本实用新型专利技术公开了一种清洗装置，包括清洁箱以及设置于清洁箱的内部用于存放半导体的放置机构，所述清洁箱的底部外壁的四个边角均固定连接有支撑座，且清洁箱的底部内壁固定连接有隔块，所述清洁箱的两端外壁底部均安装有出水管，且出水管的圆周外壁中部均安装有水阀，所述放置机构包括放置盒，放置盒的底部外壁和两端外壁均开有多个等距离分布的通槽；本实用新型专利技术，通过纯净水，即可对放置盒进行清洁，避免清洁剂长时间残留至放置盒，对放置盒产生影响，通过横板插接于槽口中，即可使得横板可以拆卸取下，再通过放置盒插接于插槽，即可使得放置盒易于拆卸，便于工作人员更换或清洁放置盒，同时也便于工作人员放置半导体。同时也便于工作人员放置半导体。同时也便于工作人员放置半导体。
【技术实现步骤摘要】
一种清洗装置
[0001]本技术涉及半导体工艺
，具体是一种清洗装置。
技术介绍
[0002]半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料，在半导体材料生产的生产过程中，常常会需要使用到清洗装置，半导体清洗主要是为了去除芯片生产中产生的各种沾污杂质，是芯片制造中步骤最多的工艺，几乎贯穿整个作业流程，由于硅片的加工过程对洁净度要求非常高，所有与硅片接触的媒介都可能对硅片造成污染，硅片清洗的好坏对器件性能有严重的影响，因此几乎每一步加工都需要清除沾污。
[0003]经检索，专利公开号为“CN213103534U”的一种半导体清洗装置，包括清洗箱、电动机、收液槽、两块固定块、出水装置、丝杆、夹紧装置，所述收液槽与所述清洗箱固定连接，并位于清洗箱上方，两块所述固定块与所述清洗箱固定连接，并位于所述收液槽的两侧，所述丝杆与两块所述固定块转动连接，并位于两块所述固定块的之间，所述丝杆与所述夹紧装置滑动连接，并贯穿，所述丝杆与所述电动机的输出端固定连接，并位于所述丝杆的一侧，所述出水装置与所述清洗箱固定连接，并位于所述清洗箱的上方，调整所述出水装置的位置，让半导体元件与清洗剂充分接触，提高清洗效果。
[0004]以上技术特征存在以下不足：以上装置中的存放半导体的放置盒不便于更换，在使用以上装置清洗半导体时，放置盒经过长时间的使用，长时间的经历水和清洁剂的冲刷，会对放置盒的质量造成不同程度的影响，为了避免放置盒产生质量问题影响半导体的生产，则需要经常对放置盒进行更换，以上装置中的放置盒不便于更换，同时，出水装置的位置也是固定的，工作人员在放置半导体时会受到影响，不方便半导体的放置，因此，亟需设计一种清洗装置来解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种清洗装置，包括清洁箱以及设置于清洁箱的内部用于存放半导体的放置机构，所述清洁箱的底部外壁的四个边角均固定连接有支撑座，且清洁箱的底部内壁固定连接有隔块，所述清洁箱的两端外壁底部均安装有出水管，且出水管的圆周外壁中部均安装有水阀；
[0008]所述放置机构包括放置盒，放置盒的底部外壁和两端外壁均开有多个等距离分布的通槽，所述清洁箱的两侧内壁之间的一端均设置有竖块，两个所述竖块的相对一侧外壁顶部均设置有升降块，两个所述升降块的顶部外壁均开有槽口，升降块的顶部设置有横板，且横板插接于槽口中，所述横板的底部外壁两端均固定连接有安装块，安装块的相对一侧外壁底部均开有插槽，且放置盒插接于插槽中，所述清洁箱的内部设置有用于对放置盒的位置进行上下移动的升降机构，所述清洁箱的内部设置有用于对放置盒的位置进行移动的
位移机构。
[0009]优选的，所述升降机构包括第二螺纹杆，竖块的相对一侧外壁均开有竖槽，第二螺纹杆通过轴承转动连接于竖槽的顶部内壁和底部内壁之间，其中一个所述竖块的顶部外壁通过轴承转动连接有转动座，且第二螺纹杆的顶部外壁固定连接于转动座的底部外壁，另一个所述竖槽的顶部内壁和底部内壁之间固定连接有滑杆，其中一个所述升降块通过螺纹转动套接于第二螺纹杆的圆周外壁顶部，另一个所述升降块滑动套接于滑杆的圆周外壁顶部。
[0010]优选的，所述位移机构包括第一驱动电机，第一驱动电机安装于清洁箱的一端外壁顶部的另一侧，所述清洁箱的两侧均设置有移动块，所述清洁箱的顶部外壁两侧均开有横槽，其中一个所述横槽的两端内壁之间通过轴承转动连接有第一螺纹杆，且第一螺纹杆的一端外壁固定连接于第一驱动电机的输出轴一端，另一个所述横槽的两端内壁之间固定连接有横杆，其中一个所述移动块滑动套接于横杆，且移动块的另一侧外壁固定连接于竖块的一侧外壁，另一个所述移动块通过螺纹转动套接于第一螺纹杆的圆周外壁，且移动块的一侧外壁固定连接于竖块的另一侧外壁。
[0011]优选的，两个所述槽口的底部内壁均开有圆槽，横板的底部外壁两端均固定连接有定位柱，且定位柱均插接于圆槽中。
