自动清洗装置制造方法及图纸

一种自动清洗装置，包括：第一容器，用于盛装清洗液；第二容器，用于收集废液；供气装置，与所述第一容器之间通过第一通气管路连接，用于通过所述第一通气管路向所述第一容器提供压缩空气，以将所述清洗液从所述第一容器输送至所述第二容器；开关机构，设置于所述第一通气管路上，用于打开或关闭所述供气装置提供给所述第一容器的压缩空气。上述方案可以实现对废液收集容器的自动化清洗。废液收集容器的自动化清洗。废液收集容器的自动化清洗。

【技术实现步骤摘要】
自动清洗装置


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种自动清洗装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造工艺中，很多场景需要用到化学药液。例如，在涂布工艺中，需要把光刻胶旋涂于晶圆表面，在显影过程中还需要用到显影液。这些化学药液在使用前可能会进行预处理，例如，在将光刻胶涂覆于晶圆表面的场景中，如果光刻胶中含有气泡，可能会导致晶圆表面形成涂布凹坑等异常，影响产品质量。因此，在喷涂光刻胶之前，通常需要先进行排泡处理，将气泡排出至废液收集容器中。此外，其他场景中使用后的残留液体也通常需要用废液收集容器收集，然后经由出液口和出液管路统一排出到厂务废液处理中心。
[0003]在实际应用中，废液收集容器中往往汇集了多种废弃液体，这些废弃液体比较容易结晶，特别是废弃液体量较多时，往往会造成废液收集容器及其出液口、出液管路的堵塞，导致废液收集容器和出液管路无法继续使用。
[0004]现有技术中，当废液收集容器及其出液管路发生堵塞时，通常有两种处理方式：一是将废液收集容器和管路拆卸下来，人工进行清洗；二是对整个废液收集容器和出液管路进行换新。然而，拆卸和重装废液容器和出液管路的过程较为复杂繁琐，可能面临长时间的停机，且由于化学药液通常具有腐蚀性或化学毒性，人工清洗可能造成安全隐患。此外，如果直接做换新处理则可能需要较高的更换费用。

