一种基于柔性铰链的两自由度运动平台制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体加工设备领域。本实用新型专利技术公开了一种基于柔性铰链的两自由度运动平台，包括：承载板；多个柔性铰链，设置有多个且两两对称分布于所述承载板的相对两侧；多个所述柔性铰链首尾相连并呈多边形框体，所述多边形框体的外围一体设置有圆形框体，所述圆形框体与所述多边形框体的交汇处设置有安装座，所述安装座的下底面外露于所述承载板和所述柔性铰链的下底面；驱动器，安装于所述圆形框体和所述多边形框体相邻对框体壁之间并与外部电控装置电连接；所述柔性铰链受所述驱动器作用，驱动所述承载板沿X、Y两自由度运动。本实用新型专利技术结构紧凑，布局合理、稳定可靠且方便安装，易于维护和加工，能够有效满足工件两自由度运动需求。由度运动需求。由度运动需求。

【技术实现步骤摘要】
一种基于柔性铰链的两自由度运动平台


[0001]本技术涉及机械领域，特别是涉及一种基于柔性铰链的两自由度运动平台。

技术介绍

[0002]现有技术下的运动平台大多采用刚性件装配而成，譬如用于实现X、Y轴两自由度运动的位移台，大多采用丝杆滑块相配合的方式设计。以此方式设计的位移台，由于刚性件装配后会存在响应滞后、装配间隙大、零件之间容易磨损等缺点，因此使得以此方式装配而成的位移台精度和寿命都较低。
[0003]而在半导体加工领域，要求精度高、响应及时的位移台，但现有技术基本为刚性加工设备，不能满足前述要求。
[0004]因此本领域技术人员致力于开发一种基于柔性铰链精度高的两自由度运动平台。

技术实现思路

[0005]有鉴于现有技术的上述缺陷，本技术所要解决的技术问题是提供一种基于柔性铰链的两自由度运动平台。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种基于柔性铰链的两自由度运动平台，包括：
[0007]承载板；
[0008]多个柔性铰链，设置有多个且两两对称分布于所述承载板的相对两侧；多个所述柔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于柔性铰链的两自由度运动平台，其特征是,包括：承载板(1)；多个柔性铰链(2)，两两对称分布于所述承载板(1)的相对两侧；多个所述柔性铰链(2)首尾相连呈多边形框体(5)，所述多边形框体(5)的外围一体设置有圆形框体(4)，所述圆形框体(4)与所述多边形框体(5)的交汇处设置有安装座(51)，所述安装座(51)的下底面外露于所述承载板(1)和所述柔性铰链的下底面；驱动器(3)，安装于所述圆形框体(4)和所述多边形框体(5)相对框体壁之间；所述柔性铰链(2)受所述驱动器(3)作用，驱动所述承载板(1)沿X、Y两自由度运动。2.如权利要求1所述的基于柔性铰链的两自由度运动平台，其特征是：所述柔性铰链(2)包括与所述承载板(1)对应边垂直连接的第一铰链臂(21)，所述第一铰链臂(21)两侧分别为与之平行间隔设置的第二铰链臂(22)和第三铰链臂(23)，所述第一铰链臂(21)和第二铰链臂(22)之间设置有第四铰链臂(24)，所述第一铰链臂(21)和第三铰链臂(23)之间设置有第五铰链臂(25)；所述第一铰链臂(21)、第四铰链臂(24)和第二铰链臂(22)首尾相接；所述第一铰链臂(21)、第五铰链臂(25)和第三铰链臂(23)首尾相接；所述第一铰链臂(21)、第二铰链臂(22)、第三铰链臂(23)、第四铰链臂(24)和第五铰链臂(25)相互平行...

【专利技术属性】
技术研发人员：娄飞，
申请(专利权)人：深圳市雕拓科技有限公司，
类型：新型
国别省市：