一种氮化镓芯片生产废料回收装置制造方法及图纸

技术编号:38425232 阅读:16 留言:0更新日期:2023-08-07 11:23
本实用新型专利技术公开了一种氮化镓芯片生产废料回收装置,涉及氮化镓芯片加工领域。包括设备底座,设备底座后端固定安装有收集盒,设备底座上表面固定安装有橡胶垫,设备底座上方设有加工平台,加工平台与设备底座之间设有转动机构,转动机构包括驱动轴、转向支架、第一齿轮、第二齿轮和伺服电机,转向支架固定安装于加工平台底部,转向支架上固定安装有驱动轴,驱动轴一端固定安装有第一齿轮,伺服电机固定安装于设备底座内,伺服电机的输出末端固定安装有第二齿轮,加工平台底部固定安装有震动机构,震动机构包括定位通孔、定位底座、震动电机、定位支架和防护壳体。便于用户对加工产生废料进行回收利用。废料进行回收利用。废料进行回收利用。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化镓芯片生产废料回收装置


[0001]本技术涉及氮化镓芯片加工领域,特别涉及一种氮化镓芯片生产废料回收装置。

技术介绍

[0002]氮化镓是一种无机物,化学式GaN,是氮和镓的化合物,是一种直接能隙的半导体。GaN材料的研究与应用是目前全球半导体研究的前沿和热点,是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料,并与SIC、金刚石等半导体材料一起,被誉为是继第一代Ge、Si半导体材料、第二代GaAs、InP化合物半导体材料之后的第三代半导体材料。它具有宽的直接带隙、强的原子键、高的热导率、化学稳定性好等性质和强的抗辐照能力,在光电子、高温大功率器件和高频微波器件应用方面有着广阔的前景。氮化镓芯片生产时需要对氮化镓材料进行切割,切割过程中会产生大量边角料,这些边角料具有回收价值,为此,需要一种氮化镓芯片生产废料回收装置,对这些边角料进行回收。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种氮化镓芯片生产废料回收装置,可以有效解决
技术介绍
中提到的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:
[0005]一种氮化镓芯片生产废料回收装置,包括设备底座,所述设备底座后端固定安装有收集盒,所述设备底座上表面固定安装有橡胶垫,所述设备底座上方设有加工平台,所述加工平台与设备底座之间设有转动机构,所述转动机构包括驱动轴、转向支架、第一齿轮、第二齿轮和伺服电机,所述转向支架固定安装于加工平台底部,所述转向支架上固定安装有驱动轴,所述驱动轴一端固定安装有第一齿轮,所述伺服电机固定安装于设备底座内,所述伺服电机的输出末端固定安装有第二齿轮,所述加工平台底部固定安装有震动机构,所述震动机构包括定位通孔、定位底座、震动电机、定位支架和防护壳体,所述定位底座固定安装于加工平台底部,所述定位底座两侧边缘处开设有定位通孔,所述定位底座上固定安装有定位支架,所述定位支架上固定安装有震动电机。
[0006]进一步而言,所述设备底座内开设有活动孔,所述驱动轴通过活动孔活动安装在设备底座内。
[0007]进一步而言,所述第一齿轮通过驱动轴活动安装在设备底座内,所述第二齿轮通过伺服电机活动安装在设备底座内,所述第一齿轮与第二齿轮相互啮合。
[0008]进一步而言,所述定位通孔内设有螺丝,所述定位底座通过螺丝固定在加工平台底部。
[0009]进一步而言,所述震动电机通过定位支架固定在定位底座上,所述防护壳体上设有螺丝,所述防护壳体通过螺丝固定在定位底座上。
[0010]进一步而言,所述加工平台通过转动机构安装在设备底座上。
[0011]与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:
[0012]使用时可以在加工平台上切割氮化镓材料,切割产生的边角料会掉落到加工平台上,加工平台上积累的边角料较多时可以启动伺服电机,启动伺服电机之后第二齿轮就会带动第一齿轮上的驱动轴旋转,驱动轴旋转之后其会带动加工平台旋转一定角度,从而使加工平台向收集盒一侧倾斜,加工平台向收集盒一侧倾斜之后可以启动震动电机,启动震动电机之后其会带动加工平台震动,从而将加工平台上的边角料震落的到收集盒中,便于用户对这些边角料进行回收。
附图说明
[0013]图1为本技术的整体结构示意图;
[0014]图2为本技术的转动机构示意图;
[0015]图3为本技术的震动机构示意图。
