本发明专利技术属于晶圆研磨技术领域，且公开了一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，包括底座和研磨套，所述底座的顶部固定连接有支撑管，所述支撑管的顶面固定连通有连通套，所述连通套固定连接在研磨套的底面上。本发明专利技术通过在晶圆放置密封气孔下，实现连通套中的空间体积扩大从而降低内部气压，使得晶圆上下面在压力差下吸附固定，同时在气压继续增加下打开压力阀，并将多余压力下的气体通入到侧压机构中，配合侧压机构中的弧面夹紧板，使得环绕分布的多组夹紧板同时动作并从晶圆侧边处压紧，实现晶圆的侧面夹紧固定，综合提高了晶圆的实际固定效果，避免摩擦研磨下造成晶圆偏移转动，大大提高了实际晶圆研磨抛光的稳定，使用效果好。使用效果好。使用效果好。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备
[0001]本专利技术属于晶圆研磨
，具体为一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主,针对晶圆的加工处理，通常需要进行研磨处理。
[0003]现有技术组中的晶圆研磨抛光的辅助设备，在使用过程中，通常将晶圆置于研磨套中，并配合顶部向下移动的研磨板进行旋转研磨，且在研磨过程中通过底部的吸盘将放置的晶圆片吸附固定，然而在实际使用过程中，底部吸附稳定性一般，在研磨过程中摩擦力较大的情况下，容易使得晶圆片出现偏转甚至吸附脱离，实际晶圆研磨抛光过程的稳定性不佳，且在实际研磨过程中会产生大量研磨粉尘，使得研磨装置以及研磨环境污染，造成研磨装置活动间隙中集尘，且表面集尘脏污，需要后续进行人工清洁，实际使用效果不佳。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，包括底座和研磨套，所述底座的顶部固定连接有支撑管，所述支撑管的顶面固定连通有连通套，所述连通套固定连接在研磨套的底面上，所述研磨套的底面开设有气孔，所述研磨套的侧面开设有侧口，所述研磨套的侧面固定安装有侧压机构，所述侧压机构的底面固定连通有中间管，所述中间管的下端固定连通有连通环，所述支撑管的内部套设有抽吸机构，所述抽吸机构的底面固定连接有一号弹簧，所述一号弹簧固定连接在底座的顶面且位于支撑管的内部，所述支撑管的外表面固定连接有连接杆，所述连接杆的端面固定连接有固定管，所述固定管的内部固定连接有二号弹簧，所述二号弹簧的下端固定连接有活动杆，所述活动杆的下端穿过固定管并与抽吸机构固定连接，所述底座的顶面固定安装有气泵，所述气泵与固定管之间固定连通有气管，所述固定管外表面的下方固定连通有连接管，所述连接管的上端与连通环固定连通，所述连接管的外侧固定安装有压力阀，所述研磨套的外表面开设有通孔，所述研磨套的外表面固定连接有收集机构，所述收集机构与通孔相连通，所述底座的侧面固定连接有安装架，所述安装架的内部升降安装有研磨机构。
[0006]优选的，所述抽吸机构包括套杆、侧杆、活动头、安装环槽和密封环，所述套杆位于支撑管的内部，所述活动头固定安装在套杆的顶部，所述侧杆固定连接在套杆的侧面上，所述安装环槽开设在活动头的外表面上，所述密封环固定套接在安装环槽的内部，所述套杆的底面与一号弹簧固定连接。
[0007]优选的，所述支撑管的外表面开设有滑槽，所述滑槽的内表面与侧杆活动套接，所
述活动杆固定在侧杆的顶面上。
[0008]优选的，所述活动杆为“T型杆”，所述活动杆的上端位于固定管的内部，所述活动杆的外表面与固定管活动套接。
[0009]优选的，所述固定管的顶面固定连通有软管，所述软管的活动端螺纹套接有密封杆。
[0010]优选的，所述侧压机构包括固定套、推板、三号弹簧、推杆和夹紧板，所述固定套固定连接在研磨套的外表面上其与侧口相连通，所述三号弹簧固定连接在固定套的内部，所述推板活动套接在固定套的内部且与三号弹簧固定连接，所述推杆固定连接在推板的侧面上，所述夹紧板固定连接在推杆的端面上且位于侧口中。
[0011]优选的，所述研磨套的内部开设有环槽，所述研磨套的内壁开设有缺口，所述缺口和侧口交替分布，所述缺口与环槽相连通，所述环槽和通孔相连通。
[0012]优选的，所述收集机构包括侧管、安装套、风扇、螺纹套、过滤板和连接环，所述侧管固定连接在研磨套的外表面上其与通孔相连通，所述安装套固定连通在侧管的端面上，所述风扇安装在安装套的内部，所述螺纹套螺纹套接在安装套的端面上，所述过滤板活动套接在安装套的内部，所述连接环固定连接在螺纹套和过滤板之间。
[0013]本专利技术的有益效果如下：1、本专利技术通过利用气泵提供压力空气，并配合固定管推动内部的活动杆移动，且实现支撑管中抽吸机构的移动控制，在晶圆放置密封气孔下，实现连通套中的空间体积扩大从而降低内部气压，使得晶圆上下面在压力差下吸附固定，同时在气压继续增加下打开压力阀，并将多余压力下的气体通入到侧压机构中，配合侧压机构中的弧面夹紧板，使得环绕分布的多组夹紧板同时动作并从晶圆侧边处压紧，实现晶圆的侧面夹紧固定，综合提高了晶圆的实际固定效果，避免摩擦研磨下造成晶圆偏移转动，大大提高了实际晶圆研磨抛光的稳定，使用效果好。
