热交换器及其使用方法技术

本发明专利技术提供了一种热交换器及其使用方法，热交换器包括蓄水箱、第一去离子器和第二去离子器；蓄水箱内设置有抽水泵；抽水泵的出口与出液管道连接，出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道；其中，第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道；第一分支出液管道与第一去离子器的进口连接，第二分支出液管道与第二去离子器的进口连接。本发明专利技术提供的热交换器及其使用方法，热交换器包括第一去离子器和第二去离子器，使得正在工作的第一去离子器/第二去离子器需要更换时，不需要暂停整个机台，能够切换到第二去离子器/第一去离子器来进行工作。离子器来进行工作。离子器来进行工作。

【技术实现步骤摘要】
热交换器及其使用方法


[0001]本专利技术涉及半导体集成电路制造领域，特别涉及一种热交换器及其使用方法。

技术介绍

[0002]在物理气相沉积或者化学气相沉积成膜工艺中，通常使用热交换器对机台(比如氮化钛化学气相沉积设备、镍铂合金溅射设备)进行冷却。而且，在此成膜工艺中，需要采用去离子水来对机台进行降温，去离子水的电阻值和温度也需要满足成膜工艺中所要求的条件，避免影响晶圆成膜。
[0003]请参见图1，图1为现有技术中的热交换器的示例图。如图1所示，现有技术中的所述热交换器包括过滤器10、蓄水箱11、去离子器12和冷却器13。
[0004]现有的热交换器，当去离子水的电阻值偏低，就会导致去离子水中的导电离子变多，从而导致去离子器12对水的净化效果变差，于是需要更换去离子器12。然而，更换去离子器12时，会造成水温波动，从而需要暂停机台14。而且，也需要通过暂停整个机台14来更换去离子器12，从而浪费了机台14的正常运行时间。
[0005]另外，当工作人员向蓄水箱11内加入去离子水时，会导致蓄水箱11内的水温波动较大，从而需要暂停机台14，等到蓄水箱11内的水温达到预设温度，机台14才能正常运行。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种热交换器及其使用方法，以解决现有技术中存在的由于来自机台的去离子水的电阻值偏低导致去离子器的净化效果变差，需要暂停整个机台来更换去离子器，或者向蓄水箱内加去离子水，导致水温波动较大，需要暂停机台，从而浪费了机台的正常运行时间等其中的一个或多个问题。
[0007]为达到上述目的，本专利技术通过以下技术方案实现：一种热交换器，用于与在半导体集成电路制造领域使用的机台进行热量交换，所述热交换器包括蓄水箱、第一去离子器和第二去离子器；
[0008]所述蓄水箱内设置有抽水泵；
[0009]所述抽水泵的出口与出液管道连接，所述出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道；
[0010]所述第一主出液管道与所述机台连接；
[0011]所述第二主出液管道上设置有第一阀门；其中，所述第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道；所述第一分支出液管道上设置有第二阀门，所述第二分支出液管道上设置有第三阀门；所述第一分支出液管道与所述第一去离子器的进口连接，所述第二分支出液管道与所述第二去离子器的进口连接；
[0012]所述第一去离子器的出口与所述蓄水箱连接，所述第二去离子器的出口与所述蓄水箱连接。
[0013]可选的，所述第一阀门设置有控制器；所述控制器配置为当通过所述第一阀门的
液体的电阻值不低于预设上限值时，所述控制器控制所述第一阀门关闭；当通过所述第一阀门的液体的电阻值不高于预设下限值时，所述控制器控制所述第一阀门开启。
[0014]可选的，所述热交换器还包括第一控制单元，所述第一控制单元配置为当检测到正在工作的所述第一去离子器/所述第二去离子器无法正常工作时，则关闭所述第二阀门/所述第三阀门，打开所述第三阀门/所述第二阀门。
[0015]可选的，所述热交换器还包括注水箱；所述蓄水箱内设置有第一加热器；所述注水箱内设置有第二加热器；连接所述注水箱的出口和所述蓄水箱的管道上设置有第四阀门；所述第一加热器和所述第二加热器均设置相同的预设温度。
[0016]可选的，所述蓄水箱还包括液位传感器和第二控制单元；所述第二控制单元配置为当检测到所述蓄水箱内的液位不高于预设液位下限值时，则开启所述第四阀门，当检测到所述蓄水箱内的液位不低于预设上限值时，则关闭所述第四阀门。
[0017]可选的，所述注水箱还连接有自动补水装置。
[0018]可选的，所述热交换器还包括过滤器，所述过滤器的出口与所述蓄水箱连接。
[0019]可选的，所述过滤器上连接有冷却器。
[0020]为达到上述目的，本专利技术还提供了一种机台，所述机台应用在半导体集成电路制造领域；所述机台包括上述任一项所述的热交换器。
