一种燕尾槽加工方法技术

本发明专利技术涉及开槽加工技术领域，具体公开了一种燕尾槽加工方法，包括以下步骤：S1、将待加工件进行固定，通过铣刀对待加工件进行加工以形成凹槽，用于去除多余量；S2、通过粗燕尾槽刀对待加工件的凹槽进行粗加工，用于减少加工余量，以使燕尾槽粗成型；S3、通过精燕尾槽刀对待加工件的凹槽进行精加工，用于去除加工余量，以使燕尾槽精成型。本发明专利技术中先通过铣刀对待加工件进行加工以形成凹槽，用于去除多余量，以此能够降低后续开设燕尾槽的加工难度，避免大角度燕尾槽无法直接下刀的情况，再通过两种燕尾槽刀加工燕尾槽，能够降低燕尾槽槽壁的粗糙度，并避免加工薄壁燕尾槽时，使用单刀多次加工而造成燕尾槽的槽壁破壁。工而造成燕尾槽的槽壁破壁。工而造成燕尾槽的槽壁破壁。

【技术实现步骤摘要】
一种燕尾槽加工方法


[0001]本专利技术涉及开槽加工
，尤其涉及一种燕尾槽加工方法。

技术介绍

[0002]燕尾槽是槽底比槽口宽的一种结构，其能够用作于放置密封圈，安装时通过下压力使密封圈发生弹性变形，进而充满燕尾槽的内部，以起到密封的作用。为了保证密封性，燕尾槽的尺寸精度相当重要，如果尺寸误差过大，会造成无法密封而发生漏气漏液的现象，同时燕尾槽内部的粗糙度也十分重要，直接决定了密封效果。
[0003]半导体气体分配盘在机械加工过程中会存在加工薄壁燕尾槽的情况。现有技术中通常使用车削或铣削的加工方法加工燕尾槽，但薄壁燕尾槽的槽壁较薄，仅靠车削会造成破壁，且半导体气体分配盘的薄壁燕尾槽不是整圆，也无法使用车削加工；普通的燕尾槽铣刀通过铣削方式加工薄壁燕尾槽时，其无法直接下刀，且加工时间较长，加工后槽壁粗糙，进而影响薄壁燕尾槽的使用。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种燕尾槽加工方法，以解决现有技术中无法通过常规车削或铣削的加工方式加工出薄壁燕尾槽的问题。
[0005]为达上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0006]本专利技术提供一种燕尾槽加工方法，包括以下步骤：
[0007]S1、将待加工件进行固定，通过铣刀对待加工件进行加工以形成凹槽，用于去除多余量；
[0008]S2、通过粗燕尾槽刀对待加工件的凹槽进行粗加工，用于减少加工余量，以使燕尾槽粗成型；
[0009]S3、通过精燕尾槽刀对待加工件的凹槽进行精加工，用于去除加工余量，以使燕尾槽精成型。
[0010]作为上述燕尾槽加工方法的一种可选方案，在步骤S1前，根据燕尾槽的开口宽度选用铣刀，以使凹槽的开口宽度小于燕尾槽的开口宽度。
[0011]作为上述燕尾槽加工方法的一种可选方案，在步骤S1中，通过量具对待加工件进行测量，并确定凹槽的开槽位置，以使凹槽包含于预开设的燕尾槽内。
[0012]作为上述燕尾槽加工方法的一种可选方案，根据上述燕尾槽的燕尾角选用上述粗燕尾槽刀和上述精燕尾槽刀，且上述燕尾角的角度范围为大于0
°
，小于90
°
。
[0013]作为上述燕尾槽加工方法的一种可选方案，粗燕尾槽刀和精燕尾槽刀均采用三刃刀尖结构。
[0014]作为上述燕尾槽加工方法的一种可选方案，精燕尾槽刀的切削刃为满刃，且精燕尾槽刀的断屑槽为满刃断屑槽。
[0015]作为上述燕尾槽加工方法的一种可选方案，粗燕尾槽刀和精燕尾槽刀均进行一次
进给加工。
[0016]作为上述燕尾槽加工方法的一种可选方案，粗燕尾槽刀和精燕尾槽刀均采用高转速和低进给的加工方式。
[0017]本专利技术的有益效果为：
