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本发明属于晶圆研磨技术领域，且公开了一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，包括底座和研磨套，所述底座的顶部固定连接有支撑管，所述支撑管的顶面固定连通有连通套，所述连通套固定连接在研磨套的底面上。本发明通过在晶圆放置密封气孔下，实现连通套中的空间体...
该专利属于苏州江锦自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州江锦自动化科技有限公司授权不得商用。

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