本实用新型专利技术公开了一种离子注入机磁流体密封装置，包括第一基座，所述第一基座的顶部端面固定连接有波纹管的一端，所述波纹管的另一端固定连接第二基座，所述第一基座的顶部端面固定连接有第一永磁环的一端，所述第一永磁环的另一端内壁设置有第二永磁环的一端，所述第二永磁环的另一端与第二基座固定连接，所述第二永磁环的内壁固定连接有环梳。连接轴纵向运动时，带动第二永磁环纵向运动，进而带动环梳纵向运动，环梳的柔性特征可以使环梳沿着波纹管的外表面滑动，进而可以使磁流体的分布更加均匀，同时设置的两个环梳可以最大程度覆盖波纹管的外壁，防止死角的产生。防止死角的产生。防止死角的产生。
【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机磁流体密封装置
[0001]本技术涉及真空密封装置
，特别涉及一种离子注入机磁流体密封装置。
技术介绍
[0002]离子注入机磁流体密封装置是一种用于保护离子注入机内部的装置，它可以防止外部空气、灰尘和杂质进入机器内部，同时也可以防止机器内部的高压气体泄漏出来。该装置采用磁流体密封技术，通过在机器的进出口处设置磁场，使磁流体充满整个密封间隙，从而形成一个密封的空气隔离层，防止气体泄漏和外部杂质的侵入。离子注入机磁流体密封装置的主要优点是密封性能好，维护成本低，使用寿命长，能够有效提高离子注入机的工作效率和稳定性。
[0003]根据公示的磁流体密封装置（公开号：CN113803470A），上述申请中由波纹管、固定件、磁流体和密封件组成。固定件与波纹管连接，磁流体设置在波纹管的外侧壁上，密封件与固定件连接，并套设波纹管以及磁流体。该装置通过将磁流体设置在波纹管的外侧壁上，并通过密封件径向移动中对磁流体进行再分布，确保磁流体均匀分布于波纹管的外壁上，从而实现密封波纹管的目的。
[0004]但是上述设备在实际使用过程中，由于波纹管的特殊造型，磁流体会出现分布不匀的情况；鉴于此，我们提出了一种离子注入机磁流体密封装置。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种离子注入机磁流体密封装置，以克服现有技术中的不足。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]本申请公开了一种离子注入机磁流体密封装置，包括第一基座，所述第一基座的顶部端面固定连接有波纹管的一端，所述波纹管的另一端固定连接第二基座，所述第一基座的顶部端面固定连接有第一永磁环的一端，所述第一永磁环的另一端内壁设置有第二永磁环的一端，所述第二永磁环的另一端与第二基座固定连接，所述第二永磁环的内壁固定连接有环梳。
[0008]作为优选，所述第一永磁环远离第一基座的一端固定连接有伸缩杆的一端，所述伸缩杆的另一端固定连接第二基座的底部端面，所述伸缩杆侧壁套接有弹簧，通过伸缩杆的伸张与收缩，可以使第二永磁环相对活动，进而带动环梳纵向运动，使磁流体的分布更加均匀。
[0009]作为优选，所述第一基座与第二基座之间设置有连接轴。
[0010]作为优选，所述第一永磁环与第二永磁环的长度之和大于波纹管的拉伸长度。
[0011]作为优选，所述环梳的材质为柔性材料且数量设置有两个，且两个所述环梳分布在第二永磁环内壁的两侧，环梳的柔性特征可以使环梳沿着波纹管的外表面滑动，进而可
以使磁流体的分布更加均匀，同时设置的两个环梳可以最大程度覆盖波纹管的外壁，防止死角的产生。
[0012]作为优选，所述波纹管的外壁覆盖有磁流体。
[0013]本技术的有益效果：
[0014]（1）、该离子注入机磁流体密封装置，为了使磁流体的分布更加均匀，连接轴的一端与第一基座采用螺纹连接，波纹管具有弹性，可以随着连接轴纵向压缩与拉伸而变化，连接轴纵向运动时，带动第二永磁环纵向运动，进而带动环梳纵向运动，环梳的柔性特征可以使环梳沿着波纹管的外表面滑动，进而可以使磁流体的分布更加均匀，同时设置的两个环梳可以最大程度覆盖波纹管的外壁，防止死角的产生；
[0015]（2）、该离子注入机磁流体密封装置，为了主动控制磁流体的分布，提高磁流体密封装置的稳定性，第一永磁环远离第一基座的一端固定连接有伸缩杆的一端，伸缩杆的另一端固定连接第二基座的底部端面，伸缩杆侧壁套接有弹簧，通过伸缩杆的伸张与收缩，可以使第二永磁环相对活动，进而带动环梳纵向运动，使磁流体的分布更加均匀。