[0018]在本专利技术中，先通过铣刀对待加工件进行加工以形成凹槽，用于去除多余量，以此能够降低后续开设燕尾槽的加工难度，避免大角度燕尾槽无法直接下刀的情况，并大大延长后续所使用刀具的使用寿命。通过粗燕尾槽刀对待加工件的凹槽进行粗加工，用于减少加工余量，使得燕尾槽的形状基本定型，再通过精燕尾槽刀对待加工件的凹槽进行精加工，用于去除加工余量，以使燕尾槽能够精成型，以此降低燕尾槽槽壁的粗糙度，避免槽壁粗糙对燕尾槽的使用造成影响，同时通过两种燕尾槽刀加工燕尾槽，能够避免加工薄壁燕尾槽时，使用单刀多次加工而造成燕尾槽的槽壁破壁。
附图说明
[0019]图1为本专利技术实施例所提供的燕尾槽加工方法的流程示意图。
具体实施方式
[0020]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0021]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0022]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0023]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0024]本实施例提供一种燕尾槽加工方法，用于加工燕尾槽，同时能够满足薄壁燕尾槽的加工。
[0025]如图1所示，该燕尾槽加工方法，包括以下步骤：
[0026]S1、将待加工件进行固定，通过铣刀对待加工件进行加工以形成凹槽，用于去除多余量；
[0027]S2、通过粗燕尾槽刀对待加工件的凹槽进行粗加工，用于减少加工余量，以使燕尾槽粗成型；
[0028]S3、通过精燕尾槽刀对待加工件的凹槽进行精加工，用于去除加工余量，以使燕尾槽精成型。
[0029]本实施例所提供的燕尾槽加工方法，先通过铣刀对待加工件进行加工以形成凹槽，用于去除多余量，以此能够降低后续开设燕尾槽的加工难度，避免大角度燕尾槽无法直接下刀的情况，并大大延长后续所使用刀具的使用寿命。通过粗燕尾槽刀对待加工件的凹槽进行粗加工，用于减少加工余量，使得燕尾槽的形状基本定型，再通过精燕尾槽刀对待加工件的凹槽进行精加工，用于去除加工余量，以使燕尾槽能够精成型，以此降低燕尾槽槽壁的粗糙度，避免槽壁粗糙对燕尾槽的使用造成影响，同时通过两种燕尾槽刀加工燕尾槽，能够避免加工薄壁燕尾槽时，使用单刀多次加工而造成燕尾槽的槽壁破壁。可选地，该燕尾槽加工方法能够使用于半导体机台部件气体分配盘薄壁燕尾槽的加工。当然，燕尾槽加工方法也可以用于其它燕尾槽的加工，本实施例不作具体限定。
[0030]进一步地，在步骤S1前，根据燕尾槽的开口宽度选用铣刀，以使凹槽的开口宽度小于燕尾槽的开口宽度，进而避免铣刀开设凹槽时，凹槽的开口开设过大而影响燕尾槽的开口大小。
[0031]进一步地，在步骤S本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种燕尾槽加工方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将待加工件进行固定，通过铣刀对所述待加工件进行加工以形成凹槽，用于去除多余量；S2、通过粗燕尾槽刀对所述待加工件的所述凹槽进行粗加工，用于减少加工余量，以使燕尾槽粗成型；S3、通过精燕尾槽刀对所述待加工件的所述凹槽进行精加工，用于去除加工余量，以使所述燕尾槽精成型。2.根据权利要求1所述的燕尾槽加工方法，其特征在于，在步骤S1前，根据所述燕尾槽的开口宽度选用所述铣刀，以使所述凹槽的开口宽度小于所述燕尾槽的开口宽度。3.根据权利要求1所述的燕尾槽加工方法，其特征在于，在步骤S1中，通过量具对所述待加工件进行测量，并确定所述凹槽的开槽位置，以使所述凹槽包含于预开设的所述燕尾槽内。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，许航嘉，郭周承，
申请(专利权)人：宁波江丰芯创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：