一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法技术

本发明专利技术公开了一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法，包括如下步骤：步骤1，干燥箱静置干燥；步骤2，静电释放；步骤3，震动处理；步骤4，第一段超声波清洗；步骤5，第二段超声波清洗；步骤6，喷淋冲洗；步骤7，加热喷气干燥；步骤8，抽真空加热干燥；步骤9，静置干燥；步骤10，真空包装。本发明专利技术通过在用水体清洗前，对盒体进行干燥，再对盒体进行静电释放，降低盒体中粒子附着能力，然后在干燥情况下通过震动处理，使得附着在盒体上的粒子脱离盒体，让粒子能更快速、彻底地掉落，然后进行水体清洗，从而使得清洗更加干净。清洗更加干净。清洗更加干净。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法


[0001]本专利技术涉及晶圆传送盒清洗
，具体涉及一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法。

技术介绍

[0002]晶圆传送盒及包装盒(FOUP/FOSB)是保护、运送、储存晶圆的专用容器，其保护晶圆不被外部环境中的微尘污染，其对洁净度要求非常高，因此传送盒和包装盒在使用过程中，需要对其进行定期清洗，以去除其内部存在的游离粒子。而现有技术中，常规的清洗方式，直接采用水来进行清洗，清洗后其内部的微尘及离子等粒子清洗的不够彻底，使得在使用过程中需要增加清洗的频次，才能达到清洗品质要求。

