一种MEMS结构制造技术

本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底；牺牲层，形成在所述衬底上方并且具有第一空腔；振动支撑层，形成在所述牺牲层上方并且具有向所述第一空腔方向延伸的凸起，所述凸起位于所述第一空腔内；压电功能层，形成在所述振动支撑层上方。本申请通过在振动支撑层上设置位于第一空腔内的凸起，阻挡限制凸起的振动，从而实现了振动支撑层单向振动，MEMS结构输出单向电压，防止电子烟的MEMS开关误启动电热丝。防止电子烟的MEMS开关误启动电热丝。防止电子烟的MEMS开关误启动电热丝。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS结构


[0001]本申请涉及MEMS(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，微机电系统)
，具体来说，涉及一种MEMS结构。

技术介绍

[0002]压电式MEMS传感器相较于电容式MEMS传感器具有低功耗、防尘、防水等优点。当吸烟时压电式MEMS传感器的振膜变形产生电压，检测电路根据该电压来控制是否启动电子烟内的加热丝。当压电式MEMS传感器的振膜以一个中心轴面往复振动时将输出正反方向电压。因此，需要防止反方向电压误启动电子烟内的加热丝。

技术实现思路

[0003]针对相关技术中的问题，本申请提出了一种MEMS结构，能够输出单向电压。
[0004]本申请的技术方案是这样实现的：
[0005]根据本申请的一个方面，提供了一种MEMS结构，包括：
[0006]衬底；
[0007]牺牲层，形成在所述衬底上方并且具有第一空腔；
[0008]振动支撑层，形成在所述牺牲层上方并且具有向所述第一空腔方向延伸的凸起，所述凸起位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：衬底；牺牲层，形成在所述衬底上方并且具有第一空腔；振动支撑层，形成在所述牺牲层上方并且具有向所述第一空腔方向延伸的凸起，所述凸起位于所述第一空腔内；压电功能层，形成在所述振动支撑层上方。2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述凸起的高度小于所述第一空腔的深度，以限制所述振动支撑层向所述第一空腔方向的振动幅度。3.根据权利要求2所述的MEMS结构，其特征在于，所述压电功能层的区域面积小于所述振动支撑层的区域面积，并且第一通孔仅穿透所述振动支撑层使得所述第一通孔与所述第一空腔连通。4.根据权利要求2所述的ME...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏永禄，刘端，
申请(专利权)人：安徽奥飞声学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：