一种烘干装置及石墨舟清洗烘干一体机制造方法及图纸

技术编号:38606119 阅读:14 留言:0更新日期:2023-08-26 23:37
本实用新型专利技术涉及烘干设备技术领域,尤其涉及一种烘干装置及石墨舟清洗烘干一体机。其中,该烘干装置,包括外壳、箱门、扰流机构、加热件以及风机,外壳内设有容置腔,容置腔具有开口;箱门设置在外壳上以开合开口;扰流机构包括可收放的扰流板,扰流板位于容置腔内壁的内侧,在扰流板的内侧形成有烘干腔;加热件加热烘干腔;风机用于在烘干腔内排送气流。该烘干装置通过设置扰流板,容置腔中放入石墨舟后,扰流板放下,扰流板放下后位于容置腔其中一个侧壁的内侧,容置腔的其余侧壁与扰流板围成烘干腔,避免了石墨舟放入容置腔后与容置腔内壁的间距较大,气流不能集中地对石墨舟进行烘干的问题,该烘干装置的烘干效率高。该烘干装置的烘干效率高。该烘干装置的烘干效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种烘干装置及石墨舟清洗烘干一体机


[0001]本技术涉及烘干设备
,尤其涉及一种烘干装置及石墨舟清洗烘干一体机。

技术介绍

[0002]石墨舟是太阳能PECVD设备中硅片镀膜的载体,作用非常关键。在硅太阳能电池制造中的镀膜工艺中,石墨舟的表面会随着制程次数的增加而逐渐被侵蚀,当石墨舟使用次数多之后,会使沉积在电池片表面的SiN膜的差异性变大。因此,当使用次数达到100次以上之后,需要将石墨舟分解并清洗,并在清洗后对其进行烘干。石墨舟的清洗和烘干一般在两个独立的设备(清洗机和烘干机)中进行。清洗时,石墨舟置于清洗机中清洗,并于清洗结束后取出清洗机,通过周转车等载具移送至烘干机。烘干时,石墨舟放入独立式的烘箱内。如此,采用两个独立设备进行清洗和烘干的缺点是效率低,增加了将石墨舟从清洗机转移至烘干机的操作。
[0003]现有的烘箱中预留较大空间以便机械手放入石墨舟,导致石墨舟放入烘箱后与箱体内壁的间距较大,气流不能集中地对石墨舟进行烘干,导致烘干效率低,烘干所需时间长。

