传感器组件及其制造方法技术

本发明专利技术提供了传感器组件及其制造方法，其中，触控传感器组件包括：一超薄玻璃本体，超薄玻璃本体为高铝玻璃，超薄玻璃本体包括经过刻蚀减薄的第一侧和与第一侧相背的第二侧；以及一触控传感器，设置于超薄玻璃本体的第二侧。本发明专利技术能够提升刻蚀速度，大大增加整体生产速度，缩短制程周期。缩短制程周期。缩短制程周期。

【技术实现步骤摘要】
传感器组件及其制造方法


[0001]本专利技术涉及半导体元件制程领域，具体地说，涉及传感器组件及其制造方法。

技术介绍

[0002]玻璃按化学成分分类：
[0003]①
钠钙玻璃，以SiO2含量为主，还含有15％的Na20和16％的CaO
[0004]②
铝硅酸盐玻璃(高铝玻璃)，以SiO2和AI203为主要成分。
[0005]③
石英玻璃，SiO2含量大于99.5％。
[0006]④
高硅氧玻璃，SiO2含量约96％。
[0007]⑤
铅硅酸盐玻璃，主要成分有SiO2和PbO。
[0008]⑥
硼硅酸盐玻璃，以SiO2和B203为主要成分。
[0009]⑦
磷酸盐玻璃，以五氧化二磷为主要成分。(备注：其中，
③
～
⑦
几乎不用于显示屏)。
[0010]目前，触控传感器使用的玻璃基板是钠钙玻璃，显示屏使用无碱玻璃(高铝玻璃的一种)而且，一般均是利用大板玻璃(较厚的玻璃)进行电子元器件，之后利用玻璃减薄的方式将厚度下减。
[0011]但是，以HF蚀刻溶液条件为例，HF蚀刻溶液蚀刻钠钙玻璃的速度为2um/min，缓慢的刻蚀速度，降低了整体生产速度，也拉成了制程周期。
[0012]为了克服上述技术困难，需要一种传感器组件及其制造方法。

