一种光刻均胶机制造技术

本发明专利技术提供一种光刻均胶机，包括底箱，所述底箱上端转动连接转罩，所述转罩环形外端下侧安装环形齿轮，所述环形齿轮右端啮合传动齿轮，所述传动齿轮上端与第三驱动设备的活动部连接且第三驱动设备的固定部设置在底箱内部顶端，所述底箱上端左侧转动连接转轴，所述底箱内部顶端设置第二驱动设备的固定部，所述第二驱动设备的活动部穿过底箱并与转轴连接，所述转轴上端设置安装板，所述安装板上端右侧安装第一升降设备的固定部，所述第一升降设备的活动部穿过安装板并与调节件连接，所述调节件右端对称设置两个横板，该设计达到对基片进行提放式取放料的目的，有效减少对基片的均胶面产生损坏概率，提升均胶效果。提升均胶效果。提升均胶效果。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻均胶机


[0001]本专利技术是一种光刻均胶机，属于光刻均胶


技术介绍

[0002]基片是芯片的重要组成部件之一，将平面型晶体管以及集成电路安装到基片上会形成芯片，其中基片光刻是芯片生产中重要工序之一，而在基片光刻工序前，一般要将聚酰亚胺胶均匀涂抹到基片表面，用于满足后续基片光刻要求，一般采用光刻均胶机对基片进行聚酰亚胺胶的均胶作业，现有技术中光刻均胶机一般由机架、安装在机架上端右侧滑动连接上胶机构、转动连接在机架上端并延伸入机架内的放置台、安装在机架内用于驱动放置台旋转的第一驱动设备、转动设置在机架上端左侧的轴、安装在机架内并可驱动轴旋转的第二驱动设备以及安装在轴外端并位于放置台正上方的机械夹具构成，在使用时，利用机械夹具的两个夹爪对基片进行夹持，然后启动第二驱动设备，从而驱动轴以及机械夹具发生转动，进而使夹持的基片转动到放置台正上端，然后使松开机械夹具的夹爪松开对基片的夹持，再将基片紧固安装到放置台上，然后使上胶机构在机架上进行滑动，使上胶机构的上胶头移动到基片正上方，然后利用上胶机构对基片进行上胶，然后使上胶机构返回原位，然后启动第一驱动设备，从而驱动放置台旋转，并使基片发生旋转，再离心力作用下，实现对基片进行均胶处理，然后利用机械夹具对均胶后的基片进行夹持，然后再利用第二驱动设备以及轴将基片从放置台上转出并输送到下一个工序上，但是在利用机械夹具的两个夹爪对基片进行取放料时，机械夹具的夹爪易对基片表面的边缘位置发生接触，造成对均胶面产生损坏的概率较大，会影响均胶效果。

