蒸发源装置及蒸镀设备制造方法及图纸

本公开是关于一种蒸发源装置，该蒸发源装置包括第一遮挡结构，第一遮挡结构沿第一方向设于相邻两个蒸发源之间，第一遮挡结构包括第一挡板，第一挡板可以限制相邻两个蒸发源的蒸发范围。第一挡板沿第二方向延伸的至少一侧设有第一图案化遮挡部，第一图案化遮挡部至少部分位于其中一个蒸发源的多个喷嘴的喷出区域上，第一图案化遮挡部可以进一步限制相邻两个蒸发源的蒸发分布，使得从两个蒸发源喷出的不同种发光材料的掺杂更加均匀，从而提升发光器件的发光效率及使用寿命。本公开还提供了一种包括该蒸发源装置的蒸镀设备。包括该蒸发源装置的蒸镀设备。包括该蒸发源装置的蒸镀设备。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源装置及蒸镀设备


[0001]本公开涉及显示
，具体而言，涉及一种蒸发源装置及蒸镀设备。

技术介绍

[0002]OLED(Organic Light
‑
Emitting Diode，有机发光二极管)的响应时间快，可视角度大，对比度高，重量轻，功耗低，是当下显示器件研究热门领域之一，并且由于其特有的柔性，应用范围越来越广泛。
[0003]在OLED显示面板的制备过程中，有些膜层需要将两种或两种以上材料混合掺杂共同蒸镀，由于不同材料任一时刻的蒸发量在扫掠方向上的分布不同，导致膜层的不同厚度位置的材料掺杂比不同，影响发光器件的发光效率及使用寿命。
[0004]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0005]本公开的目的在于减小膜层的不同厚度位置的材料掺杂比差异，提供一种蒸发源装置及蒸镀设备。
[0006]根据本公开的一个方面，提供一种蒸发源装置，包括固定结构、至少两个蒸发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括：固定结构：至少两个蒸发源，沿第一方向间隔设置于所述固定结构上，每个所述蒸发源包括沿第二方向设置的多个喷嘴，所述第一方向垂直于所述第二方向；至少一个第一遮挡结构，所述第一遮挡结构安装于所述固定结构上，且沿第一方向设于相邻两个所述蒸发源之间；所述第一遮挡结构包括第一挡板，所述第一挡板设于所述蒸发源远离所述固定结构的一侧，所述第一挡板沿所述第二方向延伸的至少一侧设有第一图案化遮挡部，所述第一图案化遮挡部至少部分位于其中一个所述蒸发源的多个喷嘴的喷出区域上，所述第一图案化遮挡部具有第一镂空部，所述第一镂空部的面积占所述第一图案化遮挡部的总面积的5％～95％。2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一图案化遮挡部包括沿所述第二方向设置的多个子第一遮挡部，相邻两个所述子第一遮挡部之间形成所述第一镂空部。3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，在所述第一方向上，所述子第一遮挡部的宽度由靠近所述蒸发源的一端向远离所述蒸发源的一端逐渐变大。4.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述子第一遮挡部的形状为多边形或异形，当所述子第一遮挡部的形状异形时，所述子第一遮挡部沿所述第二方向相对的两条边为弧形边。5.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述子第一遮挡部上设有缺口和/或开孔，所述缺口位于所述子第一遮挡部的边缘，所述开孔位于所述子第一遮挡部的边缘围成的区域内。6.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述子第一遮挡部包括多个第一遮挡条，所述第一遮挡条沿所述第一方向延伸，多个所述第一遮挡条沿所述第二方向间隔设置。7.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一遮挡结构还包括第一连接部，所述第一图案化遮挡部沿所述第一方向设于所述第一连接部相对的两边，所述第一图案化遮挡部与所述第一连接部一体成型或所述第一图案化遮挡部与所述第一连接部可拆卸连接。8.根据权利要求7所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一遮挡结构还包括第一支撑部，所述第一支撑部与所述固定结构连接，所述第一连接部上设有安装槽，所述第一支撑部设有配合板，所述配合板固定连接于所述安装槽内。9.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一遮挡结构包括多...

【专利技术属性】
技术研发人员：王蓓，刘华猛，张智辉，白珊珊，李彦松，刘佳宁，王宇钊，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：