微电子器件散热器结构制造技术

本发明专利技术公开微电子器件散热器结构，包括冷水板、微型水泵和多个虹吸组件，通过特斯拉阀的特性，使得流经多个特斯拉阀输水槽的冷却液的速度变快，从而提高散热效果；通过微型水泵，可以控制冷却液的流速，在冷却液快速流经特斯拉阀输水槽时，就会对弹性薄膜产生虹吸现象，使得弹性薄膜向上凸起，并产生吸力，从而通过第一单向阀，将微电子器件产生的热量吸收至通气圆槽内部，在达到变频时间后，微型水泵就会降低冷却液的流速，使得冷却液慢速流经特斯拉阀输水槽，此时，弹性薄膜恢复初始状态，并通过L形通气槽和第二单向阀，将通气圆槽内部的热气推送至特斯拉阀输水槽内部，且通过流通的冷却液完成散热工作，这样提高了散热效果。这样提高了散热效果。这样提高了散热效果。

【技术实现步骤摘要】
微电子器件散热器结构


[0001]本专利技术属于微电子器件散热相关
，具体涉及微电子器件散热器结构。

技术介绍

[0002]微电子器件是利用微电子工艺技术实现的微型化电子系统芯片和器件，这样可以使电路和器件的性能、可靠性大幅度提高，体积和成本大幅度降低，随着集成技术和微电子封装技术的发展，电子元器件的总功率密度不断增长，而电子元器件和电子设备的物理尺寸却逐渐趋向于小型、微型化，所产生的热量迅速积累，导致集成器件周围的热流密度也在增加，所以，高温环境必将会影响到电子元器件和设备的性能，尤其是对于小型和微型电子元器件，这就需要更加高效的热控制方案。因此，电子元器件的散热问题已演变成为当前电子元器件和电子设备制造的一大焦点；
[0003]目前，微电子器件在随着科技的飞速发展，变得越来越集成化和小型化，这样使得散热面积越来越小，容易出现微电子器件因为散热不畅而损坏，因此，就会使用风冷散热器和水冷散热器进行散热工作，由于水冷散热器内部为S型流通槽，所以冷却液在流经S型流通槽的时候，S型流通槽无法提高冷却液的流速，反而会延缓冷却液的流速，从而就会降低散热效果。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供微电子器件散热器结构，以解决上述
技术介绍
中提出的降低散热效果问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：微电子器件散热器结构，包括冷水板、微型水泵和多个虹吸组件，所述冷水板的前后两侧分别开设有延伸至其左端面的进水槽和出水槽，所述进水槽和所述出水槽之间开设有多个加速流通冷凝液的特斯拉阀输水槽，并多个特斯拉阀输水槽完成快速散热，多个所述特斯拉阀输水槽呈横向结构分布在冷水板中部，所述冷水板的左端前侧固定连接有进水连接管，且进水连接管与进水槽连通，并通过进水连接管，将冷凝液输入至进水槽的内部，所述冷水板的左端后侧固定连接有出水连接管，且出水连接管与出水槽连通，并通过出水连接管，将出水槽内部吸收热量的冷却液排出，所述微型水泵的输出端与进水连接管之间套设有进水管，所述微型水泵的输入端与出水连接管之间套设有出水管，多个所述虹吸组件设置在冷水板下侧，且多个虹吸组件与多个特斯拉阀输水槽连通，多个所述虹吸组件用于将微电子器件产生的热量吸收输送至多个特斯拉阀输水槽内部。
[0006]优选的，所述微型水泵、进水管、进水连接管、进水槽、多个特斯拉阀输水槽、出水槽、出水连接管、出水管形成循环冷却系统。
[0007]优选的，所述虹吸组件包括通气圆槽、弹性薄膜、第一单向阀、L形通气槽和第二单向阀，所述通气圆槽与特斯拉阀输水槽连通，所述通气圆槽的上侧内部固定连接有用于弹性薄膜，且弹性薄膜的上表面与特斯拉阀输水槽的下表面平齐，所述通气圆槽的下侧内部
固定连接有第一单向阀，且第一单向阀的下表面与冷水板的下表面平齐，所述L形通气槽分别与特斯拉阀输水槽和通气圆槽连通，所述L形通气槽靠近特斯拉阀输水槽的一侧内部固定连接有第二单向阀。
[0008]优选的，所述第一单向阀的流通方向为从下往上，所述第一单向阀与所述通气圆槽之间设有密封胶。
[0009]优选的，所述第二单向阀的流通方向为从下往上，所述第二单向阀与所述L形通气槽之间设有密封胶。
[0010]优选的，所述弹性薄膜具有弹性，且通过弹性薄膜的变形，形成活塞气筒，将微电子器件产生的热量吸收输送至特斯拉阀输水槽内部，完成快速散热工作，所述弹性薄膜的上、下两侧外壁涂有防水涂层。
[0011]优选的，所述冷水板的左右两侧开设有多个固定圆孔，且多个固定圆孔按照前后方向分布在冷水板的左右两侧。
[0012]优选的，所述微型水泵为微型变频水泵，且通过微型水泵，完成对冷却液的流速控制。
[0013]优选的，所述进水管和所述出水管均为硅胶水管，所述进水管的内部和所述出水管的内部均设有螺旋钢丝。
[0014]与现有技术相比，本专利技术提供了微电子器件散热器结构，具备以下有益效果：
[0015]1、本专利技术通过特斯拉阀的物理特性，使得流经多个特斯拉阀输水槽的冷却液的速度增加，而冷却液的流速变快，就会提高散热效果；
