一种工件缺陷检测方法和系统技术方案

本说明书实施例提供一种工件缺陷检测方法和系统，该方法包括：为待检测工件设置多个检测路径，在多个检测路径下图像采集装置的视野覆盖待检测工件的待检测表面；获取每个检测路径下待检测工件的局部图像；识别每个局部图像中的待定目标特征，并判断所述待定目标特征是否满足第一预设条件；根据所述待定目标特征是否满足第一预设条件的判断结果确定所述待检测工件的检测结果。检测工件的检测结果。检测工件的检测结果。

【技术实现步骤摘要】
一种工件缺陷检测方法和系统
分案说明
[0001]本申请是2023年01月31日提交的题为“一种工件缺陷检测方法、系统和设备”的中国专利申请202310047103.2的分案申请。


[0002]本说明书涉及工件检测
，特别涉及一种工件缺陷检测方法、系统和设备。

技术介绍

[0003]随着光学仪器的广泛应用，光学工件作为光学仪器的重要组成部分，其需求量也日渐增加。由于光学仪器通常具有较高的精度要求，因此，对于作为其重要组成部分的光学工件有较高的质量要求，这就需要对光学工件进行全面的缺陷检测。
[0004]因此，需要提供一种工件缺陷检测方法、设备，可以提高对工件缺陷检测效率。

