【技术实现步骤摘要】
一种镀膜质量好的真空镀膜设备的产品装夹装置
[0001]本技术涉及真空镀膜设备
,具体为一种镀膜质量好的真空镀膜设备的产品装夹装置。
技术介绍
[0002]在对一些板件进行真空镀膜加工的过程中,需要对板件进行初步的限位,避免镀膜过程中板件移动,导致镀膜精度降低,根据专利授权公告号:CN 208844186 U提出的一种真空镀膜设备的产品装夹装置,该技术公开了一种真空镀膜设备的产品装夹装置,包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板,所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置,所述旋转驱动轴上套有第一轴承,所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构,所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件,所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮,所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置,所述驱动齿轮边缘处啮合有驱动马达,所述旋转驱动轴上套有偏压支架,且位于驱动齿轮的上方,本技术涉及真空镀膜设备
,调节电压,使离子束流排出尖角效应的干扰,达到深孔内表面镀膜,复杂曲面镀膜的目的,该装置为两套独立的旋转偏压系统。但是现有技术中的装夹装置,在使用时 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镀膜质量好的真空镀膜设备的产品装夹装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上端转动连接有驱动轴(2),所述驱动轴(2)的上端固定连接有装夹盘(3),所述底座(1)的内部固定连接有伺服电机(4),所述伺服电机(4)的输出轴与所述驱动轴(2)固定连接,所述装夹盘(3)的内部滑动连接有顶出柱(5),所述顶出柱(5)的一端固定连接有底板(6),所述底板(6)上设置有拉簧(7),所述底板(6)的上端固定连接有装夹板(9),所述装夹板(9)的内部固定连接有导向柱(10),所述导向柱(10)的外侧设置有弹簧(11),所述导向柱(10)的外侧滑动连接有驱动板(12),所述驱动板(12)上固定连接有装夹架(13),所述底座(1)的下端固定连接有四个均匀分布的连接腿(14)。2.根据权利要求1所述的一种镀膜质量好的真空镀膜设备的产品装夹装置,其特征在于:所述拉簧(7)的一端与所述底板(6)固定连接,所述拉簧(7)的另一端与所述装夹盘(3)固定连接。3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖顺东,蒲龙翔,王曦,
申请(专利权)人:邵阳腾创精密科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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