[0016]本技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
附图说明
[0017]图1是本技术一种离子注入机磁流体密封装置的实施例的立体结构示意图；
[0018]图2是本技术的实施例的立体结构剖视示意图；
[0019]图3是本技术的实施例的图1中A处结构放大示意图；
[0020]图中：1、第一基座；2、第二基座；3、连接轴；4、波纹管；5、第一永磁环；6、第二永磁环；7、环梳；8、伸缩杆；9、弹簧。
具体实施方式
[0021]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0022]参阅图1~3，本技术实施例提供一种离子注入机磁流体密封装置，包括第一基座1，第一基座1的顶部端面固定连接有波纹管4的一端，波纹管4的另一端固定连接第二基座2，第一基座1与第二基座2之间设置有连接轴3。第一永磁环5与第二永磁环6的长度之和大于波纹管4的拉伸长度。波纹管4的外壁覆盖有磁流体。第一基座1的顶部端面固定连接有第一永磁环5的一端，第一永磁环5的另一端内壁设置有第二永磁环6的一端，第二永磁环6的另一端与第二基座2固定连接，第二永磁环6的内壁固定连接有环梳7。环梳7的材质为柔性材料且数量设置有两个，且两个环梳7分布在第二永磁环6内壁的两侧，环梳7的柔性特征可以使环梳7沿着波纹管4的外表面滑动，进而可以使磁流体的分布更加均匀，同时设置的两个环梳7可以最大程度覆盖波纹管4的外壁，防止死角的产生。
[0023]在本技术的一种实施例中，连接轴3的一端与第一基座1采用螺纹连接，波纹管4具有弹性，可以随着连接轴3纵向压缩与拉伸而变化，连接轴3纵向运动时，带动第二永磁环6纵向运动，进而带动环梳7纵向运动，环梳7的柔性特征可以使环梳7沿着波纹管4的外
表面滑动，进而可以使磁流体的分布更加均匀，同时设置的两个环梳7可以最大程度覆盖波纹管4的外壁，防止死角的产生。
[0024]另外，为了主动控制磁流体的分布，提高磁流体密封装置的稳定性，第一永磁环5远离第一基座1的一端固定连接有伸缩杆8的一端，伸缩杆8的另一端固定连接第二基座2的底部端面，伸缩杆8侧壁套接有弹簧9，通过伸缩杆8的伸张与收缩，可以使第二永磁环6相对活动，进而带动环梳7纵向运动，使磁流体的分布更加均匀。
[0025]在本技术中，使用时，连接轴3的一端与第一基座1采用螺纹连接，波纹管4具有弹性，可以随着连接轴3纵向压缩与拉伸而变化，连接轴3纵向运动时，带动第二永磁环6纵向运动，进而带动环梳7纵向运动，环梳7的柔性特征可以使环梳7沿着波纹管4的外表面滑动，进而可以使磁流体的分布更加均匀，同时设置的两个环梳7可以最大程度覆盖波纹管4的外壁，防止死角的产生。第一永磁环5远离第一基座1的一端固定连接有伸缩杆8的一端，伸缩杆8的另一端固定连接第二基座2的底部端面，伸缩杆8侧壁套接有弹簧9，通过伸缩杆8的伸张与收缩，可以使第二永磁环6相对活动，进而带动环梳7纵向运动，使磁流体的分布更加均匀。
[0026]以上所述仅为本技术的较本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种离子注入机磁流体密封装置，包括第一基座（1），所述第一基座（1）的顶部端面固定连接有波纹管（4）的一端，所述波纹管（4）的另一端固定连接第二基座（2），所述第一基座（1）的顶部端面固定连接有第一永磁环（5）的一端，所述第一永磁环（5）的另一端内壁设置有第二永磁环（6）的一端，所述第二永磁环（6）的另一端与第二基座（2）固定连接，其特征在于：所述第二永磁环（6）的内壁固定连接有环梳（7）。2.根据权利要求1所述的一种离子注入机磁流体密封装置，其特征在于：所述第一永磁环（5）远离第一基座（1）的一端固定连接有伸缩杆（8）的一端，所述伸缩杆（8）的另一端固定连接第二基座（2）的底部端...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷世友，张松华，
申请(专利权)人：杭州铂利雅精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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