[0016]2、本专利技术通过微型水泵，可以控制冷却液的流速，在冷却液快速流经多个特斯拉阀输水槽时，就会对多个弹性薄膜产生虹吸现象，使得多个弹性薄膜向上凸起，并产生吸力，从而通过第一单向阀，就会将微电子器件产生的热量吸收至通气圆槽内部，在达到变频时间后，微型水泵就会降低冷却液的流速，使得冷却液慢速流经多个特斯拉阀输水槽，此时，凸起的多个弹性薄膜恢复初始状态，并通过L形通气槽和第二单向阀，将通气圆槽内部的热气推送至特斯拉阀输水槽内部，并通过特斯拉阀输水槽内部的冷却液完成散热工作，这样就提高了散热效果。
附图说明
[0017]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制，在附图中：
[0018]图1为本专利技术提出的微电子器件散热器结构结构示意图；
[0019]图2为图1的仰视结构示意图；
[0020]图3为图2的A
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A方向的剖视结构示意图；
[0021]图4为图3的A部分放大结构示意图；
[0022]图5为图1的正视结构示意图；
[0023]图6为图5的B
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B方向的剖视结构示意图；
[0024]图7为特斯拉阀输水槽的工作状态放大结构示意图；
[0025]图8为图4的水流快速流动下的状态结构示意图；
[0026]图9为图4的水流慢速流动下的状态结构示意图。
[0027]图中：1、微型水泵；2、进水管；3、进水连接管；4、冷水板；5、固定圆孔；6、出水连接管；7、出水管；8、通气圆槽；9、特斯拉阀输水槽；10、弹性薄膜；11、第一单向阀；12、L形通气槽；13、第二单向阀；14、进水槽；15、出水槽。
具体实施方式
[0028]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0029]请参阅图1
‑
9，本专利技术提供一种构技术方案：微电子器件散热器结构，包括：
[0030]冷水板4，冷水板4的前后两侧分别开设有延伸至其左端面的进水槽14和出水槽15，进水槽14和出水槽15之间开设有多个加速流通冷凝液的特斯拉阀输水槽9，并多个特斯拉阀输水槽9完成快速散热，多个特斯拉阀输水槽9呈横向结构分布在冷水板4中部，冷水板4的左端前侧固定连接有进水连接管3，且进水连接管3与进水槽14连通，并通过进水连接管3，将冷凝液输入至进水槽14的内部，冷水板4的左端后侧固定连接有出水连接管6，且出水连接管6与出水槽15连通，并通过出水连接管6，将出水槽15内部吸收热量的冷却液排出；
[0031]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.微电子器件散热器结构，其特征在于，包括：冷水板(4)，所述冷水板(4)的前后两侧分别开设有延伸至其左端面的进水槽(14)和出水槽(15)，所述进水槽(14)和所述出水槽(15)之间开设有多个加速流通冷凝液的特斯拉阀输水槽(9)，并多个特斯拉阀输水槽(9)完成快速散热，多个所述特斯拉阀输水槽(9)呈横向结构分布在冷水板(4)中部，所述冷水板(4)的左端前侧固定连接有进水连接管(3)，且进水连接管(3)与进水槽(14)连通，并通过进水连接管(3)，将冷凝液输入至进水槽(14)的内部，所述冷水板(4)的左端后侧固定连接有出水连接管(6)，且出水连接管(6)与出水槽(15)连通，并通过出水连接管(6)，将出水槽(15)内部吸收热量的冷却液排出；微型水泵(1)，所述微型水泵(1)的输出端与进水连接管(3)之间套设有进水管(2)，所述微型水泵(1)的输入端与出水连接管(6)之间套设有出水管(7)；多个虹吸组件，多个所述虹吸组件设置在冷水板(4)下侧，且多个虹吸组件与多个特斯拉阀输水槽(9)连通，多个所述虹吸组件用于将微电子器件产生的热量吸收输送至多个特斯拉阀输水槽(9)内部。2.根据权利要求1所述的微电子器件散热器结构，其特征在于：所述微型水泵(1)、进水管(2)、进水连接管(3)、进水槽(14)、多个特斯拉阀输水槽(9)、出水槽(15)、出水连接管(6)、出水管(7)形成循环冷却系统。3.根据权利要求1所述的微电子器件散热器结构，其特征在于：所述虹吸组件包括通气圆槽(8)、弹性薄膜(10)、第一单向阀(11)、L形通气槽(12)和第二单向阀(13)，所述通气圆槽(8)与特斯拉阀输水槽(9)连通，所述通气圆槽(8)的上侧内...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱明，雷定中，王帆，
申请(专利权)人：苏州思萃热控材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：