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一种单晶硅生长炉的加热系统技术方案
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下载一种单晶硅生长炉的加热系统的技术资料
文档序号:3865021
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本实用新型公开了一种单晶硅生长炉的加热系统,包括加热器1、电极柱2,加热器1包括加热器本体和电极脚,螺栓3将电极脚固定到电极柱2上,在螺栓3和电极脚上配装有密封罩4,密封罩4将螺栓3与电极脚整体包裹,密封罩4与加热器本体上的接触部位保持密闭...
该专利属于宁晋松宫电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁晋松宫电子材料有限公司授权不得商用。
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