本发明专利技术提供一种利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置及其使用方法，无尘箱体；水平放置于所述无尘箱体内的光罩；悬置于光罩上方的超声枪；设置于超声枪内部的换能器；置于超声枪内端部、换能器下方的聚波器；连接于换能器的脉冲电源；换能器用于将脉冲电源的电信号转换为超声波；聚波器用于将换能器产生的超声波聚焦到光罩的表面，并通过超声波的声动力清除光罩表面的颗粒物，使得颗粒物从光罩表面分离并扩散于空气中；无尘箱体的两侧分别设有流体入口和流体出口；光罩位于无尘箱体内途径流体入口和流体出口之间的位置；流体入口用于水平吹入清洁气体并将扩散于空气中的颗粒物连同清洁气体从流体出口输出。清洁气体从流体出口输出。清洁气体从流体出口输出。
【技术实现步骤摘要】
利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置及其使用方法
[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置及其使用方法。
技术介绍
[0002]随着半导体技术的发展，光刻技术扮演着越来越重要的角色。光刻是利用曝光原理，通过光罩投影至晶圆表面的光刻胶再通过显影显示出特定的图案。光刻图案的形成及其精密度与光罩密切相关，对于任何附着于光罩上的颗粒物都会造成投影成像的质量劣化，随着图形尺寸的不断缩小，尤其是28nm及以下技术节点颗粒物的影响更为突出。
[0003]现阶段半导体制程厂对于光罩表面颗粒物的清洁主要通过氮气枪吹氮气或水洗的方法，无论是氮气还是水洗往往较难除去顽固颗粒物，且容易对光罩的薄膜面造成损伤，影响成像质量。
技术实现思路
[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置及其使用方法，用于解决现有技术中由于光罩表面颗粒物在清洁过程中较难去除，从而造成光罩薄膜损伤的问题。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置，至少包括：
[0006]无尘箱体；水平放置于所述无尘箱体内的光罩；悬置于所述光罩上方的超声枪；设置于所述超声枪内部的换能器；置于所述超声枪内端部、所述换能器下方的聚波器；连接于所述换能器的脉冲电源；所述换能器用于将所述脉冲电源的电信号转换为超声波；所述聚波器用于将所述换能器产生的超声波聚焦到所述光罩的表面，并通过超声波的声动力清除所述光罩表面的颗粒物，使得颗粒物从光罩表面分离并扩散于空气中；
[0007]所述无尘箱体的两侧分别设有流体入口和流体出口；所述光罩位于所述无尘箱体内途径所述流体入口和流体出口之间的位置；所述流体入口用于水平吹入清洁气体并将扩散于空气中的颗粒物连同所述清洁气体从所述流体出口输出。
[0008]优选地，所述超声波为横波。
[0009]优选地，所述超声波为纵波。
[0010]优选地，该装置还设有红外线测距仪，所述红外线测距仪位于所述超声枪外靠近其内端部的一端，用于精确定位超声焦点。
[0011]优选地，所述超声枪为手持式超声枪或机械扫描式超声枪。
[0012]优选地，所述流体入口是送风装置，吹入的清洁气体的压强不超过1MPa。
[0013]优选地，该装置还设有金属支架，用于支撑所述光罩的薄膜面，所述薄膜面为所述光罩玻璃面的相对面，所述超声波聚焦到所述光罩的表面为该光罩的玻璃面。
[0014]优选地，所述清洁气体为氮气或惰性气体。
[0015]优选地，通过调整所述脉冲电源的输出频率和输出功率来控制超声波的振动频率和振幅以实现声动力清除所述光罩表面的颗粒物。
[0016]本专利技术还提供一种利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置的使用方法，至少包括：
[0017]步骤一、将待清洁的光罩置入真空干燥箱中进行脱水，以减小颗粒物与所述光罩表面的粘附力；
[0018]步骤二、将干燥后的光罩从所述干燥箱中取出，置于所述无尘箱体中水平放置；
[0019]步骤三、将所述超声枪悬置于所述光罩上方，使得所述换能器将脉冲电源的电信号转换成超声波，并通过所述聚波器将换能器产生的超声波聚焦到所述光罩的表面，通过超声波的声动力清除所述光罩表面的颗粒物，使得颗粒物从光罩表面分离并扩散于空气中；
[0020]步骤四、从所述流体入口水平吹入清洁气体并将扩散于空气中的颗粒物连同所述清洁气体从所述流体出口输出。
[0021]优选地，步骤一中的所述真空干燥箱的温度为80℃。
[0022]优选地，步骤一中的脱水时间为10分钟。
[0023]如上所述，本专利技术的利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置及其使用方法，具有以下有益效果：本专利技术通过声动力清洁光罩表面顽固颗粒物，可以通过调整脉冲电源的输出频率和输出功率来控制超声波的振动频率和振幅以实现声动力驱动顽固颗粒物与光罩表面的分离。操作简单，可控性好，不易损伤光罩薄膜，且装置成本低容易实现量产。
附图说明
