一种新型半导体静电吸盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型半导体静电吸盘，包括静电吸盘本体，所述静电吸盘本体外表面设置方形框，方形框上端对称开设滑槽，滑槽内设置螺纹杆，螺纹杆左端转动连接滑槽内壁，螺纹杆右端穿过方形框，螺纹杆右端安装链轮，两个链轮外表面共套设链条，螺纹杆外表面套设螺纹套，螺纹套上端安装电动伸缩杆，电动伸缩杆上端安装匚型板，方形框上方设置移动板，移动板侧面固定连接两个匚型板。本实用新型专利技术将湿布和干布安在移动板下端，电机带动移动板移动，移动板带动湿布和干布移动，湿布先对静电吸盘本体上端面进行清理，然后干布将静电吸盘本体上端面湿的地方清理干净，使静电吸盘本体保持干燥，清理方便快捷，省时省力。省时省力。省时省力。

【技术实现步骤摘要】
一种新型半导体静电吸盘


[0001]本技术涉及静电吸盘领域，具体涉及一种新型半导体静电吸盘。

技术介绍

[0002]静电卡盘，是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称。静电吸盘在使用时吸盘表面必须保持干燥和清洁，以确保静电荷的正常分布。现有技术中需要使用者用抹布对静电吸盘表面进行清洁，费时费力。因此，本领域技术人员提供了一种新型半导体静电吸盘，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本技术提供一种新型半导体静电吸盘，包括静电吸盘本体，所述静电吸盘本体外表面设置方形框，方形框上端对称开设滑槽，滑槽内设置螺纹杆，螺纹杆左端转动连接滑槽内壁，螺纹杆右端穿过方形框，螺纹杆右端安装链轮，两个链轮外表面共套设链条，螺纹杆外表面套设螺纹套；
[0004]螺纹套上端安装电动伸缩杆，电动伸缩杆上端安装匚型板，方形框上方设置移动板，移动板侧面固定连接两个匚型板，移动板上端对称转动连接螺栓，螺栓外表面套设压紧板，移动板下端设置湿布，移动板下端设置干布，湿布和干布两端均在压紧板下方。
[0005]优选的：所述静电吸盘本体外表面对称安装支撑块，且支撑块固定连接方形框内壁。
[0006]优选的：后侧所述螺纹杆左端安装电机。
[0007]优选的：所述压紧板和螺栓螺纹连接。
[0008]优选的：所述压紧板下端安装橡胶垫，且橡胶垫表面设置防滑纹。
[0009]本技术的技术效果和优点：
[0010]本技术将湿布和干布安在移动板下端，电机带动移动板移动，移动板带动湿布和干布移动，湿布先对静电吸盘本体上端面进行清理，然后干布将静电吸盘本体上端面湿的地方清理干净，使静电吸盘本体保持干燥，清理方便快捷，省时省力。
附图说明
[0011]图1是本申请的结构示意图；
[0012]图2是本申请移动板的结构示意图；
[0013]图中：1、静电吸盘本体；2、方形框；3、支撑块；4、滑槽；5、螺纹杆；6、链轮；7、链条；8、电机；9、螺纹套；10、电动伸缩杆；11、移动板；12、匚型板；13、压紧板；14、螺栓；15、湿布；16、干布。
具体实施方式
[0014]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本技术的
实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
[0015]请参阅图1～2，在本实施例中提供一种新型半导体静电吸盘，包括静电吸盘本体1，所述静电吸盘本体1外表面设置方形框2，静电吸盘本体1外表面对称安装支撑块3，且支撑块3固定连接方形框2内壁，方形框2上端对称开设滑槽4，滑槽4内设置螺纹杆5，螺纹杆5左端转动连接滑槽4内壁，螺纹杆5右端穿过方形框2，螺纹杆5右端安装链轮6，两个链轮6外表面共套设链条7，后侧螺纹杆5左端安装电机8，螺纹杆5外表面套设螺纹套9，螺纹套9上端安装电动伸缩杆10，电动伸缩杆10上端安装匚型板12，方形框2上方设置移动板11，移动板11侧面固定连接两个匚型板12，移动板11上端对称转动连接螺栓14，螺栓14外表面套设压紧板13，且压紧板13和螺栓14螺纹连接，压紧板13下端安装橡胶垫，且橡胶垫表面设置防滑纹，移动板11下端设置湿布15，移动板11下端设置干布16，湿布15和干布16两端均在压紧板13下方。
[0016]本技术的工作原理是：将湿布15和干布16安在移动板11下端，转动螺栓14带动压紧板13下降，压紧板13将湿布15和干布16两端部压住，从而将湿布15和干布16固定在移动板11下端，需要清理静电吸盘本体1表面时，电动伸缩杆10通过匚型板12带动移动板11上升，使湿布15和干布16与静电吸盘本体1上端面在同一水平面，电机8带动一个螺纹杆5转动，一个螺纹杆5通过链轮6和链条7带动另一个螺纹杆5转动，两个螺纹杆5带动螺纹套9移动，螺纹套9通过电动伸缩杆10和匚型板12带动移动板11移动，移动板11带动湿布15和干布16移动，湿布15先对静电吸盘本体1上端面进行清理，然后干布16将静电吸盘本体1上端面湿的地方清理干净，使静电吸盘本体1保持干燥。
[0017]显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本技术保护的范围。本技术中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型半导体静电吸盘，包括静电吸盘本体(1)，其特征在于，所述静电吸盘本体(1)外表面设置方形框(2)，方形框(2)上端对称开设滑槽(4)，滑槽(4)内设置螺纹杆(5)，螺纹杆(5)左端转动连接滑槽(4)内壁，螺纹杆(5)右端穿过方形框(2)，螺纹杆(5)右端安装链轮(6)，两个链轮(6)外表面共套设链条(7)，螺纹杆(5)外表面套设螺纹套(9)；螺纹套(9)上端安装电动伸缩杆(10)，电动伸缩杆(10)上端安装匚型板(12)，方形框(2)上方设置移动板(11)，移动板(11)侧面固定连接两个匚型板(12)，移动板(11)上端对称转动连接螺栓(14)，螺栓(14)外表面套设压紧板(13)，移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王磊，
申请(专利权)人：北京子牛亦东科技有限公司，
类型：新型
国别省市：