片材用支撑装置以及等离子体设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种片材用支撑装置以及等离子体设备。该片材用支撑装置包括：基台，在载置面上载置呈矩形状的片材；多个支撑件，分别沿垂直于所述载置面的方向穿过所述基台并可突出于所述载置面，并且可分别从所述片材的底部的四周边缘、以与面板的长度方向以及宽度方向的中心线错开的方式支撑所述片材；定位组件，安装到所述基台，从所述片材的四周边缘对所述片材进行定位；所述基台和多个所述支撑件当中，至少其中一者可沿垂直于所述载置面的方向被驱动，以使所述支撑件突出于所述载置面或者相对所述载置面缩回。本实用新型专利技术的片材用支撑装置能够可靠地支撑片材并抑制片材的偏移。撑装置能够可靠地支撑片材并抑制片材的偏移。撑装置能够可靠地支撑片材并抑制片材的偏移。

【技术实现步骤摘要】
片材用支撑装置以及等离子体设备


[0001]本技术涉及但不限于等离子体镀膜
，尤其涉及片材用支撑装置以及等离子体设备。

技术介绍

[0002]在对例如面板等的片材进行镀膜等的等离子体设备中，面板(片材)放置在支撑装置的基台或传送台上。取放面板时，支撑针穿过基台将面板顶起，从而便于机械手取放面板。支撑针下降时，机械手可以将面板载置在基台上。
[0003]此外，为了抑制面板的表面的薄膜沉积位置或者面板的边界位置的刻蚀偏移，通常需要对面板进行准确的定位。例如，已知技术当中，有在面板的四周边缘设置定位件以抑制面板偏移的技术方案。然而，由于面板较薄、受热不均以及残留应力等，容易产生例如面板翘曲的情况。面板翘曲可能会形成例如“笑脸形”、“哭脸形”以及“波浪形”等。在面板翘曲的情况下，有时候仅通过定位件难以抑制面板的偏移，甚至可能导致压边装置下压时压碎面板。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少一定程度上解决已知问题之一。为此，本技术提出了一种片材用支撑装置，能够可靠地支撑片材并抑制片材的偏移。此外，本技术还提出了具有该片材用支撑装置的等离子体设备。
[0005]根据本技术第一方面的片材用支撑装置，包括：基台，在载置面上载置呈矩形状的片材；多个支撑件，分别沿垂直于所述载置面的方向穿过所述基台并可突出于所述载置面，并且可分别从所述片材的底部的四周边缘、以与面板的长度方向以及宽度方向的中心线错开的方式支撑所述片材；定位组件，安装到所述基台，从所述片材的四周边缘对所述片材进行定位；所述基台和多个所述支撑件当中，至少其中一者可沿垂直于所述载置面的方向被驱动，以使所述支撑件突出于所述载置面或者相对所述载置面缩回。
[0006]根据本技术第一方面的片材用支撑装置，具有如下有益效果：能够可靠地支撑片材并抑制片材的偏移。
[0007]在一些实施方式中，多个所述支撑件分别沿垂直于所述载置面的方向可伸缩地被保持在所述基台上；多个所述支撑件可被驱动而突出于所述载置面或者相对所述载置面缩回。
[0008]在一些实施方式中，多个所述支撑件以所述片材的长度方向的中心线和/或宽度方向的中心线为中心而对称地分布。
[0009]在一些实施方式中，所述定位组件包括多个定位件，多个所述定位件分别沿垂直于所述载置面的方向可伸缩地安装到所述基台。
[0010]在一些实施方式中，所述定位件在相对于所述载置面朝所述基台的内侧缩回的状态下，所述定位件的远端，分别沿垂直于所述载置面的方向不突出于所述片材。
[0011]在一些实施方式中，所述定位组件当中，包括多个第一定位件，多个所述第一定位件分别从所述片材的角部对所述片材进行定位。
[0012]在一些实施方式中，所述定位组件还包括多个第二定位件，所述第二定位件从所述片材的长度方向和/或宽度方向的中心线的位置对所述片材进行定位。
[0013]根据本技术第二方面的等离子体设备，具有真空室，所述真空室内设置有上述任一项的片材用支撑装置。
[0014]根据本技术第二方面的等离子体设备，具有如下有益效果：能够可靠地支撑片材并抑制片材的偏移。
[0015]在一些实施方式中，还包括与所述片材用支撑装置对置的压边件，所述压边件用于压住所述片材的四周边缘。
[0016]在一些实施方式中，所述压边件在与所述载置面相对的一侧，设置有弹性抵接部，所述压边件通过所述弹性抵接部压住所述片材。
附图说明