[0024]图1显示为本专利技术中的利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置示意图。
具体实施方式
[0025]以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。
[0026]请参阅图1。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，遂图式中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0027]本专利技术提供一种利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置，至少包括：
[0028]无尘箱体；水平放置于所述无尘箱体内的光罩；悬置于所述光罩上方的超声枪；设置于所述超声枪内部的换能器；置于所述超声枪内端部、所述换能器下方的聚波器；连接于所述换能器的脉冲电源；所述换能器用于将所述脉冲电源的电信号转换为超声波；所述聚波器用于将所述换能器产生的超声波聚焦到所述光罩的表面，并通过超声波的声动力清除所述光罩表面的颗粒物，使得颗粒物从光罩表面分离并扩散于空气中；
[0029]所述无尘箱体的两侧分别设有流体入口和流体出口；所述光罩位于所述无尘箱体
内途径所述流体入口和流体出口之间的位置；所述流体入口用于水平吹入清洁气体并将扩散于空气中的颗粒物连同所述清洁气体从所述流体出口输出。
[0030]如图1所示，图1显示为本专利技术中的利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置示意图。
[0031]无尘箱体1；水平放置于所述无尘箱体1内的光罩；悬置于所述光罩上方的超声枪7；本专利技术进一步地，本实施例的所述超声枪为手持式超声枪或机械扫描式超声枪。
[0032]设置于所述超声枪7内部的换能器8；置于所述超声枪7内端部、所述换能器8下方的聚波器9；连接于所述换能器8的脉冲电源10；所述换能器8用于将所述脉冲电源10的电信号转换为超声波；所述聚波器9用于将所述换能器8产生的超声波聚焦到所述光罩4的表面，并通过超声波的声动力清除所述光罩表面的颗粒物，使得颗粒物从光罩表面分离并扩散于空气中。本专利技术进一步地，本实施例的所述超声波为横波。所述超声波为纵波。本专利技术进一步地，本实施例的该装置还设有红外线测距仪，所述红外线测距仪位于所述超声枪外靠近其内端部的一端，用于精确定位超声焦点。
[0033]所述无尘箱体1的两侧分别设有流体入口3和流体出口2；所述光罩4位于所述无尘箱体1内途径所述流体入口3和流体出口2之间的位置；所述流体入口3用于水平吹入清洁气体并将扩散于空气中的颗粒物连同所述清洁气体从所述流体出口2输出。本专利技术进一步地，本实施例的所述流体入口3是送风装置，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置，其特征在于，至少包括：无尘箱体；水平放置于所述无尘箱体内的光罩；悬置于所述光罩上方的超声枪；设置于所述超声枪内部的换能器；置于所述超声枪内端部、所述换能器下方的聚波器；连接于所述换能器的脉冲电源；所述换能器用于将所述脉冲电源的电信号转换为超声波；所述聚波器用于将所述换能器产生的超声波聚焦到所述光罩的表面，并通过超声波的声动力清除所述光罩表面的颗粒物，使得颗粒物从光罩表面分离并扩散于空气中；所述无尘箱体的两侧分别设有流体入口和流体出口；所述光罩位于所述无尘箱体内途径所述流体入口和流体出口之间的位置；所述流体入口用于水平吹入清洁气体并将扩散于空气中的颗粒物连同所述清洁气体从所述流体出口输出。2.根据权利要求1所述的利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置，其特征在于：所述超声波为横波。3.根据权利要求1所述的利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置，其特征在于：所述超声波为纵波。4.根据权利要求1所述的利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置，其特征在于：该装置还设有红外线测距仪，所述红外线测距仪位于所述超声枪外靠近其内端部的一端，用于精确定位超声焦点。5.根据权利要求1所述的利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置，其特征在于：所述超声枪为手持式超声枪或机械扫描式超声枪。6.根据权利要求1所述的利用声动力清除光罩表面颗粒物的装置，其特征在于：所述流体入口是送风装置，吹入的清洁气体的压强不超过1MPa。7.根据权利要求1所述的利用声动力清除光罩表面颗粒...
【专利技术属性】
技术研发人员：张瑞麟，马趁义，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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