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本实用新型涉及半导体加工设备领域。本实用新型公开了一种基于柔性铰链的两自由度运动平台，包括：承载板；多个柔性铰链，设置有多个且两两对称分布于所述承载板的相对两侧；多个所述柔性铰链首尾相连并呈多边形框体，所述多边形框体的外围一体设置有圆形框体...
该专利属于深圳市雕拓科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市雕拓科技有限公司授权不得商用。

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