[0021]为达到上述目的，本专利技术还提供了一种热交换器的使用方法，其中，热交换器为上述任一项所述的热交换器，使用方法包括：
[0022]打开所述第二阀门/所述第三阀门，关闭所述第三阀门/所述第二阀门，启动所述第一去离子器/所述第二去离子器进行工作；
[0023]当第一控制单元检测到正在工作的所述第一去离子器/所述第二去离子器无法正常工作时，关闭所述第二阀门/所述第三阀门，开启所述第三阀门/所述第二阀门，启动所述第二去离子器/所述第一去离子器进行工作。
[0024]与现有技术相比，本专利技术提供的热交换器及其使用方法具有以下有益效果：
[0025]本专利技术提供的热交换器，用于与在半导体集成电路制造领域使用的机台进行热量交换，包括蓄水箱、第一去离子器和第二去离子器；所述蓄水箱内设置有抽水泵；所述抽水泵的出口与出液管道连接，所述出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道；所述第一主出液管道与所述机台连接；所述第二主出液管道上设置有第一阀门；其中，所述第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道；所述第一分支出液管道上设置有第二阀门，所述第二分支出液管道上设置有第三阀门；所述第一分支出液管道与所述第一去离子器的进口连接，所述第二分支出液管道与所述第二去离子器的进口连接；所述第一去离子器的出口与所述蓄水箱连接，所述第二去离子器的出口与所述蓄水箱连接。由此，本专利技术提供的热交换器，由于在蓄水箱内设置有抽水泵，所述抽水泵的出口与出液管道连接，所述出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道，因此能够将蓄水箱内的液体泵出到出液管道的第一主出液管道和第二主出液管道，所述第一主出液管道与所述机台连接，液体可以从第一主出液管道流入机台。而且，所述第二主出液管道上设置有第一阀门，所述第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道，通过开启第一阀门，能够使液体流入第一分支出液管道和第二分支出液管道；所述第一分支出液管道上设置有第二阀门，所述第二分支出液管道上设置有第三阀门，所述第一分支出液管道与所述第一去离子器的
进口连接，所述第二分支出液管道与所述第二去离子器的进口连接，通过第二阀门和第三阀门的开启和关闭，能够使得液体流入第一去离子器或第二去离子器，通过第一去离子器或第二去离子器可以去除液体中的导电离子，然后液体再流入蓄水箱内。当正在工作的第一去离子器/第二去离子器需要更换时，由于设置有第一去离子器和第二去离子器，因此，不需要暂停整个机台，通过关闭第二阀门/第三阀门，打开第三阀门/第二阀门，能够切换到第二去离子器/第一去离子器来进行工作，从而提高机台的运行效率。
[0026]较佳地，所述热交换器还包括第一控制单元，所述第一控制单元配置为当检测到正在工作的所述第一去离子器/所述第二去离子器无法正常工作时，则关闭所述第二阀门/所述第三阀门，打开所述第三阀门/所述第二阀门。由此，通过设置第一控制单元，能够更加便捷的对第一去离子器/第二去离子器进行切换。
[0027]进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热交换器，用于与在半导体集成电路制造领域使用的机台进行热量交换，其特征在于，所述热交换器包括蓄水箱、第一去离子器和第二去离子器；所述蓄水箱内设置有抽水泵；所述抽水泵的出口与出液管道连接，所述出液管道包括第一主出液管道和第二主出液管道；所述第一主出液管道与所述机台连接；所述第二主出液管道上设置有第一阀门；其中，所述第二主出液管道包括第一分支出液管道和第二分支出液管道；所述第一分支出液管道上设置有第二阀门，所述第二分支出液管道上设置有第三阀门；所述第一分支出液管道与所述第一去离子器的进口连接，所述第二分支出液管道与所述第二去离子器的进口连接；所述第一去离子器的出口与所述蓄水箱连接，所述第二去离子器的出口与所述蓄水箱连接。2.如权利要求1所述的热交换器，其特征在于，所述第一阀门设置有控制器；所述控制器配置为当通过所述第一阀门的液体的电阻值不低于预设上限值时，所述控制器控制所述第一阀门关闭；当通过所述第一阀门的液体的电阻值不高于预设下限值时，所述控制器控制所述第一阀门开启。3.如权利要求1所述的热交换器，其特征在于，所述热交换器还包括第一控制单元，所述第一控制单元配置为当检测到正在工作的所述第一去离子器/所述第二去离子器无法正常工作时，则关闭所述第二阀门/所述第三阀门，打开所述第三阀门/所述第二阀门。4.如权利要求1所述的热交换器，其特征在于，所述热交换器还包括注水箱；所述蓄水箱内设置有第一加热器；所述注水箱内...

【专利技术属性】
技术研发人员：邰晓东，柳小敏，朱亮，张啸，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：