一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置及其蒸镀方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置及其蒸镀方法。一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置，包括一用于摆放氮化铝陶瓷的框架；框架的顶部为用于摆放已氧化铜片的上摆放位；框架的底部为用于摆放已氧化铜片的下摆放位；框架中央设置有上下设置的上方孔以及下方孔，上方孔的外边缘的垂直投影位于下方孔的外边缘的垂直投影的外围；上方孔为用于摆放氮化铝陶瓷的陶瓷摆放位。本发明专利技术氮化铝陶瓷在装置中间，两片铜片分别在底部和顶部，实现氮化铝陶瓷上下两个表面同时蒸镀，生产效率高，成本低。成本低。成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置及其蒸镀方法


[0001]本专利技术涉及陶瓷基板制造
，具体涉及陶瓷基板的蒸镀装置及蒸镀方法。

技术介绍

[0002]氮化铝陶瓷与铜箔烧结之前，需要对氮化铝陶瓷表面进行蒸镀,使其表面生存金属氧化物蒸镀膜(Cu
‑
O)，以降低氮化铝基板烧结过程产生的气泡，提高产品良率和可靠性。对蒸镀膜的要求是厚度在一定范围内且厚度均匀。
[0003]目前蒸镀的工艺为：已氧化的铜片放在烧结炉传送带上，再将氮化铝陶瓷放在铜片上进行第一面的蒸镀。之后按相同工艺进行氮化铝陶瓷第二面的蒸镀，这种蒸镀工艺存在的问题是：
[0004]1)由于蒸镀过程中铜片与氮化铝陶瓷直接接触及铜片表面不平，造成蒸镀过量及蒸镀厚度不均匀。
[0005]2)氮化铝陶瓷上下两个表面需要经过两次蒸镀，生产效率低，成本高。

技术实现思路

[0006]针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置，已解决上述至少一个技术问题。
[0007]本专利技术提供一种氮化铝陶瓷上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置，其特征在于，包括一用于摆放氮化铝陶瓷的框架；所述框架的顶部为用于摆放已氧化铜片的上摆放位；所述框架的底部为用于摆放已氧化铜片的下摆放位；所述框架中央设置有上下设置的上方孔以及下方孔，所述上方孔的外边缘的垂直投影位于所述下方孔的外边缘的垂直投影的外围；所述上方孔为用于摆放氮化铝陶瓷的陶瓷摆放位。2.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置，其特征在于：所述上方孔的纵向高度等于所述下方孔的纵向高度与氮化铝陶瓷的厚度之和。3.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置，其特征在于：所述框架包括左右镜像对称设置的第一L形支架以及前后镜像对称设置的第二L形支架，所述第一L形支架的前后两端设有用于嵌入所述第二L形支架的端部的缺口；所述第一L形支架的前后两端分别与所述第二L形支架相连，形成所述框架。4.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置，其特征在于：所述框架的材质为601不锈钢型钢。5.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置，其特征在于：所述第一L形支架与所述第二L形支架焊接相连。6.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置，其特征在于：所述第一L形支架与所述第二L形支架通过铣削加工而成。7.根据权利要求3所述的一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置，其特征在于：所述第一L形支架包括竖直设置的第一竖直部以及水平设置的第一水平部；所述第一水平部连接所述第一竖直部的底部；...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝林，阳强俊，戴洪兴，
申请(专利权)人：上海富乐华半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：