技术实现思路

[0005]为了对光学工件进行全面的缺陷检测，本说明书实施例一方面提供对于光学工件内部缺陷的检测方法，另一方面提供对于光学工件外部缺陷的检测方法，从而实现光学工件的全面缺陷检测。
[0006]本说明书实施例一方面提供一种工件缺陷检测方法，包括：为初始工件构建至少一个光学检测表面；获取所述初始工件在检测光束照射下，所述光学检测表面的检测影像；响应于所述检测影像中存在待定目标特征，控制所述检测光束按核验轨迹移动；至少基于所述待定目标特征在所述检测光束按核验轨迹移动过程中的变化情况，确定所述初始工件的检测结果。
[0007]在一些实施例中，所述为初始工件构建至少一个光学检测表面包括：为所述初始工件的至少一个待加工表面涂覆透光膜层，以构建所述至少一个光学检测表面，其中，所述透光膜层远离所述待加工表面的平整度高于所述待加工表面的平整度。
[0008]在一些实施例中，所述透光膜层的材料折射率与所述初始工件的材料折射率的差值小于预设值。
[0009]在一些实施例中，获取所述初始工件在检测光束照射下，所述光学检测表面的检测影像，包括：控制所述检测光束以平行于所述光学检测表面的方向入射至所述初始工件内部；移动所述检测光束，以使所述检测光束遍历所述初始工件内部；在所述遍历过程中，采集所述光学检测表面的影像以获取所述检测影像。
[0010]在一些实施例中，所述方法还包括：基于所述检测影像的像素点的图像值分布判断所述检测影像中是否存在所述待定目标特征。
[0011]在一些实施例中，每个所述待定目标特征对应于一个所述核验轨迹，所述核验轨迹包括：平行于所述光学检测表面且绕所述待定目标特征摆动的摆动轨迹，和/或，垂直于所述光学检测表面且相对于所述待定目标特征平移的平移轨迹。
[0012]在一些实施例中，所述摆动轨迹包括摆动中心和摆幅，所述摆动中心为所述待定目标特征的中心，所述摆幅为预设摆幅，或者所述摆幅基于所述待定目标特征确定。
[0013]在一些实施例中，所述平移轨迹包括平动范围，所述平动范围为预设范围，或者所述平动范围基于所述待定目标特征确定。
[0014]在一些实施例中，所述至少基于所述待定目标特征在所述检测光束按核验轨迹移动过程中的变化情况，确定所述初始工件的检测结果，包括：响应于所述待定目标特征的图像值的变化不超过预设阈值，确定所述待定目标特征为目标特征；基于所述目标特征，确定所述初始工件的检测结果。
[0015]在一些实施例中，所述基于所述目标特征，确定所述初始工件的检测结果，包括：响应于所述目标特征的数量大于预设数量，确定所述初始工件不合格；或者，响应于所述目标特征的总面积大于预设面积，确定所述初始工件不合格。
[0016]本说明书实施例另一方面提供一种工件缺陷检测系统，包括：表面构建模块，用于为初始工件构建至少一个光学检测表面；图像获取模块，用于获取所述初始工件在检测光束照射下，所述光学检测表面的检测影像；光束控制模块，用于响应于所述检测影像中存在待定目标特征，控制所述检测光束按核验轨迹移动；结果确定模块，用于至少基于所述待定目标特征在所述检测光束按核验轨迹移动过程中的变化情况，确定所述初始工件的检测结果。
[0017]本说明书实施例另一方面提供一种工件缺陷检测设备，包括：膜层涂覆装置，用于涂覆膜层；光束控制装置，用于发射和控制检测光束；图像采集装置，用于采集图像；处理器，用于控制所述膜层涂覆装置、所述光束控制装置和所述图像采集装置，以执行本说明书一些实施例提供的工件缺陷检测方法。
[0018]本说明书实施例另一方面提供一种工件缺陷检测方法，包括：为待检测工件设置多个检测路径，在所述多个检测路径下图像采集装置的视野覆盖所述待检测工件的待检测表面；获取每个检测路径下所述待检测工件的局部图像；识别每个局部图像中的待定目标特征，并判断所述待定目标特征是否满足第一预设条件；响应于所述待定目标特征满足所述第一预设条件，将所述待定目标特征确定为目标特征。
[0019]在一些实施例中，所述方法还包括：响应于所述待定目标特征不满足所述第一预设条件，判断所述待定目标特征是否满足第二预设条件，所述第二预设条件包括所述待定目标特征的完整度条件；响应于所述待定目标特征满足所述第二预设条件，将所述待定目标特征确定为非目标特征。
[0020]在一些实施例中，所述方法还包括：响应于所述待定目标特征不满足所述第二预设条件，确定所述待定目标特征的位置信息；基于所述位置信息判断与当前局部图像邻接的相邻局部图像中是否存在邻接待定目标特征；响应于相邻局部图像中不存在邻接待定目标特征，将所述待定目标特征确定为非目标特征。
[0021]在一些实施例中，所述方法还包括：响应于相邻局部图像中存在邻接待定目标特征，基于所述待定目标特征和所述邻接待定目标特征生成融合待定目标特征；判断所述融合待定目标特征是否满足所述第一预设条件；响应于所述融合待定目标特征满足所述第一预设条件，将所述融合待定目标特征确定为目标特征；响应于所述融合待定目标特征不满足所述第一预设条件，将所述融合待定目标特征确定为非目标特征。
[0022]在一些实施例中，所述方法还包括：响应于所述待检测工件中存在所述目标特征，确定所述待检测工件不合格。
[0023]在一些实施例中，所述为待检测工件设置多个检测路径，包括：获取所述图像采集装置对待检测工件的目标缩放倍数；基于所述目标缩放倍数，设置所述多个检测路径。
[0024]在一些实施例中，所述获取每个检测路径下所述待检测工件的局部图像，包括：为所述待检测工件上与所述待检测表面相背的工件表面构建光学吸收表面；控制光源以预设光照强度照射所述待检测表面；控制所述图像采集装置沿所述多个检测路径相对于所述待检测工件移动，以获取每个检测路径下所述待检测工件的局部图像。
[0025]在一些实施例中，所述识别每个局部图像中的待定目标特征，并判断所述待定目标特征是否满足第一预设条件，包括：获取目标特征识别模型，所述目标特征识别模型为训练好的机器学习模型；基于所述目标特征识别模型，识别每个局部图像中是否存在待定目标特征；以及基于所述目标特征识别模型判断所述待定目标特征是否满足第一预设条件。
[0026]本说明书实施例另一方面提供一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工件缺陷检测方法，其特征在于，包括：为待检测工件设置多个检测路径，在所述多个检测路径下图像采集装置的视野覆盖所述待检测工件的待检测表面；获取每个检测路径下所述待检测工件的局部图像；识别每个局部图像中的待定目标特征，并判断所述待定目标特征是否满足第一预设条件；根据所述待定目标特征是否满足第一预设条件的判断结果确定所述待检测工件的检测结果。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待定目标特征是否满足第一预设条件的判断结果确定所述待检测工件的检测结果，包括：响应于所述待定目标特征满足所述第一预设条件，将所述待定目标特征确定为目标特征。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待定目标特征是否满足第一预设条件的判断结果确定所述待检测工件的检测结果，包括：响应于所述待定目标特征不满足所述第一预设条件，判断所述待定目标特征是否满足第二预设条件，所述第二预设条件包括所述待定目标特征的完整度条件；响应于所述待定目标特征满足所述第二预设条件，将所述待定目标特征确定为非目标特征。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：响应于所述待定目标特征不满足所述第二预设条件，确定所述待定目标特征的位置信息；基于所述位置信息判断与当前局部图像邻接的相邻局部图像中是否存在邻接待定目标特征；响应于相邻局部图像中不存在邻接待定目标特征，将所述待定目标特征确定为非目标特征。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：响应于相邻局部图像中存在邻接待定目标特征，基于所述待定目标特征和所述邻接待定目标特征生成融合待定目标特征；判断所述融合待定目标特征是否满足所述第一预设条件；响应于所述融合待定目标特征满足所述第一预设条件，将所述融合待定目标特征确定为目标特征；响应于所述融合待定目标特征不满足所述第一预设条件，将所述融合待定目标特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宇，余建琳，
申请(专利权)人：眉山博雅新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：