下载一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置及其蒸镀方法的技术资料

文档序号:38469124

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本发明公开了一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置及其蒸镀方法。一种氮化铝陶瓷上下表面同时蒸镀的装置,包括一用于摆放氮化铝陶瓷的框架;框架的顶部为用于摆放已氧化铜片的上摆放位;框架的底部为用于摆放已氧化铜片的下摆放位;框架中央设置有上下设置的...
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