技术实现思路
r/>[0003]针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供一种光刻均胶机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本专利技术达到对基片进行提放式取放料的目的，有效减少对基片的均胶面产生损坏概率，提升均胶效果。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术是通过如下的技术方案来实现：一种光刻均胶机，包括底箱，所述底箱上端转动连接转罩且转罩延伸入底箱内部，所述转罩环形外端下侧安装环形齿轮且环形齿轮位于底箱内，所述环形齿轮右端啮合传动齿轮，所述传动齿轮上端与第三驱动设备的活动部连接且第三驱动设备的固定部设置在底箱内部顶端，所述转罩内部顶端安装吸附件的一端，所述吸附件的另一端与抽气设备的进口连通且抽气设备位于底箱内部底端，所述底箱上端左侧转动连接竖向布置的转轴，所述底箱内部顶端设置第二驱动设备的固定部且第二驱动设备位于转罩左侧，所述第二驱动设备的活动部穿过底箱并与转轴连接，所述转轴上端设置横向布置的安装板，所述安装板上端右侧安装第一升降设备的固定部，所述第一升降设备的活动部穿过安装板并与调节件连接，且调节件位于转轴右端与转罩左端之间，所述调节件右端对称设置两个横向布置的横板，且两个横板位于转罩前后两侧，所述底箱上端设置上胶机构且上胶机构位于转罩右侧。
[0005]进一步地，所述上胶机构包括安装箱，所述安装箱下端设置移动件且移动件安装在底箱上端，所述安装箱内部右壁设置横向布置的上胶筒，所述上胶筒左端上侧连通安装带单向阀的L型上胶管的横向部且L型上胶管延伸出安装箱左侧，所述L型上胶管的竖向部设置在转罩正上方，所述上胶筒内滑动连接活塞，所述安装箱右端安装横向布置的第二升降设备的固定部，所述第二升降设备的活动部穿过安装箱并与活塞连接，所述上胶筒左端下侧连通设置补胶件且补胶件位于安装箱内。
[0006]进一步地，所述补胶件包括贴合在安装箱内部底端并用于存储聚酰亚胺胶的存储罐，所述上胶筒左端下侧连通设置带单向阀的吸胶管的一端，且吸胶管的另一端延伸入存储罐内，所述安装箱内部底端设置定位筒且定位筒位于存储罐外端，所述存储罐上端螺纹连接端盖并延伸入端盖内，所述端盖转动连接在吸胶管环形端且端盖位于上胶筒下侧。
[0007]进一步地，所述移动件包括固定在底箱上端的两个平行布置的固定板，两个所述固定板之间转动连接横向布置的丝杆，所述丝杆外端通过滚动螺母副连接滑块且滑块位于底箱上侧，所述滑块上端设置安装箱，所述底箱上端右侧安装第一驱动设备的固定部且第一驱动设备设置在位于右方的固定板右侧，所述第一驱动设备的活动部与丝杆连接。
[0008]进一步地，两个所述固定板之间对称安装两个圆杆，且两个圆杆位于丝杆前后两侧，两个所述圆杆均贯穿滑块且滑块与圆杆滑动连接。
[0009]进一步地，所述滑块下端均匀设置多个滚动构件的固定部，多个所述滚动构件的滚动部均滚动连接在底箱上端。
[0010]进一步地，所述调节件包括安装在第一升降设备的活动部下端的矩形筒，两个所述横板左端均延伸入矩形筒内且矩形筒与横板滑动连接，所述矩形筒内部转动连接纵向布置的双向螺杆，所述双向螺杆贯穿两个横板且横板与双向螺杆螺纹连接。
[0011]进一步地，两个所述横板上端均设置弧形板且弧形板与横板呈一体化成型结构，两个所述弧形板相对布置且弧形板位于矩形筒右侧。
[0012]进一步地，所述矩形筒上端对称安装两个圆柱，且两个圆柱位于第一升降设备前后两侧，两个所述圆柱上端均贯穿安装板且安装板与圆柱滑动连接。
[0013]进一步地，所述吸附件包括一端与抽气设备的进口连通的连接管，所述转罩上端面中间位置向下凹陷形成吸孔且吸孔延伸至转罩内部顶端，所述转罩内部顶端安装上宽下窄布置的吸罩且吸罩上端与吸孔连通布置，所述连接管的另一端延伸入转罩内并吸罩下端转动连接。