[0017]图1是本技术的片材用支撑装置的一种实施方式的立体示意图。
[0018]图2是图1的片材用支撑装置的俯视图。
[0019]图3是图1的片材用支撑装置的侧视图。
[0020]图4是图2中的A
‑
A处的剖视图。
[0021]图5是本技术的片材用支撑装置的另一种实施方式的俯视示意图。
[0022]图6是本技术的片材用支撑装置的又一种实施方式的俯视示意图。
[0023]图7是图6的片材用支撑装置的侧视图。
[0024]图8是图6中的B
‑
B处的剖视图。
[0025]图9是具有本技术的片材用支撑装置的等离子体设备的一种实施方式的示意图。
[0026]图10是图9中的片材用支撑装置以及压边件的示意图。
[0027]图11是图10中的C
‑
C处的剖视图。
[0028]图12是图11中的D处的放大图。
[0029]图13是片材的一种形态的示意图。
[0030]图14是片材的另一种形态的示意图。
具体实施方式
[0031]下面详细描述本实施方式的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实施方式，而不能理解为对本实施方式的限制。
[0032]在本实施方式的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实施方式和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实施方式的限制。
[0033]在本实施方式的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0034]本实施方式的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实施方式中的具体含义。
[0035]参照图1至图14，并主要参照图13以及图14，在说明片材用支撑装置100(为便于说明，后面有时仅称“支撑装置100”)之前，首先对片材进行说明。作为片材，可列举例如玻璃材质的面板300(为后面说明，后面以面板300作为片材的一个具体的实施例)、硅片等。以作为半导体器件的面板300为例，在半导体器件的制备当中，面板300的厚度可能薄至1mm以下。由于面板300的厚度非常薄，在一些工艺当中，可能会形成翘曲。例如，在对面板300进行表面degas(脱气)的工艺中，由于温度不均以及残留应力等，可能会导致面板300翘曲。翘曲的面板300可能呈“笑脸状”(参照图13)，即面板300的中部下凹，四周边缘朝上翘起。此外，翘曲的面板300也可能呈“哭脸状”(参照图14)，即面板300的中部上凸，而四周边缘朝下翘起。
[0036]辅助参照图9，在等离子体设备200当中对面板300的表面进行膜层沉积时，通常要求面板300的表面尽可能平整，以提高工艺的均匀性。为此，在面板300出现翘曲的情况下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.片材用支撑装置，其特征在于，包括：基台，在载置面上载置呈矩形状的片材；多个支撑件，分别沿垂直于所述载置面的方向穿过所述基台并可突出于所述载置面，并且可分别从所述片材的底部的四周边缘、以与面板的长度方向以及宽度方向的中心线错开的方式支撑所述片材；定位组件，安装到所述基台，从所述片材的四周边缘对所述片材进行定位；所述基台和多个所述支撑件当中，至少其中一者可沿垂直于所述载置面的方向被驱动，以使所述支撑件突出于所述载置面或者相对所述载置面缩回。2.根据权利要求1所述的片材用支撑装置，其特征在于，多个所述支撑件分别沿垂直于所述载置面的方向可伸缩地被保持在所述基台上；多个所述支撑件可被驱动而突出于所述载置面或者相对所述载置面缩回。3.根据权利要求2所述的片材用支撑装置，其特征在于，多个所述支撑件以所述片材的长度方向的中心线和/或宽度方向的中心线为中心而对称地分布。4.根据权利要求2或3所述的片材用支撑装置，其特征在于，所述定位组件包括多个定位件，多个所述定位件分别沿垂直于所述载置面的方向可伸缩地安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱新华，张晓军，罗敏，邵寿潜，
申请(专利权)人：深圳市矩阵多元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：