特气管和扩散炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种特气管和扩散炉。特气管包括：金属管段，金属管段的一端具有第一连接部；石英管段，石英管段朝向金属管段的一端具有第二连接部，第一连接部与第二连接部插接连接，以使金属管段与石英管段连通；紧固装置，紧固装置至少套设在第一连接部和第二连接部的外侧。本实用新型专利技术解决了现有技术中特气管存在容易导致产品污染的问题。存在容易导致产品污染的问题。存在容易导致产品污染的问题。

【技术实现步骤摘要】
特气管和扩散炉


[0001]本技术涉及扩散设备
，具体而言，涉及一种特气管和扩散炉。

技术介绍

[0002]在太阳能电池制作的过程中，会经过扩散炉对硅片进行扩散，以在硅片上形成P
‑
N结。而在扩散的过程中需要特气管向扩散炉内输送特殊气体，如硅烷，硅烷在扩散炉内受热分解形成沉积物，部分沉积物会沉积到特气管的表面上形成杂质。通常情况下用金属管作为特气管，而金属管受温度的影响较大，在扩散炉内温度升高或降低时，金属管的胀缩程度较大，致使特气管表面上的杂质脱落到硅片上，导致硅片污染，影响产品的品质。
[0003]也就是说，现有技术中特气管存在容易导致产品污染的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种特气管和扩散炉，以解决现有技术中特气管存在容易导致产品污染的问题。
[0005]为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种特气管，包括：金属管段，金属管段的一端具有第一连接部；石英管段，石英管段朝向金属管段的一端具有第二连接部，第一连接部与第二连接部插接连接，以使金属管段与石英管段连通；紧固装置，紧固装置至少套设在第一连接部和第二连接部的外侧。
[0006]进一步地，第一连接部与第二连接部二者中的一个具有连接凹槽，二者中的另一个具有连接凸沿，连接凸沿伸入到连接凹槽内。
[0007]进一步地，特气管还包括密封件，密封件设置在第一连接部与第二连接部之间。
[0008]进一步地，第一连接部和/或第二连接部具有容纳槽，密封件的至少一部分设置在容纳槽内。
[0009]进一步地，紧固装置包括：法兰，法兰至少套设在第一连接部和第二连接部的外侧，法兰的外周面具有向外伸出的止挡凸沿；压紧螺母，压紧螺母的至少一部分套设在法兰上并与止挡凸沿抵接配合，压紧螺母的至少另一部分套设在金属管段上。
[0010]进一步地，法兰的内壁面包括顺次连接地容纳段和装配段，第一连接部和第二连接部位于装配段内，装配段的横截面积大于容纳段的横截面积以形成止挡壁，石英管段的至少一部分与止挡壁抵接配合。
[0011]进一步地，石英管段具有与止挡壁配合的配合凸沿，配合凸沿由第二连接部的外壁面伸出。
[0012]进一步地，压紧螺母具有中心通孔，中心通孔具有顺次连接的大径段和小径段，大径段与小径段的连接过渡处形成限位壁，法兰位于大径段内，金属管段位于小径段内。
[0013]进一步地，紧固装置还包括密封圈，密封圈位于法兰与金属管段之间，密封圈的至少一部分与限位壁抵接配合。
[0014]进一步地，紧固装置还包括锁紧件，锁紧件套设在金属管段上，且锁紧件与压紧螺
母抵接。
[0015]根据本技术的另一方面，提供了一种扩散炉，包括上述的特气管。
[0016]进一步地，扩散炉还包括：炉管，沿炉管的延伸方向的端部具有开口；端盖，端盖可开闭地设置在开口处，特气管的法兰与端盖连接，特气管的石英管段位于炉管内，特气管的金属管段位于炉管外。
[0017]应用本技术的技术方案，特气管包括金属管段、石英管段和紧固装置。金属管段和石英管段通过紧固装置密封连接，以保证气体能在金属管段和石英管段内流动，以向扩散炉内输送特殊气体(如硅烷)。由于石英材料的热膨胀系数较小，石英管段受温度的影响小，在温度变化时，石英管段产生的胀缩变化较小，对沉积在石英管段上的杂质的影响小，使杂质不易从特气管上脱落，减少了对产品的污染。
[0018]在本技术中，扩散炉包括上述及下述的特气管。产品在这样的扩散炉内反应时，杂质对产品的污染少，得到的产品质量更好、良率更高。
附图说明
[0019]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0020]图1示出了本技术的一个可选实施例的扩散炉的结构示意图；
[0021]图2示出了图1中扩散炉的一个角度的视图；
[0022]图3示出了图2中B
‑
B向视图；
[0023]图4示出了图1中端盖与特气管的装配关系示意图；
[0024]图5示出了图4的一个角度的视图；
