特气管和扩散炉制造技术

技术编号:39149452 阅读:46 留言:0更新日期:2023-10-23 14:58
本实用新型专利技术提供了一种特气管和扩散炉。特气管包括:金属管段,金属管段的一端具有第一连接部;石英管段,石英管段朝向金属管段的一端具有第二连接部,第一连接部与第二连接部插接连接,以使金属管段与石英管段连通;紧固装置,紧固装置至少套设在第一连接部和第二连接部的外侧。本实用新型专利技术解决了现有技术中特气管存在容易导致产品污染的问题。存在容易导致产品污染的问题。存在容易导致产品污染的问题。

【技术实现步骤摘要】
特气管和扩散炉


[0001]本技术涉及扩散设备
,具体而言,涉及一种特气管和扩散炉。

技术介绍

[0002]在太阳能电池制作的过程中,会经过扩散炉对硅片进行扩散,以在硅片上形成P

N结。而在扩散的过程中需要特气管向扩散炉内输送特殊气体,如硅烷,硅烷在扩散炉内受热分解形成沉积物,部分沉积物会沉积到特气管的表面上形成杂质。通常情况下用金属管作为特气管,而金属管受温度的影响较大,在扩散炉内温度升高或降低时,金属管的胀缩程度较大,致使特气管表面上的杂质脱落到硅片上,导致硅片污染,影响产品的品质。
[0003]也就是说,现有技术中特气管存在容易导致产品污染的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种特气管和扩散炉,以解决现有技术中特气管存在容易导致产品污染的问题。
[0005]为了实现上述目的,根据本技术的一个方面,提供了一种特气管,包括:金属管段,金属管段的一端具有第一连接部;石英管段,石英管段朝向金属管段的一端具有第二连接部,第一连接部与第二连接部插接连接,以使金属管段与石英管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种特气管,其特征在于,包括:金属管段(10),所述金属管段(10)的一端具有第一连接部(11);石英管段(20),所述石英管段(20)朝向所述金属管段(10)的一端具有第二连接部(21),所述第一连接部(11)与所述第二连接部(21)插接连接,以使所述金属管段(10)与所述石英管段(20)连通;紧固装置(30),所述紧固装置(30)至少套设在所述第一连接部(11)和所述第二连接部(21)的外侧。2.根据权利要求1所述的特气管,其特征在于,所述第一连接部(11)与所述第二连接部(21)二者中的一个具有连接凹槽,二者中的另一个具有连接凸沿,所述连接凸沿伸入到所述连接凹槽内。3.根据权利要求1所述的特气管,其特征在于,所述特气管还包括密封件(40),所述密封件(40)设置在所述第一连接部(11)与所述第二连接部(21)之间。4.根据权利要求3所述的特气管,其特征在于,所述第一连接部(11)和/或所述第二连接部(21)具有容纳槽(50),所述密封件(40)的至少一部分设置在所述容纳槽(50)内。5.根据权利要求1所述的特气管,其特征在于,所述紧固装置(30)包括:法兰(31),所述法兰(31)至少套设在所述第一连接部(11)和所述第二连接部(21)的外侧,所述法兰(31)的外周面具有向外伸出的止挡凸沿(311);压紧螺母(32),所述压紧螺母(32)的至少一部分套设在所述法兰(31)上并与所述止挡凸沿(311)抵接配合,所述压紧螺母(32)的至少另一部分套设在所述金属管段(10)上。6.根据权利要求5所述的特气管,其特征在于,所述法兰(31)的内壁面包括顺次连接地容纳段(312)和装配段(313),所述第一连接部(11)和所述第二连接部(21)位于所述装配段(313)内,所述装...

【专利技术属性】
技术研发人员:熊兼海许文理王永谦陈刚
申请(专利权)人:广东爱旭科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1