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本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底；牺牲层，形成在所述衬底上方并且具有第一空腔；振动支撑层，形成在所述牺牲层上方并且具有向所述第一空腔方向延伸的凸起，所述凸起位于所述第一空腔内；压电功能层，形成在所述振动支撑层上方。本申请通过在振动支...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。

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