一种射频插头自动对接装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种射频插头自动对接装置。本发明专利技术在现有的射频插头对接方式的基础上，为夹具、射频公头和射频母头分别增加了定位装置，在人工推拉夹具的同时，利用上述定位装置，迅速实现射频插头（公头和母头）的对接和拔脱。与现有手工插接射频插头相比，本发明专利技术可大大提高对接效率，并实现了机械化、自动化，把人从繁重，危险的工作中解放出来，使生产方式得到彻底的改善。本发明专利技术的自动对接装置简单、有效，不增加机器的控制难度，非常容易实现，可以有效控制制造成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机械领域，特别是涉及一种PECVD用射频插头自动 对接装置。
技术介绍
在薄膜太阳能电池制造过程中，PECVD沉积需要在PECVD炉中 进行，需要将装满玻璃基板的夹具预加热至25(TC左右后，推入 PECVD炉(炉内温度约30(TC ),对接射频插头公头和母头，完成线 路连接，然后关闭炉门执行炉内工艺过程，最后打开炉门，拔脱射频 插头公头和母头，人工将夹具拉出PECVD炉。PECVD用夹具射频电 缆电缆连接方式如图l所示。在这个工作过程中，射频插头(即射频公头和射频母头)的对接 都是通过人工完成的，操作人员需要在高温环境下完成多个射频插头 的对接、拔脱，是一件比较困难且危险的工作。为提高生产效率，保证安全生产。由机器代替人来完成简单且危 险的工作是符合市场需要的。但是目前的技术下，机器大多只能完成 简单的动作，要将多个几乎处于自由状态的射频插头完成对接和拔 脱，几乎不可能。因此有必要提供一种简单的装置，在人工推拉夹具时，可以同步 完成射频插头的插拔动作，简单有效地完成射频插头公头和母头的自 动对接和拔脱。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种射频插头自动对接装置。 现有的射频插头对接是依靠人工进行的，射频插头公头和射频插 头母头几乎处于自由状态，为实现本专利技术的目的，本专利技术分别增加了夹具、射频公头和射频母头的定位装置，在人工推拉夹具的同时，利 用上述定位装置，迅速实现频插头公头和射频插头母头的对接和拔 脱。具体的说，本专利技术在现有的射频插头对接装置(包括夹具、夹具 脚轮、射频插头公头和射频插头母头，所述夹具用于承载基板，夹具 脚轮位于夹具底部，便于推拉夹具，射频插头母头通过射频电缆与夹 具上的基板相连，射频插头公头通过射频电缆与电源相连)的基础上 增加了导轨，所述导轨固定在炉膛底部，为所述夹具脚轮提供运行轨 道，通过夹具脚轮限制夹具只在推拉方向行走。另外，本专利技术所述的装置，还包括公头电极板和托架； 所述公头电极板为孔板，其上用于安装射频插头公头的孔以一定 规则排列，使射频插头公头以一定规则排列；优选平行于炉膛底部 "一"字排列；所述托架为槽型结构，固定在炉膛底部，用于承载公头电极板和 限制公头电极板的位置，使公头电极板能够垂直于炉膛底部放置，并 使公头电极板能够在上下左右各方向进行小范围的活动，如通过调整 固定位置等方式在槽中有少量的上下左右活动空间。所述托架的固定可釆用本领域的常用方式进行，优选以轴座的方 式固定，因此本专利技术所述的装置还包括一个轴座，位于托架的中部， 并固定在炉膛底部，承载托架，使托架可以轴座为轴心小范围摆动， 有一定的自由转动空间。所述导轨与所述轴座需要保持较为严格的位置关系。同时，本专利技术所述的装置还包括母头电极板；所述母头电极板为 孔板，用于安装射频插头母头的孔的排列方式与公头电极板上的射频 插头公头的孔的排列方式相对应，使射频插头母头与射频插头公头一 一对应；优选平行于炉膛底部"一"字排列并与射频插头公头一一对 应，所述母头电极板固定在夹具上。所述母头电极板的固定可以釆用支架固定，支架可位于母头电极 板的任意位置，包括端部、中部等，所述支架与母头电极板和夹具分 别连接，将母头电极板固定在夹具上。为便于推拉，本专利技术所述的装置还包括牵引部，所述牵引部可位 于支架或母头电极板上，用于推拉母头电极板，在本领域中一般为电 工纯铁。