【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片生产，尤其涉及一种拾取头。
技术介绍
1、用于半导体封装测试行业的电子器件拾取放置装置具有用于键合/贴装电子器件(例如半导体管芯或半导体芯片)的一个或多个拾取臂或用于测试分选电子器件（例如半导体管芯或半导体芯片）的一个或多个拾取臂。通常拾取臂在拾取和放置操作过程中，需要进行旋转以及竖直运动。
2、现有技术中，如对比文件1-cn117340922a-一种键合头及芯片键合设备中，当基板或芯片厚度过大时，采用波纹管或弹簧的回缩来避免吸附件压坏基板或芯片。
3、但是，波纹管或弹簧受限于弹性元件自身的弹性系数，压力等于弹性系数乘以压缩量。随着压缩量的增大，压力增大，导致吸附件无法做到全压缩行程内对基板或芯片的恒定压力；而且吸附件采用同步带、同步轮和驱动装置的方式实现芯片角度的调节，由于长时间使用皮带存在张紧力不足，使得芯片旋转角度的误差比较大，稳定性差，容易导致芯片碎角、底部暗裂，影响产品的品质。
4、为此，亟需提供一种拾取头以解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种拾取头，在拾取和贴装放置芯片的过程中，能够保持全压缩行程内吸附件对基板或芯片恒定压力，避免压力过大压碎芯片或使得基板变形，保证取放芯片时吸附件对芯片稳固的吸附力，而且提高取放贴装芯片的位置精度和旋转角度精度。
2、为实现上述目的，提供以下技术方案：
3、拾取头，包括：
4、同轴线设置的外筒和导向套座，所述外筒内设有容置
5、方形滚珠衬套组件，设置于所述方形导向腔体内；
6、吸嘴轴，所述吸嘴轴的一端穿设于所述容置腔体和所述方形导向腔体内，所述吸嘴轴的方形段与所述方形滚珠衬套组件的滚珠抵接，所述吸嘴轴的另一端用于安装吸嘴；
7、回转接头，一端与所述外筒的所述容置腔体连通，另一端用于连接气源，所述回转接头上设置有比例阀；
8、旋转驱动单元，与所述外筒、所述导向套座或所述吸嘴轴传动连接。
9、作为拾取头的可选方案，所述旋转驱动单元包括旋转驱动电机，所述旋转驱动电机的转子套设于所述外筒的外壁面，用于驱动所述外筒转动。
10、作为拾取头的可选方案，还包括负压吸气单元，所述负压吸气单元包括环形真空座、第一气管接头和第二气管接头，所述环形真空座套设于所述导向套座并与所述旋转驱动单元的定子固定连接，所述环形真空座的内壁周向设有走气槽，所述第一气管接头插设于所述环形真空座上并与所述走气槽连通，所述导向套座沿自身径向设有通孔，所述第二气管接头插设于所述导向套座内并与所述通孔连通，所述通孔与所述走气槽始终连通并用于抽取所述吸嘴内的空气。
11、作为拾取头的可选方案，所述环形真空座的内壁间隔设有至少两个密封槽，所述走气槽位于相邻两个所述密封槽之间，密封圈嵌设于所述密封槽和所述导向套座的外壁之间。
12、作为拾取头的可选方案，所述负压吸气单元还包括第三气管接头，所述第三气管接头的一端设于所述吸嘴轴上并与所述吸嘴轴的中空段内部连通，所述第三气管接头的另一端通过连接管与所述第二气管接头连通。
13、作为拾取头的可选方案，还包括适配器，所述吸嘴轴的中空段设有螺纹孔，所述适配器的一端与吸嘴连接，所述适配器的另一端与所述螺纹孔连接。
14、作为拾取头的可选方案，还包括固定座，所述固定座的第一板部设有避让开口和连接孔，多个所述连接孔周向间隔设置于所述避让开口的外围，所述旋转驱动电机的定子穿设于所述避让开口，第一紧固件穿过所述环形真空座的第一连接法兰和所述旋转驱动电机的第二连接法兰与所述连接孔连接。
15、作为拾取头的可选方案，所述导向套座设有第一装配孔，所述外筒的法兰部设有第二装配孔，所述旋转驱动电机的转子设有第三装配孔，第二紧固件穿过所述第一装配孔和所述第二装配孔与所述第三装配孔连接。
16、作为拾取头的可选方案，所述容置腔体的内壁面设有第一限位面，所述吸嘴轴的顶端止动于所述第一限位面。
17、作为拾取头的可选方案，所述容置腔体的内壁面设有第二限位面，所述吸嘴轴的外壁周向设有限位凸起，所述限位凸起往复止动于所述第二限位面和所述导向套座。
18、与现有技术相比，本专利技术的有益效果：
19、本专利技术所提供的拾取头，将吸嘴轴的一端穿设于同轴线设置的外筒和导向套座内，旋转驱动单元直接与外筒、导向套座或吸嘴轴传动连接，代替带传动机构，提高芯片的旋转精度。导向套座的方形导向腔体内设有方形滚珠衬套组件，吸嘴轴与方形滚珠衬套组件内的滚珠点接触，降低了吸嘴轴z向移动的摩擦力，方形滚珠衬套组件还能够抑制吸嘴轴相对导向套座旋转。其中带有比例阀的回转接头一端与外筒的容置腔体连通，将气源与回转接头的另一端接通，并向外筒的容置腔体内输入恒定的压缩气体，进而保持全压缩行程内吸附件对基板或芯片恒定压力，避免压力过大压碎芯片或使得基板变形，保证取放芯片时吸附件对芯片稳固的吸附力，而且提高取放贴装芯片的位置精度和旋转角度精度。由于吸嘴轴与容置腔体之间采用气膜替代密封圈来实现密封，避免了密封圈与壳体之间的摩擦力，进而无需额外添加润滑剂对密封圈进行润滑，使得该吸嘴轴无需刻意提供润滑机制，更无污染芯片的顾虑。