[0014]本专利技术的有益效果：两个弧形板会在两个横板上端形成一个放置腔，可将基片放置到放置腔内，此时两个横板会对基片进行托举，而两个弧形板会对基片进行限位，并利用第二电机、转轴，使安装板以及设置在安装板上的部件以及放置的基片进行转动，进而使基片转动到转罩正上方，再利用第一电动推杆，驱动矩形筒、两个横板以及基片下移，使基片定位放置到转罩上端，并使横板与基片分离，可对基片进行均胶作业，当完成后，可利用第一电动推杆使矩形筒以及两个横板上移，并将基片从转罩上端提起，再利用第二电机，使转轴、安装板、安装板上的部件以及基片从转罩上方转出，达到对基片进行提放式取放料的目的，有效减少对基片的均胶面产生损坏概率，提升均胶效果。
[0015]利用双向螺杆使两个横板相对运动，进而两个弧形板相对运动，达到调整两个弧
形板之间距离的目的，提升使用范围。
[0016]利用气泵、连接管对吸罩内的空气进行抽取，从而使吸罩内产生负压，并在负压作用下，将基片吸附在转罩上端，达到对基片进行吸附式紧固的目的，有效减少对基片损坏概率，提升产品质量。
[0017]使螺栓的杆部贯穿贯穿安装板以及两个辅助板并与螺母螺纹连接，实现安装板与转轴之间紧固安装，当螺栓与螺母之间无法正常拆卸时，可对位于两个辅助板之间的螺栓的杆部进行切断处理，达到对安装板的便捷拆卸的目的。
[0018]可将存储有酰亚胺胶的存储罐安插到定位筒内，使存储罐的定位安装，再将吸胶管安插到存储罐内，并使端盖螺纹连接到存储罐上，对存储罐的开口进行封堵，并使吸胶管与存储罐之间稳定安装，达到便捷更换存储罐的目的，利用第二电动推杆，从而使活塞向右移动，进而使存储罐内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻均胶机，其特征在于：包括底箱（1），所述底箱（1）上端转动连接转罩（7）且转罩（7）延伸入底箱（1）内部，所述转罩（7）环形外端下侧安装环形齿轮（76）且环形齿轮（76）位于底箱（1）内，所述环形齿轮（76）右端啮合传动齿轮（74），所述传动齿轮（74）上端与第三驱动设备的活动部连接且第三驱动设备的固定部设置在底箱（1）内部顶端，所述转罩（7）内部顶端安装吸附件的一端，所述吸附件的另一端与抽气设备的进口连通且抽气设备位于底箱（1）内部底端，所述底箱（1）上端左侧转动连接竖向布置的转轴（3），所述底箱（1）内部顶端设置第二驱动设备的固定部且第二驱动设备位于转罩（7）左侧，所述第二驱动设备的活动部穿过底箱（1）并与转轴（3）连接，所述转轴（3）上端设置横向布置的安装板（4），所述安装板（4）上端右侧安装第一升降设备的固定部，所述第一升降设备的活动部穿过安装板（4）并与调节件连接，且调节件位于转轴（3）右端与转罩（7）左端之间，所述调节件右端对称设置两个横向布置的横板（6），且两个横板（6）位于转罩（7）前后两侧，所述底箱（1）上端设置上胶机构且上胶机构位于转罩（7）右侧。2.根据权利要求1所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述上胶机构包括安装箱（9），所述安装箱（9）下端设置移动件且移动件安装在底箱（1）上端，所述安装箱（9）内部右壁设置横向布置的上胶筒（93），所述上胶筒（93）左端上侧连通安装带单向阀的L型上胶管（8）的横向部且L型上胶管（8）延伸出安装箱（9）左侧，所述L型上胶管（8）的竖向部设置在转罩（7）正上方，所述上胶筒（93）内滑动连接活塞（92），所述安装箱（9）右端安装横向布置的第二升降设备的固定部，所述第二升降设备的活动部穿过安装箱（9）并与活塞（92）连接，所述上胶筒（93）左端下侧连通设置补胶件且补胶件位于安装箱（9）内。3.根据权利要求2所述的一种光刻均胶机，其特征在于：所述补胶件包括贴合在安装箱（9）内部底端并用于存储聚酰亚胺胶的存储罐（96），所述上胶筒（93）左端下侧连通设置带单向阀的吸胶管（94）的一端，且吸胶管（94）的另一端延伸入存储罐（96）内，所述安装箱（9）内部底端设置定位筒（97）且定位筒（97）位于存储罐（96）外端，所述存储罐（96）上端螺纹连接端盖（95）并延伸入端盖（95）内，所述端盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁海霞，施欢乐，郭瑛，施恩泽，
申请(专利权)人：盐城合瑞恩科技有限公司，
类型：发明
国别省市：