技术实现思路

[0005]本技术实施例解决的技术问题是如何对废液收集容器进行自动清洗。
[0006]为解决上述技术问题，本技术实施例提供一种自动清洗装置，具体包括：第一容器，用于盛装清洗液；第二容器，用于收集废液；供气装置，与所述第一容器之间通过第一通气管路连接，用于通过所述第一通气管路向所述第一容器提供压缩空气，以将所述清洗液从所述第一容器输送至所述第二容器；开关机构，设置于所述第一通气管路上，用于打开或关闭所述供气装置提供给所述第一容器的压缩空气。
[0007]可选的，所述开关机构包括：第一开关组件，所述第一开关组件打开时，所述供气装置向所述第一容器提供压缩空气，所述第一开关组件关闭时，关闭供气；脉冲触发器，用于产生第一脉冲信号，所述第一脉冲信号用于打开或关闭所述第一开关组件。
[0008]可选的，所述第一脉冲信号包括第一信号和第二信号，所述第一信号用于打开所述第一开关组件，所述第二信号用于关闭所述第一开关组件。
[0009]可选的，所述第一信号的时长在所述第一脉冲信号中占据的比例越大，所述供气装置向所述第一容器提供压缩空气的时长越长，从所述第一容器输送至所述第二容器的清洗液越多。
[0010]可选的，所述自动清洗装置还包括：排泡装置，与所述供气装置之间通过第二通气管路连接，用于盛装待排泡液体，所述待排泡液体中包含气泡；所述供气装置还用于通过所
述第二通气管路向所述排泡装置提供压缩空气，以将所述待排泡液体中包含的气泡排出至所述第二容器。
[0011]可选的，所述开关机构还包括第二开关组件，所述第二开关组件打开时，所述供气装置向所述排泡装置提供压缩空气，所述第二开关组件关闭时，关闭供气；所述脉冲触发器还用于产生第二脉冲信号，所述第二脉冲信号用于打开或关闭所述第二开关组件。
[0012]可选的，所述排泡装置包括：第三容器，用于盛装所述待排泡液体；第四容器，与所述第三容器之间通过第一输液管路连接，且与所述第二容器之间通过第二输液管路连接；所述供气装置提供的压缩空气还用于将所述第三容器中盛装的所述待排泡液体的至少一部分，经由所述第一输液管路输送至所述第四容器，再将所述第四容器中的待排泡液体表面的气泡经由所述第二输液管路排出至所述第二容器。
[0013]可选的，所述第二输液管路的进液端口与所述第四容器连接，且满足以下一项或多项：所述第二输液管路的进液端口与所述第四容器中的待排泡液体表面的距离在第一区间内；所述第二输液管路的进液端口与所述第四容器的顶部之间的距离在第二区间内。
[0014]可选的，所述第一区间和所述第二区间为0cm至1cm。
[0015]可选的，所述第二输液管路上设置有单向阀。
[0016]可选的，所述第二容器具有出液口，所述出液口和所述第二容器的底部之间的距离与所述第二容器的高度值之间的比值在第三区间内。
[0017]可选的，所述第三区间为1/3至2/3。
[0018]可选的，所述第一通气管路上还具有压强调节器件，用于调节所述供气装置向所述第一容器提供的压缩空气的压强，所述压强越大，所述清洗液的输送速率越高。
[0019]与现有技术相比，本技术实施例的技术方案具有以下有益效果：
[0020]本技术实施例提供一种自动清洗装置，包括第一容器，用于盛装清洗液；第二容器，用于收集废液；供气装置，与所述第一容器之间通过第一通气管路连接，用于通过所述第一通气管路向所述第一容器提供压缩空气，以将所述清洗液从所述第一容器输送至所述第二容器；开关机构，设置于所述第一通气管路上，用于打开或关闭所述供气装置提供给所述第一容器的压缩空气。通过采用所述供气装置向所述第二容器(例如，废液收集容器)提供压缩空气，可以提供输送动力，以将所述清洗液自动地从所述第一容器(例如，用于盛装清洗液的容器)输送至所述第二容器，使所述清洗液和所述第二容器中的废液发生化学反应，避免所述第二容器中的废液结晶而造成堵塞。此外，通过采用所述气压开关机构，可以方便地控制所述清洗液的输送开启或停止，提高使用的便捷性。
[0021]进一步，在本技术实施例中，所述开关机构包括：第一开关组件，所述第一开关组件打开时，所述供气装置向所述第一容器提供压缩空气，所述第一开关组件关闭时，关闭供气；脉冲触发器，用于产生第一脉冲信号，所述第一脉冲信号用于打开或关闭所述第一开关组件。由于脉冲信号本身可以具有离散性、周期性等特点，相比于采用人工方式定期或不定期地对所述第一开关组件进行开闭，或者采用其他非离散性电信号，利用脉冲信号可以更加方便、全自动化地控制第一开关组件的开闭。
[0022]进一步，所述第一脉冲信号包括第一信号和第二信号，所述第一信号用于打开所述第一开关组件，所述第二信号用于关闭所述第一开关组件。并且，所述第一信号的时长在所述第一脉冲信号中占据的比例越大，所述供气装置向所述第一容器提供压缩空气的时长
越长，从所述第一容器输送至所述第二容器的清洗液越多。在实际应用中，可以结合具体需要，适当设置所述第一信号的时长在所述第一脉冲信号中占据的比例(例如，适当设置所述第一信号的单次触发时长，或者适当设置所述第一信号的触发频率)，以自动控制输送至所述第二容器的清洗液的量。
[0023]进一步，在本技术实施例中，所述自动清洗装置还包括：排泡装置，与所述供气装置之间通过第二通气管路连接，用于盛装待排泡液体，所述待排泡液体中包含气泡；所述供气装置还用于通过所述第二通气管路向所述排泡装置提供压缩空气，以将所述待排泡液体中包含的气泡排出至所述第二容器。通过设置所述排泡装置，可以同时满足本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动清洗装置，其特征在于，包括：第一容器，用于盛装清洗液；第二容器，用于收集废液；供气装置，与所述第一容器之间通过第一通气管路连接，用于通过所述第一通气管路向所述第一容器提供压缩空气，以将所述清洗液从所述第一容器输送至所述第二容器；开关机构，设置于所述第一通气管路上，用于打开或关闭所述供气装置提供给所述第一容器的压缩空气；其中，所述开关机构包括：第一开关组件，所述第一开关组件打开时，所述供气装置向所述第一容器提供压缩空气，所述第一开关组件关闭时，关闭供气；脉冲触发器，用于产生第一脉冲信号，所述第一脉冲信号用于打开或关闭所述第一开关组件。2.根据权利要求1所述的自动清洗装置，其特征在于，所述第一脉冲信号包括第一信号和第二信号，所述第一信号用于打开所述第一开关组件，所述第二信号用于关闭所述第一开关组件。3.根据权利要求2所述的自动清洗装置，其特征在于，所述第一信号的时长在所述第一脉冲信号中占据的比例越大，所述供气装置向所述第一容器提供压缩空气的时长越长，从所述第一容器输送至所述第二容器的清洗液越多。4.根据权利要求1所述的自动清洗装置，其特征在于，还包括：排泡装置，与所述供气装置之间通过第二通气管路连接，用于盛装待排泡液体，所述待排泡液体中包含气泡；所述供气装置还用于通过所述第二通气管路向所述排泡装置提供压缩空气，以将所述待排泡液体中包含的气泡排出至所述第二容器。5.根据权利要求4所述的自动清洗装置，其特征在于，所述开关机构还包括第二开关组件，所述第二开关组件打开时，所述供气装置向所述排泡装置提供压缩空气，所述第二开关组件关闭时，关闭供气；所述脉冲...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋传志，邱明正，时文，孙常胤，
申请(专利权)人：常州承芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：