一种连杆式单臂双手指真空机械手及真空腔室制造技术

本发明专利技术提供了一种连杆式单臂双手指真空机械手及真空腔室，其中，真空机械手包括：下手臂主动连杆；下手臂被动连杆，与下手臂主动连杆通过第一轴承连接；上手臂主动连杆；上手臂被动连杆，与上手臂主动连杆通过第二轴承连接；手臂横向杆，一端与下手臂被动连杆通过第三轴承连接，另一端与上手臂被动连杆通过第四轴承连接；手臂横向杆具有两个伸出部，分别连接有第一手指和第二手指；第一驱动单元，连接于下手臂主动连杆，用于使下手臂主动连杆带动下手臂被动连杆进行伸缩运动；第二驱动单元，连接于上手臂主动连杆，用于使下手臂主动连杆带动下手臂被动连杆进行伸缩运动；第三驱动单元，用于驱动整体进行旋转运动。用于驱动整体进行旋转运动。用于驱动整体进行旋转运动。

【技术实现步骤摘要】
一种连杆式单臂双手指真空机械手及真空腔室


[0001]本专利技术涉及半导体制造设备
，具体涉及一种连杆式单臂双手指真空机械手及真空腔室。

技术介绍

[0002]半导体晶圆加工中的刻蚀、沉积、外延生长等工艺需要在真空反应腔室中进行，因此需要真空机械手把晶圆从前端晶圆搬送模块搬送到真空反应腔中，而真空机械手一般安装在晶圆搬送前端模块与真空反应腔之间的真空传输腔中，因其独特的使用环境，造成传统的洁净大气水平多关节机械手(俗称洁净SCARA机械手)不能应用在真空环境下，大气机械手一般是丝杆、同步带、谐波减速器、电气线缆等构成，这些结构在真空环境或者超高真空环境下会有很大的危害，一是运动会产生颗粒污染真空环境，二是这些运动轴系释气性很差，在真空腔室抽真空的时候，因这些释放气体源的存在，造成真空环境建立要非常久，失去了经济可行性。
[0003]市面上常规的真空机械手是以直驱电机直接驱动，在真空环境内的轴系不再使用丝杆、同步带、谐波减速器、电器线缆等零部件，一般情况下真空机械手的手臂运动形式分为连杆运动和钢带运动，都可以在真空环境下实现晶圆的往本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连杆式单臂双手指真空机械手，其特征在于，包括：下手臂主动连杆；下手臂被动连杆，与所述下手臂主动连杆通过第一轴承连接；上手臂主动连杆；上手臂被动连杆，与所述上手臂主动连杆通过第二轴承连接；手臂横向杆，一端与所述下手臂被动连杆通过第三轴承连接，另一端与所述上手臂被动连杆通过第四轴承连接；所述手臂横向杆具有两个伸出部，分别连接有第一手指和第二手指，所述第一手指和所述第二手指均用于承载晶圆；第一驱动单元，连接于所述下手臂主动连杆，用于使所述下手臂主动连杆带动所述下手臂被动连杆进行伸缩运动；第二驱动单元，连接于所述上手臂主动连杆，用于使所述下手臂主动连杆带动所述下手臂被动连杆进行伸缩运动；第三驱动单元，连接于所述下手臂主动连杆和所述上手臂主动连杆整体，用于驱动所述整体进行旋转运动。2.如权利要求1所述的连杆式单臂双手指真空机械手，其特征在于，所述第一驱动单元包括相互配合的第一定子线圈和第一转子，所述第一转子环绕于所述第一定子线圈的外周；所述第一转子通过第一连接件与所述下手臂主动连杆连接；所述第二驱动单元包括相互配合的第二定子线圈和第二转子，所述第二转子环绕于所述第二定子线圈的外周；所述第二转子通过第二连接件与所述上手臂主动连杆连接；所述第三驱动单元包括相互配合的第三定子线圈和第三转子；且所述第三转子环绕于所述第三定子线圈的外周；所述第三转子通过第三连接件与所述连杆机构整体连接。3.如权利要求1所述的连杆式单臂双手指真空机械手，其特征在于，所述机械手还包括基座和套筒，所述套筒位于所述基座内，所述套筒具有沿周向凸出的环形外延，所述环形外延与所述基座的内壁滑动密封连接，使所述套筒的外壁与所述基座之间形成真空环境；所述第一转子、所述第二转子、所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明辉，孙长玲，余涛，
申请(专利权)人：乐孜芯创半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：