技术实现思路

[0003]本专利技术目的是解决上述技术问题，提供一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案予以实现：
[0005]一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法，在对待清洗的盒体用介质水清洗之前，先对盒体进行干燥，然后对盒体进行静电释放，静电释放后对盒体进行震动处理，然后采用水介质进行清洗。
[0006]具体的，包括如下步骤：
[0007]步骤1，干燥箱静置干燥：将待清洗的盒体放入至干燥箱中静置，通过连续输送干燥的压缩空气进行干燥；
[0008]步骤2，静电释放：将干燥后的盒体取出，通过静电消除器对盒体进行静电释放；
[0009]步骤3，震动处理：将释放静电后的盒体取出，采用超声波对盒体进行震荡处理；使得盒体内附着的粒子从内壁上脱落；
[0010]步骤4，第一段超声波清洗：将盒体放入至超声波清洗机中进行超声波清洗，在超声波清洗机中采用去离子水(DIW)进行水浴超声波清洗，在去离子水中添加表面活性剂；
[0011]步骤5，第二段超声波清洗：将清洗过的盒体进行第二阶段清洗，超声波清洗机的水槽中采用电子行业超纯水进行超声波清洗；
[0012]步骤6，喷淋冲洗：将超声波清洗后的盒体，进行喷淋清洗，喷淋冲洗采用超纯水；优选的，冲洗水温采用50
±
15℃；
[0013]步骤7，加热喷气干燥：将清洗后的盒体放入至压缩空气干燥箱中，进行喷气干燥；
[0014]步骤8，抽真空加热干燥：将盒体放入容器中，对容器内进行抽真空干燥，干燥的同时进行红外线加热；
[0015]步骤9，静置干燥：对盒体进行静置干燥；
[0016]步骤10，真空包装：对干燥后的盒体，放置于塑料袋中，并放入干燥剂包，利用真空封口机将塑料袋封口；外面再套上铝箔袋，再利用真空封口机封住铝箔袋，完成清洗工作。
[0017]进一步的，步骤1中，干燥温度设为40
±
10℃；干燥时间为12
±
2小时；使得盒体表面无水汽残留及附着。
[0018]进一步的，步骤4中，在去离子水中添加氟素表面活性剂；清洗的超声波频率采用40～80KHz，清洗水温为50
±
15℃，清洗20
±
3min。
[0019]进一步的，步骤5中，清洗的超声波频率采用40～80KHz，清洗水温为50
±
15℃，清洗20
±
3min。
[0020]进一步的，步骤7中，干燥时间为20
±
3min，干燥温度为60
±
10℃。
[0021]进一步的，步骤8中，干燥真空度为10
‑1～10
‑5Pa；红外线加热功率为6～10KW，干燥20
±
3min。
[0022]进一步的，步骤9中，静置干燥温度为23
±
2℃，干燥时间为14
±
2小时。
[0023]进一步的，在步骤7中，加热喷气干燥后，对盒体进行静电消除处理；或者在步骤8中，抽真空加热干燥后，对盒体进行静电消除处理。
[0024]本专利技术提供的一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法，具有以下有益效果：通过上述技术方案，使得盒体内保持清洁，且使得盒体内的粒子与盒体脱离的更加彻底，从而使得清洁保持更加干净，使得盒体能够更长时间维持清洁状态，减少清洗频次；在用水体清洗前，对盒体进行干燥，再对盒体进行静电释放，降低盒体中粒子附着能力，然后在干燥情况下通过震动处理，使得附着在盒体上的粒子脱离盒体，让粒子能更快速、彻底地掉落，然后进行水体清洗，从而使得清洗更加干净。
附图说明
[0025]下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步详细的描述：
[0026]图1为本专利技术提供的一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法的流程图。
具体实施方式
[0027]应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0028]下面将结合本专利技术的实施例中的附图，对本专利技术的实施例中的技术方案进行清楚
‑
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0029]需要说明，本专利技术的实施例中所有方向性指示(诸如上
‑
下
‑
左
‑
右
‑
前
‑
后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系
‑
运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变，所述的连接可以是直接连接，也可以是间接连接。
[0030]如图1所示，一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法，包括如下步骤：
[0031]步骤1，干燥箱静置干燥：将待清洗的盒体放入至干燥箱中静置，通过连续输送干燥的压缩空气进行干燥；干燥温度设为40
±
10℃；干燥时间为12
±
2小时；使得盒体表面无水汽残留及附着；
[0032]步骤2，静电释放：将干燥后的盒体取出，通过静电消除器进行静电释放；通过静电释放，消除盒体及载具上的静电，降低微粒子的附着力，增加粒子脱离的效果；
[0033]步骤3，震动处理：将释放静电后的盒体取出，采用超声波对盒体进行震荡处理；使得盒体内附着的粒子从内壁上脱落；
[0034]步骤4，第一段超声波清洗：将盒体放入至超声波清洗机中进行超声波清洗，在超声波清洗机中采用去离子水(DIW)进行水浴超声波清洗，在去离子水中添加表面活性剂；用去离子水并加入活性剂，清除较大之微粒子颗粒；在去离子水中添加氟素表面活性剂；清洗的超声波频率采用40～80KHz，清洗水温为50
±
15℃，清洗时长20
±
3min；
[0035]步骤5，第二段超声波清洗：将清洗过的盒体进行第二阶段清洗，超声波清洗机的水槽中采用电子行业超纯水进行超声波清洗；通过采用电子级超纯水和超声波清洗之方式降低较小之微粒子颗粒；清洗的超声波本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法，其特征在于：在对待清洗的盒体用介质水清洗之前，先对盒体进行干燥，然后对盒体进行静电释放，静电释放后对盒体进行震动处理，然后采用水介质进行清洗。2.根据权利要求1所述的一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1，干燥箱静置干燥：将待清洗的盒体放入至干燥箱中静置，通过连续输送干燥的压缩空气进行干燥；步骤2，静电释放：将干燥后的盒体取出，通过静电消除器对盒体进行静电释放；步骤3，震动处理：将释放静电后的盒体取出，采用超声波对盒体进行震荡处理；使得盒体内附着的粒子从内壁上脱落；步骤4，第一段超声波清洗：将盒体放入至超声波清洗机中进行超声波清洗，在超声波清洗机中采用去离子水进行水浴超声波清洗，在去离子水中添加表面活性剂；步骤5，第二段超声波清洗：将清洗过的盒体进行第二阶段清洗，超声波清洗机的水槽中采用电子行业超纯水进行超声波清洗；步骤6，喷淋冲洗：将超声波清洗后的盒体，进行喷淋清洗，喷淋冲洗采用超纯水；步骤7，加热喷气干燥：将清洗后的盒体放入至压缩空气干燥箱中，进行喷气干燥；步骤8，抽真空加热干燥：将盒体放入容器中，对容器内进行抽真空干燥，干燥的同时进行红外线加热；步骤9，静置干燥：对盒体进行静置干燥；步骤10，真空包装：对干燥后的盒体，放置于塑料袋中，并放入干燥剂包，利用真空封口机将塑料袋封口；外面再套上铝箔袋，再利用真空封口机封住铝箔袋，完成清洗工作。3.根据权利要求2所述的一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法，其特征在于：步骤1中，干燥温度设为40
±<...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈娟，陈建宏，陈俊欣，
申请(专利权)人：力鼎芯科技合肥有限公司，
类型：发明
国别省市：