为提高射频母头和射频公头的对接效率，本专利技术所述的装置还包括导柱和导套；所述导柱设置在母头电极板(公头电极板)上，所述公头电极板(母头电极板)的相应位置还设置有与所述导柱相配合的导套；所述导柱(见图5)由安装部分、限位部分、导向部分和引导部 分组成，所述导套(见图6)由与导柱相对应的安装部分、限位部分、 导向部分和引导部分组成；所述导柱和导套的安装部分分别用于将导 柱或导套安装到母头电极板或公头电极板上，所述导柱的引导部分为 锥形结构，所述导套的引导部分为直径略大于锥形最大直径的圆孔， 在推进夹具时，所述导柱的引导部分先于射频插头母头(射频插头公 头)接触到射频公头或公头电极板(射频母头或母头电极板)，其锥 形结构与位于公头电极板(母头电极板)上的导套的引导部分对接，随后引导导柱和导套的导向部分对接，并同时或随后引导射频公头和 射频母头对接；最后导柱和导套的限位部分对接，同时射频公头和射 频母头完全对接，防止射频母头过多插入射频公头。为更好的防止射频母头过多插入射频公头，所述导柱和导套的导 向部分的长度相同，并都大于等于射频插头公头和母头的对接长度。特别优选大于射频插头公头和母头的对接长度，这样，导柱的导 向部分进入导套的导向部分，不会产生错位后，才进行射频插头公头 和射频插头母头的对接，能够保证对接的准确性。为使导柱和导套的限位部分确实起到防止射频母头过多插入射 频公头的作用，安装在公头电极板(母头电极板)上的导套与射频插 头公头(射频插头母头)之间要保持严格的位置关系，并且与导柱、射频插头母头的位置关系一一对应；同时导柱与射频插头母头(射频 插头公头)之间要保持严格的位置关系，并且与导套、射频插头母头 (射频插头公头)的位置关系一一对应。与现有手工插接射频插头相比，本专利技术可大大提高对接效率，并 实现了机械化、自动化，把人从繁重，危险的工作中解放出来，使生 产方式得到彻底的改善；另外，本专利技术的自动对接装置简单、有效， 不增加机器的控制难度，非常容易实现，并且可以有效控制制造成本。附图说明图i为现有的射频插头(包括射频公头和母头)对接方式示意图。图2为本专利技术的射频插头自动对接装置的左视图。 图3为本专利技术的射频插头自动对接装置的正视图。 图4为本专利技术的射频插头自动对接装置的仰视图。 图5和图6分别为导柱和导套的示意图。图7为安装本专利技术的射频插头自动对接装置后，位于夹具上的电极插头部分的示意图。图8为安装本专利技术的射频插头自动对接装置后，位于炉膛内的电 极插头部分的示意图。图9为托架示意图。图中1、夹具；2、射频电缆；3、射频插头母头；4、射频插头 公头；5、母头电极板；6、导柱；7、导轨；8、导轨挡边；9、公头 电极板；10、轴座；11、托架；12、支架；13、牵引部；14、导套； 15、夹具脚轮；16、炉体；17、夹具脚轮座；18， 18'、安装部分； 19, 19'、限位支撑部分、20， 20'、导向部分；21， 21'、引导部分。具体实施例方式以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。7实施例l本专利技术的一个具体实施例见图2， 3， 4所示，其安装效果见图7 和图8。安装后的本专利技术的射频插头自动对接机构可分两大部分第一部 分是固定在夹具上的部分，包括母头电极板5;导柱6;支架12;牵引 部13以及夹具1;射频电缆2;射频插头母头3;夹具脚轮15等。射频插头母头3安装在母头电极板5上，射频插头母头3通过射频 电缆2与夹具1内的电极相连，母头电极板5通过支架12与夹具1固定连 接，牵引部13与母头电极板5相连(也可在其他部位)，导柱6安装在 母头电极板5上，导柱6及射频插头母头3之间要保持严格的位置关系。第二部分是炉内部分，包含射频电缆2;射频插头公头4;导轨7; 导轨挡边8;公头电极板9;轴座10;托架ll;导套14等。轴座10固定在炉膛本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种射频插头自动对接装置，包括夹具（１）、夹具脚轮（１５）、射频插头公头（４）和射频插头母头（３），所述夹具（１）用于承载基板，夹具脚轮（１５）位于夹具底部，便于推拉夹具（１），射频插头母头（３）通过射频电缆（２）与夹具（１）上的基板相连，射频插头公头（４）通过射频电缆（２）与电源相连，其特征在于，所述射频插头自动对接装置还包括导轨（６）；所述导轨（６）固定在炉膛底部，为所述夹具脚轮（１５）提供运行轨道，通过夹具脚轮（１５）限制夹具（１）只在推拉方向行走。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈焕军，郑京松，孟月，
申请(专利权)人：北京清大天达光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]