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1.拾取头，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的拾取头，其特征在于，所述旋转驱动单元包括旋转驱动电机(6)，所述旋转驱动电机(6)的转子(601)套设于所述外筒(1)的外壁面，用于驱动所述外筒(1)转动。
3.根据权利要求2所述的拾取头，其特征在于，还包括负压吸气单元，所述负压吸气单元包括环形真空座(7)、第一气管接头(8)和第二气管接头(9)，所述环形真空座(7)套设于所述导向套座(2)并与所述旋转驱动电机(6)的定子(602)固定连接，所述环形真空座(7)的内壁周向设有走气槽(702)，所述第一气管接头(8)插设于所述环形真空座(7)上并与所述走气槽(702)连通，所述导向套座(2)沿自身径向设有通孔(202)，所述第二气管接头(9)插设于所述导向套座(2)内并与所述通孔(202)连通，所述通孔(202)与所述走气槽(702)始终连通并用于抽取所述吸嘴(14)内的空气。
4.根据权利要求3所述的拾取头，其特征在于，所述环形真空座(7)的内壁间隔设有至少两个密封槽(703)，所述走气槽(702)位于相邻两个所述密封槽(703)之间，密
5.根据权利要求3所述的拾取头，其特征在于，所述负压吸气单元还包括第三气管接头(11)，所述第三气管接头(11)的一端设于所述吸嘴轴(4)上并与所述吸嘴轴(4)的中空段内部连通，所述第三气管接头(11)的另一端通过连接管与所述第二气管接头(9)连通。
6.根据权利要求5所述的拾取头，其特征在于，还包括适配器(12)，所述吸嘴轴(4)的中空段设有螺纹孔，所述适配器(12)的一端与吸嘴(14)连接，所述适配器(12)的另一端与所述螺纹孔连接。
7.根据权利要求3所述的拾取头，其特征在于，还包括固定座(13)，所述固定座(13)的第一板部设有避让开口(1301)和连接孔(1302)，多个所述连接孔(1302)间隔设置于所述避让开口(1301)的外围，所述旋转驱动电机(6)的定子(602)穿设于所述避让开口(1301)，第一紧固件穿过所述环形真空座(7)的第一连接法兰(701)和所述旋转驱动电机(6)的第二连接法兰(604)与所述连接孔(1302)连接。
8.根据权利要求2-7任一项所述的拾取头，其特征在于，所述导向套座(2)设有第一装配孔(203)，所述外筒(1)的法兰部设有第二装配孔(102)，所述旋转驱动电机(6)的转子(601)设有第三装配孔(603)，第二紧固件穿过所述第一装配孔(203)和所述第二装配孔(102)与所述第三装配孔(603)连接。
9.根据权利要求1-7任一项所述的拾取头，其特征在于，所述容置腔体(101)的内壁面设有第一限位面(103)，所述吸嘴轴(4)的顶端止动于所述第一限位面(103)。
10.根据权利要求1-7任一项所述的拾取头，其特征在于，所述容置腔体(101)的内壁面设有第二限位面(104)，所述吸嘴轴(4)的外壁周向设有限位凸起(401)，所述限位凸起(401)往复止动于所述第二限位面(104)和所述导向套座(2)。
...【技术特征摘要】
1.拾取头，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的拾取头，其特征在于，所述旋转驱动单元包括旋转驱动电机(6)，所述旋转驱动电机(6)的转子(601)套设于所述外筒(1)的外壁面，用于驱动所述外筒(1)转动。
3.根据权利要求2所述的拾取头，其特征在于，还包括负压吸气单元，所述负压吸气单元包括环形真空座(7)、第一气管接头(8)和第二气管接头(9)，所述环形真空座(7)套设于所述导向套座(2)并与所述旋转驱动电机(6)的定子(602)固定连接，所述环形真空座(7)的内壁周向设有走气槽(702)，所述第一气管接头(8)插设于所述环形真空座(7)上并与所述走气槽(702)连通，所述导向套座(2)沿自身径向设有通孔(202)，所述第二气管接头(9)插设于所述导向套座(2)内并与所述通孔(202)连通，所述通孔(202)与所述走气槽(702)始终连通并用于抽取所述吸嘴(14)内的空气。
4.根据权利要求3所述的拾取头，其特征在于，所述环形真空座(7)的内壁间隔设有至少两个密封槽(703)，所述走气槽(702)位于相邻两个所述密封槽(703)之间，密封圈(10)嵌设于所述密封槽(703)和所述导向套座(2)的外壁之间。
5.根据权利要求3所述的拾取头，其特征在于，所述负压吸气单元还包括第三气管接头(11)，所述第三气管接头(11)的一端设于所述吸嘴轴(4)上并与所述吸嘴轴(4)的中空段内部连通，所述第三气管接头(11)的另一端通过连接管与所述第二气管接头(9)连通。
6.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐秋明，钟荣，韩涛，
申请(专利权)人：盛吉盛智能装备江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：
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