压力干燥设备制造技术

本发明专利技术属于半导体生产制造技术领域，公开了压力干燥设备。该设备用于烘干物料，具体包括输送组件、压力容器、第一驱动组件和第二驱动组件，其中，输送组件包括上料输送机构、加热输送机构和下料输送机构；上料输送机构设于压力容器的上游；加热输送机构设于压力容器内；下料输送机构设于压力容器的下游；压力容器用以加热物料；压力容器的两端分别设有平移门，平移门与第一驱动组件连接，第一驱动组件能驱动所平移门打开或关闭；第二驱动组件能驱动上料输送机构将物料传递至加热输送机构，并能继续从加热输送机构输送至下料输送机构。本发明专利技术能提升自动化程度，降低人工成本，适应自动化生产需求。生产需求。生产需求。

【技术实现步骤摘要】
压力干燥设备


[0001]本专利技术涉及半导体生产制造
，尤其涉及压力干燥设备。

技术介绍

[0002]烘箱是将物料处于负压或者正压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。具体地，通过将箱体内抽真空，主要利用压力泵进行抽气抽湿从而加快干燥速度；通过对箱体内充气加压，对箱体内空间提供正压环境。
[0003]压力烘箱在半导体等行业有着广泛的应用。
[0004]目前，压力烘箱采用手动开关门和手动上下料的方式，自动化程度低，操作起来费人费时费力，无法适应自动化生产的需求。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供压力干燥设备，提升自动化程度，降低人工成本，适应自动化生产需求。
[0006]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]压力干燥设备，用以烘干物料，包括：
[0008]输送组件，所述输送组件包括上料输送机构、加热输送机构和下料输送机构；
[0009]压力容器，所述上料输送机构设于所述压力容器的上游；所述加热输送机构设于所述压力容器内；所述下料输送机构设于所述所述压力容器的下游；所述压力容器用以加热物料；
[0010]第一驱动组件，所述压力容器的两端分别设有平移门，所述平移门与所述第一驱动组件连接，所述第一驱动组件能驱动所平移门打开或关闭；
[0011]第二驱动组件，能驱动所述上料输送机构将所述物料传递至加热输送机构，并能继续从所述加热输送机构输送至下料输送机构。
[0012]作为一种压力干燥设备的可选方案，所述上料输送机构包括设于第一机架上的多个并列设置的第一输送辊和第一输送辊框架，所述第一输送辊的两端与所述第一输送辊框架连接，所述第二驱动组件包括设于所述第一机架上的第一驱动件和设于其中之一的所述第一输送辊内部的第二驱动件，所述第二驱动件能驱动设有所述第二驱动件的所述第一输送辊转动，多个所述第一输送辊之间传动连接；所述第一驱动件能驱动所述第一输送辊框架沿第一方向移动。
[0013]作为一种压力干燥设备的可选方案，所述第一机架上设有第一位置传感器，所述第一位置传感器用以检测所述物料相对于所述上料输送机构的位置。
[0014]作为一种压力干燥设备的可选方案，所述第一机架靠近所述压力容器的一端设有接驳辊，所述接驳辊长度小于所述第一输送辊的长度，所述接驳辊能调整相对于所述第一机架的高度。
[0015]作为一种压力干燥设备的可选方案，所述第一驱动组件沿第二方向设置，所述平
移门设于平移座上，所述第一驱动组件能驱动所述平移座沿着所述第二方向移动。
[0016]作为一种压力干燥设备的可选方案，所述平移座底部设有导槽，所述加热输送机构设于第二机架上，所述第二机架上设有沿着所述第二方向延伸的导轨，所述平移座通过所述导槽与所述导轨滑动连接。
[0017]作为一种压力干燥设备的可选方案，所述平移门的外周设有封板，所述压力容器上设有与所述封板相配合的密封槽，当所述平移门关闭时，所述封板嵌设于所述密封槽。
[0018]作为一种压力干燥设备的可选方案，所述第二机架上设有第二位置传感器，所述第二位置传感器能检测所述平移门相对于所述压力容器的位置。
[0019]作为一种压力干燥设备的可选方案，所述加热输送机构包括设于所述第二机架上的多个并列设置的第二输送辊，所述第二输送辊的两端设有从动齿轮，多个所述从动齿轮均与链条啮合连接，所述第二驱动组件还包括设于所述压力容器外侧的第三驱动件，所述第三驱动件与所述链条传动连接。
[0020]作为一种压力干燥设备的可选方案，所述第二驱动组件还包括与所述第三驱动件的输出端连接的输出轴，所述输出轴穿过所述压力容器，所述输出轴的一端设有传动齿轮，所述传动齿轮与所述链条啮合连接，所述输出轴上套设有动密封件，用以使所述压力容器与所述输出轴的转动间隙密封。