[0025]图6示出了图1中特气管的结构示意图；
[0026]图7示出了图6中特气管的一个角度的视图；
[0027]图8示出了图7中A
‑
A向视图；
[0028]图9示出了图8中P处的放大图。
[0029]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0030]10、金属管段；11、第一连接部；111、第一面段；112、第二面段；113、第三面段；20、石英管段；21、第二连接部；22、配合凸沿；30、紧固装置；31、法兰；311、止挡凸沿；312、容纳段；313、装配段；314、止挡壁；315、限位段；316、连接段；317、凸起部；32、压紧螺母；321、中心通孔；322、大径段；323、小径段；324、限位壁；325、限位凹槽；33、密封圈；34、锁紧件；40、密封件；50、容纳槽；60、炉管；61、开口；70、端盖；80、特气管；90、气源接头。
具体实施方式
[0031]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0032]需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0033]在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、顶、底”通常
是针对附图所示的方向而言的，或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本技术。
[0034]为了解决现有技术中特气管存在容易导致产品污染的问题，本技术提供了一种特气管和扩散炉。
[0035]在本技术中，特气管80包括金属管段10、石英管段20和紧固装置30。金属管段10和石英管段20通过紧固装置30密封连接，以保证气体能在金属管段10和石英管段20内流动，以向扩散炉内输送特殊气体(如硅烷)。由于石英材料的热膨胀系数较小，石英管段20受温度的影响小，在温度变化时，石英管段20产生的胀缩变化较小，对沉积在石英管段20上的杂质的影响小，使杂质不易从特气管80上脱落，减少了对产品的污染。
[0036]在本技术中，扩散炉包括上述及下述的特气管80。产品在这样的扩散炉内反应时，杂质对产品的污染少，得到的产品质量更好、良率更高。
[0037]实施例一
[0038]在图1至图9所示的具体实施例中，特气管80包括金属管段10、石英管段20和紧固装置30，金属管段10的一端具有第一连接部11；石英管段20朝向金属管段本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种特气管，其特征在于，包括：金属管段(10)，所述金属管段(10)的一端具有第一连接部(11)；石英管段(20)，所述石英管段(20)朝向所述金属管段(10)的一端具有第二连接部(21)，所述第一连接部(11)与所述第二连接部(21)插接连接，以使所述金属管段(10)与所述石英管段(20)连通；紧固装置(30)，所述紧固装置(30)至少套设在所述第一连接部(11)和所述第二连接部(21)的外侧。2.根据权利要求1所述的特气管，其特征在于，所述第一连接部(11)与所述第二连接部(21)二者中的一个具有连接凹槽，二者中的另一个具有连接凸沿，所述连接凸沿伸入到所述连接凹槽内。3.根据权利要求1所述的特气管，其特征在于，所述特气管还包括密封件(40)，所述密封件(40)设置在所述第一连接部(11)与所述第二连接部(21)之间。4.根据权利要求3所述的特气管，其特征在于，所述第一连接部(11)和/或所述第二连接部(21)具有容纳槽(50)，所述密封件(40)的至少一部分设置在所述容纳槽(50)内。5.根据权利要求1所述的特气管，其特征在于，所述紧固装置(30)包括：法兰(31)，所述法兰(31)至少套设在所述第一连接部(11)和所述第二连接部(21)的外侧，所述法兰(31)的外周面具有向外伸出的止挡凸沿(311)；压紧螺母(32)，所述压紧螺母(32)的至少一部分套设在所述法兰(31)上并与所述止挡凸沿(311)抵接配合，所述压紧螺母(32)的至少另一部分套设在所述金属管段(10)上。6.根据权利要求5所述的特气管，其特征在于，所述法兰(31)的内壁面包括顺次连接地容纳段(312)和装配段(313)，所述第一连接部(11)和所述第二连接部(21)位于所述装配段(313)内，所述装...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊兼海，许文理，王永谦，陈刚，
申请(专利权)人：广东爱旭科技有限公司，
类型：新型
国别省市：