【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机用悬挂架
[0001]本技术涉及真空镀膜机
，特别是涉及一种真空镀膜机用悬挂架。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]真空镀膜机中用于放置工件的悬挂架大都与旋转主轴固定安装，且间距大都一致，两个悬挂架之间不能够根据不同工件的高度而调整之间的距离，这样容易导致，过大的工件无法防止，或者是较小工件放置完成后存在空间浪费，空间利用率低，整体使用效率低下的问题。
技术实现思路
[0004]针对上述现有技术的不足，本专利申请所要解决的技术问题是如何提供一种结构简单，便于调整间距，空间利用率高的真空镀膜机用悬挂架。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用了如下的技术方案：
[0006]一种真空镀膜机用悬挂架，包括设置对向设置在旋转轴外侧两个结构一致的半圆环，所述半圆环上均...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用悬挂架，其特征在于，包括设置对向设置在旋转轴外侧两个结构一致的半圆环，所述半圆环上均设置有安装立柱，两个所述半圆环内部均固定连接有U形安装板，其中一个所述U形安装板固定连接有固定夹持块，所述固定夹持块上设置有与旋转轴仿形的半圆槽，另一个所述U形安装板水平滑动连接有移动夹持块，所述移动夹持块上也设置有与所述旋转轴仿形的半圆槽，所述移动夹持块与所述U形安装板之间设置有平移机构，所述U形安装板与所述平移机构之间还设置有锁紧机构。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用悬挂架，其特征在于，所述U形安装板上水平设置有凹槽，所述移动夹持块包括夹持部和导向部，所述导向部设置在所述凹槽内。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用悬挂架，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘喆，朱传齐，
申请(专利权)人：中山市维纳真空镀膜有限公司，
类型：新型
国别省市：
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