[0021]有益效果：
[0022]在本专利技术中，通过将物料放置于上料输送机构，利用第二驱动组件驱动上料输送机构进行输送，当到达靠近压力容器外侧时，通过第一驱动组件驱动平移门打开，继续在第二驱动组件驱动作用下，将物料从上料输送机构运送至加热输送机构，此时，通过第一驱动组件驱动平移门关闭，物料在压力容器内部被加热烘干，当到达加热的预设时间或者物料已经烘干完成后，通过第一驱动组件驱动另一侧的平移门打开，在第二驱动组件驱动作用，物料被从加热输送机构输送至下料输送机构，最后通过第一驱动组件驱动另一侧的平移门关闭，后续再由操作人员对物料进行收集。本设备在整个上下料过程和开关门过程均能实现自动化，提升了设备的自动化水平，降低了人工成本，更能适应自动化生产需求。
附图说明
[0023]图1是本专利技术实施例提供的压力干燥设备的轴测图；
[0024]图2是本专利技术实施例提供的上料输送机构的轴测图；
[0025]图3是本专利技术实施例提供的压力容器及其内部的结构示意图；
[0026]图4是图3在A处的局部放大图；
[0027]图5是本专利技术实施例提供的加热输送机构的结构示意图；
[0028]图6是图5在B处的局部放大图。
[0029]图中：
[0030]X、第一方向；Y、第二方向；
[0031]1、输送组件；11、上料输送机构；111、第一输送辊；112、第一输送辊框架；12、加热输送机构；121、第二输送辊；122、从动齿轮；123、链条；13、下料输送机构；14、第一机架；15、第一位置传感器；16、接驳辊；17、第二机架；171、导轨；18、第二位置传感器；
[0032]2、压力容器；21、平移门；211、封板；22、平移座；221、导槽；23、密封槽；
[0033]3、第一驱动组件；
[0034]4、第二驱动组件；41、第一驱动件；42、第二驱动件；43、输出轴；44、传动齿轮；45、动密封件。
具体实施方式
[0035]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。
[0036]在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0037]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.压力干燥设备，用以烘干物料，其特征在于，包括：输送组件(1)，所述输送组件(1)包括上料输送机构(11)、加热输送机构(12)和下料输送机构(13)；压力容器(2)，所述上料输送机构(11)设于所述压力容器(2)的上游；所述加热输送机构(12)设于所述压力容器(2)内；所述下料输送机构(13)设于所述所述压力容器(2)的下游；所述压力容器(2)用以加热物料；第一驱动组件(3)，所述压力容器(2)的两端分别设有平移门(21)，所述平移门(21)与所述第一驱动组件(3)连接，所述第一驱动组件(3)能驱动所平移门(21)打开或关闭；第二驱动组件(4)，能驱动所述上料输送机构(11)将所述物料传递至加热输送机构(12)，并能继续从所述加热输送机构(12)输送至下料输送机构(13)。2.根据权利要求1所述的压力干燥设备，其特征在于，所述上料输送机构(11)包括设于第一机架(14)上的多个并列设置的第一输送辊(111)和第一输送辊框架(112)，所述第一输送辊(111)的两端与所述第一输送辊框架(112)连接，所述第二驱动组件(4)包括设于所述第一机架(14)上的第一驱动件(41)和设于其中之一的所述第一输送辊(111)内部的第二驱动件(42)，所述第二驱动件(42)能驱动设有所述第二驱动件(42)的所述第一输送辊(111)转动，多个所述第一输送辊(111)之间传动连接；所述第一驱动件(41)能驱动所述第一输送辊框架(112)沿第一方向(X)移动。3.根据权利要求2所述的压力干燥设备，其特征在于，所述第一机架(14)上设有第一位置传感器(15)，所述第一位置传感器(15)用以检测所述物料相对于所述上料输送机构(11)的位置。4.根据权利要求2所述的压力干燥设备，其特征在于，所述第一机架(14)靠近所述压力容器(2)的一端设有接驳辊(16)，所述接驳辊(16)长度小于所述第一输送辊(111)的长度，所述接驳辊(16)能调整相对于所述第一机架(14)的高度。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：周然杰，韩涛，
申请(专利权)人：盛吉盛智能装备江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：