具有故障诊断功能的控制系统和方法技术方案

本发明专利技术公开了一种具有故障诊断功能的控制系统，其中的下传单元接收并向作业单元传输控制信号设定值；作业单元根据控制信号进行作业操作，并将其实际输出值传输至上传单元；控制信号检测单元采集下传单元输出的控制信号；表征参量测量单元测量表征参量；上传单元接收并向控制单元传输控制信号测量值、表征参量值和作业单元的实际输出值；控制单元判断系统中是否存在故障，并根据实际输出表征值判断故障是否存在于设置通路，并根据控制信号测量值来判断故障所在单元。此外，本发明专利技术还公开一种具有故障诊断功能的控制方法。本发明专利技术提供的系统和方法能够快速便捷地在线诊断故障所在位置，而不会影响生产工艺和设备产能，同时还具有维护成本低的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及控制
，具体而言，涉及一种具有故障诊断功能的控制系统及 方法。
技术介绍
随着电子技术的高速发展，人们对集成电路的集成度要求越来越高，这就要求生 产集成电路的企业不断地提高半导体器件的加工能力。目前，在半导体器件的加工、制造过 程中广泛采用等离子体刻蚀技术。所谓等离子体刻蚀技术指的是，反应气体在射频功率的 激发下产生电离形成含有大量电子、离子、激发态的原子、分子和自由基等活性粒子的等离 子体，这些活性粒子与被刻蚀物体(例如，晶片)的表面发生各种物理和化学反应并形成挥 发性的生成物，从而使得被刻蚀物体表面的性能发生变化。在实际工艺中，需要借助于等离子体刻蚀设备实施上述等离子体刻蚀技术。等离 子体刻蚀设备通常由若干部件组成，其中的电气系统负责完成对这些部件的控制，并且对 于不同的部件，控制方式也不同，例如，有的用串口，有的用并口。在并口的应用中，对于每 一个部件，通常会涉及到数字量控制和模拟量控制。所谓数字量控制包括启动信号、停止信 号、阀开/阀关等信号，这些信号往往由开关量来控制；所谓模拟量控制是指对连续变化的 物理量所采取的控制，例如，对射频电源输出功率进行的控本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有故障诊断功能的控制系统，包括控制单元、下传单元、作业单元和上传单元，所述控制单元、下传单元和作业单元构成系统中的设置通路，所述作业单元、上传单元和控制单元构成系统中的回读通路，其特征在于，所述控制系统还包括控制信号检测单元和表征参量测量单元，其中所述下传单元从所述控制单元接收针对所述作业单元的控制信号设定值，并对其进行相应处理后传输至作业单元；所述作业单元根据来自所述下传单元的控制信号进行相应的作业操作，并将其实际输出值传输至所述上传单元；所述控制信号检测单元连接在所述下传单元和上传单元之间，用以采集下传单元输出的所述控制信号，并将采集到的控制信号测量值传输至所述上传单元；所述表征参量...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：武小娟，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]