【技术实现步骤摘要】
片材用支撑装置以及等离子体设备
[0001]本技术涉及但不限于等离子体镀膜
，尤其涉及片材用支撑装置以及等离子体设备。
技术介绍
[0002]在对例如面板等的片材进行镀膜等的等离子体设备中，面板(片材)放置在支撑装置的基台或传送台上。取放面板时，支撑针穿过基台将面板顶起，从而便于机械手取放面板。支撑针下降时，机械手可以将面板载置在基台上。
[0003]此外，为了抑制面板的表面的薄膜沉积位置或者面板的边界位置的刻蚀偏移，通常需要对面板进行准确的定位。例如，已知技术当中，有在面板的四周边缘设置定位件以抑制面板偏移的技术方案。然而，由于面板较薄、受热不均以及残留应力等，容易产生例如面板翘曲的情况。面板翘曲可能会形成例如“笑脸形”、“哭脸形”以及“波浪形”等。在面板翘曲的情况下，有时候仅通过定位件难以抑制面板的偏移，甚至可能导致压边装置下压时压碎面板。
技术实现思路
[0004]本技术旨在至少一定程度上解决已知问题之一。为此，本技术提出了一种片材用支撑装置，能够可靠地支撑片材并抑制片材的偏移。此外，本技术还...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.片材用支撑装置，其特征在于，包括：基台，在载置面上载置呈矩形状的片材；多个支撑件，分别沿垂直于所述载置面的方向穿过所述基台并可突出于所述载置面，并且可分别从所述片材的底部的四周边缘、以与面板的长度方向以及宽度方向的中心线错开的方式支撑所述片材；定位组件，安装到所述基台，从所述片材的四周边缘对所述片材进行定位；所述基台和多个所述支撑件当中，至少其中一者可沿垂直于所述载置面的方向被驱动，以使所述支撑件突出于所述载置面或者相对所述载置面缩回。2.根据权利要求1所述的片材用支撑装置，其特征在于，多个所述支撑件分别沿垂直于所述载置面的方向可伸缩地被保持在所述基台上；多个所述支撑件可被驱动而突出于所述载置面或者相对所述载置面缩回。3.根据权利要求2所述的片材用支撑装置，其特征在于，多个所述支撑件以所述片材的长度方向的中心线和/或宽度方向的中心线为中心而对称地分布。4.根据权利要求2或3所述的片材用支撑装置，其特征在于，所述定位组件包括多个定位件，多个所述定位件分别沿垂直于所述载置面的方向可伸缩地安装...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱新华，张晓军，罗敏，邵寿潜，
申请(专利权)人：深圳市矩阵多元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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