【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于激光应用
，特别是一种基于碘稳频参考的双纵模热电致 冷偏频锁定方法与装置。
技术介绍
激光干涉测量技术因具有非接触、精度高、量程大、可溯源、可多通道分 光测量等特点，广泛应用于超精密加工、测量装备业中，激光真空波长准确度(激光频率稳定度)决定了干涉测量系统所能达到的最高相对测量不确定度， 己成为快速超精密激光干涉测量技术的核心问题之一，在国防装备、微电子制 造业发展对超精密加工需求的推动作用下，激光干涉测量技术相对测量准确度 需求即将突破10—8，相应地对干涉光源的频率准确度提出了 10—8~10—9要求，特别在超精密加工装备中常需对多个空间自由度进行多维同步测量，这种多维测量需求将导致干涉测量系统的总激光功率消耗增加到5mW以上，这就要求同 时采用3台以上的稳频激光器进行组合测量。然而即使对于同一厂家同一型号 批次的稳频激光器，其输出光频率的一致性也仅能达到lxl0—7。这必将带来的 波长基准、波长漂移和空间坐标不一致的问题，从而影响整个多维激光干涉系 统的综合测量精度。因此需提高单个稳频激光器的稳频精度、抗干扰能力、输 出光功率和多个稳频...
【技术保护点】
一种基于碘稳频参考的双纵模热电致冷偏频锁定方法，其特征在于该方法包括以下步骤： （１）开启碘稳频激光器电源，经过预热和稳频过程后，碘稳频激光器工作频率锁定在↑［１２７］Ｉ↓［２］分子位于６３３ｎｍ波段的超精细吸收谱线上，其输出激光为调频线偏振光，光波中心频率记为ｖ↓［ｒｏ］，瞬时频率记为ｖ↓［ｒ］，调制周期记为Ｔ↓［ｍ］，此线偏振光由分光器件分离成ｎ路，记为光束Ｘ↓［１］，Ｘ↓［２］，．．．，Ｘ↓［ｎ］，其中心频率ｖ↓［ｒｏ］作为双纵模激光器偏频锁定的频率基准；［２］，．．．，Δｖ↓［ｎ］与偏频参考值Δｖ↓［ｓｅｔ］求差所得差值的正、负和大小调整热电致冷器施加电流的正、反向...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谭久彬，胡鹏程，杨宏兴，常树林，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93[中国|哈尔滨]
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