩可遮住部分加热器的连接部分，硅液从上面流下，就会从密封 罩的下方滴落下来。附图说明图l是本技术单晶硅生长炉改进前的结构剖视图。图2是本技术...
【技术保护点】
一种单晶硅生长炉的加热系统，包括加热器（１）、电极柱（２），加热器（１）包括加热器本体和电极脚，螺栓（３）将电极脚固定到电极柱（２）上，其特征在于：在螺栓（３）和电极脚上配装有密封罩（４），密封罩（４）将螺栓（３）与电极脚整体包裹。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张浩强，颜玉峰，杨立辉，
申请(专利权)人：宁晋松宫电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：13[中国|河北]
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