[0016]图中:1、收集盒;2、设备底座;3、橡胶垫;4、加工平台;5、震动机构;501、定位通孔;502、定位底座;503、震动电机;504、定位支架;505、防护壳体;6、转动机构;601、驱动轴;602、转向支架;603、第一齿轮;604、第二齿轮;605、伺服电机。
具体实施方式
[0017]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本技术。
[0018]如图1~图3所示,一种氮化镓芯片生产废料回收装置,包括设备底座2,设备底座2后端固定安装有收集盒1,设备底座2上表面固定安装有橡胶垫3,设备底座2上方设有加工平台4,加工平台4与设备底座2之间设有转动机构6,加工平台4底部固定安装有震动机构5,加工平台4通过转动机构6安装在设备底座2上。
[0019]加工平台4与设备底座2之间设有转动机构6,转动机构6包括驱动轴601、转向支架602、第一齿轮603、第二齿轮604和伺服电机605,转向支架602固定安装于加工平台4底部,转向支架602上固定安装有驱动轴601,驱动轴601一端固定安装有第一齿轮603,伺服电机605固定安装于设备底座2内,伺服电机605的输出末端固定安装有第二齿轮604,使用时可以在加工平台4上切割氮化镓材料,切割产生的边角料会掉落到加工平台4上,加工平台4上积累的边角料较多时可以启动伺服电机605,启动伺服电机605之后第二齿轮604就会带动第一齿轮603上的驱动轴601旋转,驱动轴601旋转之后其会带动加工平台4旋转一定角度,从而使加工平台4向收集盒1一侧倾斜。
[0020]加工平台4底部固定安装有震动机构5,震动机构5包括定位通孔501、定位底座502、震动电机503、定位支架504和防护壳体505,定位底座502固定安装于加工平台4底部,定位底座502两侧边缘处开设有定位通孔501,定位底座502上固定安装有定位支架504,定位支架504上固定安装有震动电机503,加工平台4向收集盒1一侧倾斜之后可以启动震动电机503,启动震动电机503之后其会带动加工平台4震动,从而将加工平台4上的边角料震落的到收集盒1中,便于用户对这些边角料进行回收。
[0021]需要说明的是,本技术为一种氮化镓芯片生产废料回收装置,在实际使用时,首先以在加工平台4上切割氮化镓材料,切割产生的边角料会掉落到加工平台4上,加工平
台4上积累的边角料较多时可以启动伺服电机605,由于第一齿轮603通过驱动轴601活动安装在设备底座2内,第二齿轮604通过伺服电机605活动安装在设备底座2内,第一齿轮603与第二齿轮604相互啮合,于是启动伺服电机605之后第二齿轮604就会带动第一齿轮603上的驱动轴601旋转,驱动轴601旋转之后其会带动加工平台4旋转一定角度,从而使加工平台4向收集盒1一侧倾斜,加工平台4向收集盒1一侧倾斜之后可以启动震动电机503,由于定位通孔501内设有螺丝,定位底座502通过螺丝固定在加工平台4底部,震动电机503通过定位支架504固定在定位底座502上,于是启动震动电机503之后其会带动加工平台4震动,从而将加工平台4上的边角料震落的到收集盒1中。
[0022]最后应说明的是:以上所述仅为本技术的优选实施例而已,并不用于限制本技术,尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮化镓芯片生产废料回收装置,其特征在于:包括设备底座(2),所述设备底座(2)后端固定安装有收集盒(1),所述设备底座(2)上表面固定安装有橡胶垫(3),所述设备底座(2)上方设有加工平台(4),所述加工平台(4)与设备底座(2)之间设有转动机构(6),所述转动机构(6)包括驱动轴(601)、转向支架(602)、第一齿轮(603)、第二齿轮(604)和伺服电机(605),所述转向支架(602)固定安装于加工平台(4)底部,所述转向支架(602)上固定安装有驱动轴(601),所述驱动轴(601)一端固定安装有第一齿轮(603),所述伺服电机(605)固定安装于设备底座(2)内,所述伺服电机(605)的输出末端固定安装有第二齿轮(604),所述加工平台(4)底部固定安装有震动机构(5),所述震动机构(5)包括定位通孔(501)、定位底座(502)、震动电机(503)、定位支架(504)和防护壳体(505),所述定位底座(502)固定安装于加工平台(4)底部,所述定位底座(502)两侧边缘处开设有定位通孔(501),所述定位底座(502)上固定安装有定位支架(504),所述定位支...

【专利技术属性】
技术研发人员:龚龙华康桥
申请(专利权)人:宽兆科技深圳有限公司
类型:新型
国别省市:

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