[0012]优选的，所述清洁箱的底部内壁两端均通过轴承转动连接有柱体，且柱体的圆周外壁均固定连接有多个等距离分布的搅拌叶，所述清洁箱的底部外壁两端均通过轴承转动连接有第一齿轮和第二齿轮，且第一齿轮和第二齿轮的顶部外壁均固定连接于柱体的底部外壁，所述清洁箱的底部设置有齿带，且第一齿轮和第二齿轮均与齿带相啮合，所述清洁箱的底部外壁一端固定连接有支架，支架的底部外壁安装有第二驱动电机，且第二驱动电机的输出轴一端固定连接于第二齿轮的底部外壁。
[0013]优选的，所述清洁箱的一端外壁顶部安装有J形管，J形管的圆周外壁安装有流量计，且J形管的顶部外壁安装有扩展头。
[0014]优选的，所述横板的底部外壁安装有风扇，且横板的顶部外壁安装有把手。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0016]本技术中，通过纯净水，即可对放置盒进行清洁，避免清洁剂长时间残留至放置盒，对放置盒产生影响，通过横板插接于槽口中，即可使得横板可以拆卸取下，再通过放置盒插接于插槽，即可使得放置盒易于拆卸，便于工作人员更换或清洁放置盒，同时也便于工作人员放置半导体，利于使用；
[0017]本技术中，通过转动转动座，带动第二螺纹杆转动，即可使得升降块向上或向下移动，进而即可使得放置盒向上或向下移动，通过第一驱动电机的运行，带动第一螺纹杆转动，即可使得移动块移动，进而即可移动放置盒的位置，便于使用，通过圆槽和定位柱，即可使得在将横板复位时具有定位性，便于工作人员复位，通过流量计，即可对放入清洁剂的剂量进行记录，便于工作人员使用；
[0018]本技术中，通过风扇，即可对清洁完毕的放置盒和放置盒内部的半导体进行风干，便于使用。
附图说明
[0019]图1为一种清洗装置的整体结构示意图。
[0020]图2为一种清洗装置的第一齿轮结构示意图。
[0021]图3为一种清洗装置的搅拌叶结构示意图。
[0022]图4为一种清洗装置的横板结构示意图。
[0023]图5为一种清洗装置的定位柱结构示意图。
[0024]图6为一种清洗装置的滑杆结构示意图。
[0025]图中：1、清洁箱；2、横杆；3、移动块；4、水阀；5、出水管；6、J形管；7、流量计；8、第一驱动电机；9、竖块；10、隔块；11、第一螺纹杆；12、第一齿轮；13、齿带；14、第二驱动电机；15、支架；16、第二齿轮；17、搅拌叶；18、柱体；19、升降块；20、第二螺纹杆；21、放置盒；22、安装块；23、横板；24、风扇；25、定位柱；26、插槽；27、通槽；28、圆槽；29、滑杆。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种清洗装置，包括清洁箱(1)以及设置于清洁箱(1)的内部用于存放半导体的放置机构，其特征在于：所述清洁箱(1)的底部外壁的四个边角均固定连接有支撑座，且清洁箱(1)的底部内壁固定连接有隔块(10)，所述清洁箱(1)的两端外壁底部均安装有出水管(5)，且出水管(5)的圆周外壁中部均安装有水阀(4)；所述放置机构包括放置盒(21)，放置盒(21)的底部外壁和两端外壁均开有多个等距离分布的通槽(27)，所述清洁箱(1)的两侧内壁之间的一端均设置有竖块(9)，两个所述竖块(9)的相对一侧外壁顶部均设置有升降块(19)，两个所述升降块(19)的顶部外壁均开有槽口，升降块(19)的顶部设置有横板(23)，且横板(23)插接于槽口中，所述横板(23)的底部外壁两端均固定连接有安装块(22)，安装块(22)的相对一侧外壁底部均开有插槽(26)，且放置盒(21)插接于插槽(26)中，所述清洁箱(1)的内部设置有用于对放置盒(21)的位置进行上下移动的升降机构，所述清洁箱(1)的内部设置有用于对放置盒(21)的位置进行移动的位移机构。2.根据权利要求1所述的一种清洗装置，其特征在于：所述升降机构包括第二螺纹杆(20)，竖块(9)的相对一侧外壁均开有竖槽，第二螺纹杆(20)通过轴承转动连接于竖槽的顶部内壁和底部内壁之间，其中一个所述竖块(9)的顶部外壁通过轴承转动连接有转动座，且第二螺纹杆(20)的顶部外壁固定连接于转动座的底部外壁，另一个所述竖槽的顶部内壁和底部内壁之间固定连接有滑杆(29)，其中一个所述升降块(19)通过螺纹转动套接于第二螺纹杆(20)的圆周外壁顶部，另一个所述升降块(19)滑动套接于滑杆(29)的圆周外壁顶部。3.根据权利要求1
‑
2任一所述的一种清洗装置，其特征在于：所述位移机构包括第一驱动电机(8)，第一驱动电机(8)安装于清洁箱(1)的一端外壁顶部的另一侧，所述清洁箱(1)的两...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢明波，
申请(专利权)人：中晟芯源半导体江西有限公司，
类型：新型
国别省市：
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