[0014]2、本专利技术通过利用气泵提供压力空气，并在固定管的顶部固定连通软管，且使得软管的一端螺纹套接密封杆，在晶圆研磨前，通过启动气泵并打开密封杆，使得泵入的气体进入到固定管中后直接通入到软管中，且通过握持软管对研磨套进行气动吹扫，使得研磨套内部洁净，避免残留的固体杂质颗粒影响晶圆的放置水平，提高实际晶圆的放置效果，从而进一步保证研磨抛光质量的稳定。
[0015]3、本专利技术通过利用在研磨套内部开设的环槽和缺口，使得套接在研磨套内部的研磨机构大致密封住研磨套的顶部，从而使得研磨产生的粉尘集中在环槽中，且配合研磨套一侧连通的收集机构，利用收集机构中的风扇抽吸空气，从而使得环槽中的粉尘通过缺口和通孔吸出，环境洁净空气通过研磨套顶部间隙补入，且从研磨套吸出的粉尘集中过来收集在安装套中，避免粉尘飞扬在研磨环境处，使得研磨装置表面洁净，空气清新，使用效果好。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术研磨套和支撑管的剖视示意图；图3为本专利技术抽吸机构的爆炸示意图；
图4为本专利技术固定管和活动杆之间的爆炸示意图；图5为本专利技术研磨套的剖视示意图；图6为本专利技术连通环和侧压机构的爆炸示意图；图7为本专利技术侧压机构的爆炸示意图；图8为本专利技术收集机构的爆炸示意图。
[0017]图中：1、底座；2、安装架；3、研磨机构；4、支撑管；5、连通套；6、研磨套；7、气孔；8、滑槽；9、一号弹簧；10、抽吸机构；101、套杆；102、侧杆；103、活动头；104、安装环槽；105、密封环；11、连接杆；12、固定管；13、活动杆；14、二号弹簧；15、气泵；16、气管；17、连接管；18、压力阀；19、侧压机构；191、固定套；192、推板；193、三号弹簧；194、推杆；195、夹紧板；20、中间管；21、连通环；22、侧口；23、软管；24、密封杆；25、环槽；26、缺口；27、通孔；28、收集机构；281、侧管；282、安装套；283、风扇；284、螺纹套；285、过滤板；286、连接环。
具体实施方式
[0018]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，包括底座（1）和研磨套（6），其特征在于：所述底座（1）的顶部固定连接有支撑管（4），所述支撑管（4）的顶面固定连通有连通套（5），所述连通套（5）固定连接在研磨套（6）的底面上，所述研磨套（6）的底面开设有气孔（7），所述研磨套（6）的侧面开设有侧口（22），所述研磨套（6）的侧面固定安装有侧压机构（19），所述侧压机构（19）的底面固定连通有中间管（20），所述中间管（20）的下端固定连通有连通环（21），所述支撑管（4）的内部套设有抽吸机构（10），所述抽吸机构（10）的底面固定连接有一号弹簧（9），所述一号弹簧（9）固定连接在底座（1）的顶面且位于支撑管（4）的内部，所述支撑管（4）的外表面固定连接有连接杆（11），所述连接杆（11）的端面固定连接有固定管（12），所述固定管（12）的内部固定连接有二号弹簧（14），所述二号弹簧（14）的下端固定连接有活动杆（13），所述活动杆（13）的下端穿过固定管（12）并与抽吸机构（10）固定连接，所述底座（1）的顶面固定安装有气泵（15），所述气泵（15）与固定管（12）之间固定连通有气管（16），所述固定管（12）外表面的下方固定连通有连接管（17），所述连接管（17）的上端与连通环（21）固定连通，所述连接管（17）的外侧固定安装有压力阀（18），所述研磨套（6）的外表面开设有通孔（27），所述研磨套（6）的外表面固定连接有收集机构（28），所述收集机构（28）与通孔（27）相连通，所述底座（1）的侧面固定连接有安装架（2），所述安装架（2）的内部升降安装有研磨机构（3）。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，其特征在于：所述抽吸机构（10）包括套杆（101）、侧杆（102）、活动头（103）、安装环槽（104）和密封环（105），所述套杆（101）位于支撑管（4）的内部，所述活动头（103）固定安装在套杆（101）的顶部，所述侧杆（102）固定连接在套杆（101）的侧面上，所述安装环槽（104）开设在活动头（103）的外表面上，所述密封环（105）固定套接在安装环槽（104）的内部，所述套杆（101）的底面与一号弹簧（9）固定连接。3.根据权利要求1所述的一种用于晶...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴社竹，翟新，王永光，陈中杰，黄冬梅，
申请(专利权)人：苏州江锦自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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