技术实现思路

[0004]本技术实施例为了解决现有技术中的烘箱工作时,气流不能集中地对石墨舟进行烘干,导致烘干效率低的技术问题,提供一种烘干装置及石墨舟清洗烘干一体机。
[0005]为了解决上述技术问题,一方面,本技术实施例提供了一种烘干装置,包括:
[0006]外壳,所述外壳内设有容置腔,所述容置腔具有开口;
[0007]箱门,所述箱门设置在所述外壳上以开合所述开口;
[0008]扰流机构,所述扰流机构包括可收放的扰流板,所述扰流板位于所述容置腔内壁的内侧,在所述扰流板的内侧形成有烘干腔;
[0009]加热件,所述加热件加热所述烘干腔;以及
[0010]风机,所述风机用于在所述烘干腔内排送气流。
[0011]可选地,所述扰流机构还包括电机和转轴,所述电机驱动连接所述转轴,所述扰流板卷绕在所述转轴上。
[0012]可选地,两个所述扰流机构相对设于所述箱门上;所述箱门内设有安装空腔,两个所述转轴穿设于所述安装空腔内,所述箱门的内侧设有出口,两个所述扰流板分别通过两个所述出口收放,两个所述扰流板相对设置。
[0013]可选地,所述容置腔的侧壁上设有导槽件,所述扰流板的侧边穿设于所述导槽件内。
[0014]可选地,所述风机位于所述烘干腔的前侧或后侧,两个所述扰流板分别位于所述烘干腔的左右两侧。
[0015]实施本技术实施例,具有如下有益效果:该烘干装置通过设置扰流板,容置腔中放入石墨舟后,扰流板放下,扰流板放下后位于容置腔其中一个侧壁的内侧,容置腔的其余侧壁与扰流板围成烘干腔,避免了石墨舟放入容置腔后与容置腔内壁的间距较大,气流不能集中地对石墨舟进行烘干的问题,该烘干装置具有烘干时气流更集中,烘干效率更高的优点。
[0016]另一方面,本技术实施例还提供了一种石墨舟清洗烘干一体机,包括:
[0017]清洗段;
[0018]烘干段,所述烘干段的始端连接至所述清洗段的末端,以及
[0019]搬运机构,所述搬运机构用于搬运所述烘干段和/或所述清洗段中的石墨舟;
[0020]其中,所述清洗段和/或所述烘干段中具有所述的烘干装置。
[0021]可选地,所述清洗段包括第一箱体,所述烘干段包括第二箱体,所述第一箱体和所述第二箱体分隔布置。
[0022]可选地,所述清洗段还包括依次设置在所述第一箱体内的第一上料部、若干酸洗部、若干喷淋预洗部、若干水洗部、吹扫部、所述烘干装置和第一下料部。
[0023]可选地,所述烘干段还包括依次设置在所述第二箱体内的第二上料部、若干所述烘干装置以及第二下料部,所述第二上料部连接所述第一下料部。
[0024]可选地,所述搬运机构为两个,两个所述搬运机构均包括导轨和机械手,两个所述导轨分别布置在所述清洗段和所述烘干段上,两个所述机械手分别活动设置在两个所述导轨上。
[0025]实施本技术实施例,具有如下有益效果:该石墨舟清洗烘干一体机通过将清洗段和烘干段结合,使清洗和烘干功能结合在一个机器内,并通过搬运机构搬运石墨舟,使石墨舟在该一体机内传送,在清洗结束后无需额外进行搬运石墨舟的操作,具有效率高的优点。
附图说明
[0026]图1是本技术一种烘干装置的纵剖视图;
[0027]图2是本技术一种烘干装置的横剖视图;
[0028]图3是本技术一种烘干装置中的箱门的结构示意图;
[0029]图4是本技术一种石墨舟清洗烘干一体机的结构示意图。
具体实施方式
[0030]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述。仅此声明,本技术在文中出现或即将出现的上、下、左、右、前、后、内、外等方位用词,仅以本技术的附图为基准,其并不是对本技术的具体限定。
[0031]在本技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”、“固定”等应做广义理解,例如,“固定”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0032]在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本技术要求的保护范围之内。
[0033]本技术的一实施例,如图1至图3所示,提供了一种烘干装置1,包括外壳11、加热件、箱门13、扰流机构以及风机15,外壳11内设有容置腔111,容置腔111具有开口112。箱门13设置在外壳11上以开合开口112。扰流机构包括可收放的扰流板14,扰流板14位于容置腔111内壁的内侧,在扰流板14的内侧形成有烘干腔113。加热件加热烘干腔113。风机15用于在烘干腔113内排送气流。
[0034]具体地,外壳11优选是方形的,该开口112优选是位于外壳11的上侧面。加热件优选是电热管且设置在容置腔111内,当然也可以设置在其他位置,只需能够实现对烘干腔113加热即可。扰流板14优选是片状的柔性材料。
[0035]该烘干装置1通过设置扰流板14,容置腔111中放入石墨舟后,扰流板14放下,扰流板14放下后位于容置腔111其中一个侧壁的内侧,容置腔111的其余侧壁与扰流板14围成烘干腔113,避免了石墨舟放入容置腔111后与容置腔111内壁的间距较大,气流不能集中地对本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烘干装置,其特征在于,包括:外壳,所述外壳内设有容置腔,所述容置腔具有开口;箱门,所述箱门设置在所述外壳上以开合所述开口;扰流机构,所述扰流机构包括可收放的扰流板,所述扰流板位于所述容置腔内壁的内侧,在所述扰流板的内侧形成有烘干腔;加热件,所述加热件加热所述烘干腔;以及风机,所述风机用于在所述烘干腔内排送气流。2.如权利要求1所述的烘干装置,其特征在于,所述扰流机构还包括电机和转轴,所述电机驱动连接所述转轴,所述扰流板卷绕在所述转轴上。3.如权利要求2所述的烘干装置,其特征在于,两个所述扰流机构相对设于所述箱门上;所述箱门内设有安装空腔,两个所述转轴穿设于所述安装空腔内,所述箱门的内侧设有出口,两个所述扰流板分别通过两个所述出口收放,两个所述扰流板相对设置。4.如权利要求1至3中任一项所述的烘干装置,其特征在于,所述容置腔的侧壁上设有导槽件,所述扰流板的侧边穿设于所述导槽件内。5.如权利要求1至3中任一项所述的烘干装置,其特征在于,所述风机位于所述烘干腔的前侧或后侧,两个所述扰流板分别位于所述烘干腔的左右两侧。6.一种石墨舟清洗烘干一体...

【专利技术属性】
技术研发人员:殷文杰侯新倾曹利运钟浩东康剑峰陈刚
申请(专利权)人:广东爱旭科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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