技术实现思路

[0013]针对现有技术中的问题，本专利技术的目的在于提供传感器组件及其制造方法，克服了现有技术的困难，能够提升刻蚀速度，大大增加整体生产速度，缩短制程周期。
[0014]本专利技术的实施例提供一种触控传感器组件，包括：
[0015]一超薄玻璃本体，所述超薄玻璃本体为高铝玻璃，所述超薄玻璃本体包括经过刻蚀减薄的第一侧和与所述第一侧相背的第二侧；以及
[0016]一传感器，设置于所述超薄玻璃本体的第二侧。
[0017]优选地，所述高铝玻璃中氧化铝的质量百分比的大于等于6％。
[0018]优选地，所述高铝玻璃中氧化铝的质量百分比的小于等于20％。
[0019]优选地，所述高铝玻璃的厚度小于150微米。
[0020]优选地，所述高铝玻璃的厚度的取值范围为30微米至80微米。
[0021]优选地，所述传感器是一触控传感器，在所述超薄玻璃本体的第二侧通过刻蚀获得若干平行的沟槽，所述触控传感器的一触控电极层被埋设于所述沟槽中。
[0022]本专利技术的实施例还提供一种触控传感器组件的制造方法，用于制造上述的触控传感器组件，包括以下步骤：
[0023]S110、提供一玻璃母材；
[0024]S120、在所述玻璃母材的第二侧设置一传感器；
[0025]S130、将设置了所述传感器的第二侧覆盖一刻蚀阻挡层；
[0026]S140、将所述玻璃母材进行刻蚀，减薄所述玻璃母材的第一侧；
[0027]S150、清洗所述刻蚀阻挡层。
[0028]优选地，所述高铝玻璃中氧化铝的质量百分比的大于等于6％，且小于等于20％；
[0029]所述高铝玻璃的厚度的取值范围为30微米至80微米。
[0030]本专利技术的实施例还提供另一种触控传感器组件的制造方法，用于制造上述的触控传感器组件，包括以下步骤：
[0031]S210、提供一玻璃母材；
[0032]S220、在所述玻璃母材的第二侧进行第一次刻蚀获得若干平行的沟槽；
[0033]S230、将形成所述传感器的至少部分触控电极埋设于所述沟槽中；
[0034]S240、在所述玻璃母材的第二侧设置所述传感器的其余部件；
[0035]S250、将设置了所述传感器的第二侧覆盖一刻蚀阻挡层；
[0036]S260、将所述玻璃母材进行第二次刻蚀，减薄所述玻璃母材的第一侧；
[0037]S270、清洗所述刻蚀阻挡层。
[0038]优选地，所述高铝玻璃中氧化铝的质量百分比的大于等于6％，且小于等于20％；
[0039]所述高铝玻璃的厚度的取值范围为30微米至80微米。
[0040]本专利技术的目的在于提供传感器组件及其制造方法，能够提升刻蚀速度，大大增加整体生产速度，缩短制程周期。
附图说明
[0041]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显。
[0042]图1是本专利技术的第一种触控传感器组件的结构示意图。
[0043]图2是本专利技术的第一种触控传感器组件的制造过程中减薄前的示意图。
[0044]图3是本专利技术的第二种触控传感器组件的结构示意图。
[0045]图4是本专利技术的第二种触控传感器组件的制造过程中减薄前的示意图。
[0046]附图标记
[0047]1触控传感器
[0048]11第一触控电极层
[0049]12第二触控电极层
[0050]2超薄玻璃本体
[0051]2’
玻璃母材
具体实施方式
[0052]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式。相反，提供这些实施方式使得本专利技术将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重描述。
[0053]图1是本专利技术的第一种触控传感器组件的结构示意图。如图1所示，本专利技术提供了第一种触控传感器组件，包括：相互层叠的一超薄玻璃本体2和一触控传感器1，但不以此为限(根据需要触控传感器1也可以替换为提供功能的传感器)。超薄玻璃本体2为高铝玻璃，超薄玻璃本体包括经过刻蚀减薄的第一侧和与第一侧相背的第二侧。
[0054]触控传感器1被设置于超薄玻璃本体2的第二侧。
[0055]在一个优选实施例中，高铝玻璃中氧化铝的质量百分比的大于等于6％，但不以此为限。
[0056]在一个优选实施例中，高铝玻璃中氧化铝的质量百分比的小于等于20％，但不以此为限。
[0057]在一个优选实施例中，高铝玻璃中氧化铝的质量百分比为9％、12％、15％中的一种，但不以此为限。
[0058]在一个优选实施例中，高铝玻璃的厚度小于150微米，但不以此为限。
[0059]在一个优选实施例中，高铝玻璃的厚度的取值范围为30微米至80微米，但不以此为限。
[0060]在一个优选实施例中，高铝玻璃的厚度为40微米、50微米、60微米中的一种，但不以此为限。
[0061]玻璃化学成分的选择，是按玻璃制品的用途和成型方法来决定的。浮法玻璃和普通平板玻璃一样，都是钠
‑
钙
‑
硅系玻璃，只是因其成型工艺特点而得名，其化学成分与普通平板玻璃相似，主要氧化物仍然是氧化硅、氧化钠和氧化钙。此外，还有氧化铝、氧化镁和微量的氧化钾。这本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传感器组件，其特征在于，包括：一超薄玻璃本体(2)，所述超薄玻璃本体为高铝玻璃，所述超薄玻璃本体包括经过刻蚀减薄的第一侧和与所述第一侧相背的第二侧；以及一传感器(1)，设置于所述超薄玻璃本体(2)的第二侧。2.根据权利要求1所述的传感器组件，其特征在于，所述高铝玻璃中氧化铝的质量百分比的大于等于6％。3.根据权利要求2所述的传感器组件，其特征在于，所述高铝玻璃中氧化铝的质量百分比的小于等于20％。4.根据权利要求1所述的传感器组件，其特征在于，所述高铝玻璃的厚度小于150微米。5.根据权利要求4所述的传感器组件，其特征在于，所述高铝玻璃的厚度的取值范围为30微米至80微米。6.根据权利要求1所述的传感器组件，其特征在于，所述传感器(1)是一触控传感器(1)，在所述超薄玻璃本体的第二侧通过刻蚀获得若干平行的沟槽，所述触控传感器(1)的一触控电极层被埋设于所述沟槽中。7.一种传感器组件的制造方法，其特征在于，用于制造如权利要求1所述的传感器组件，包括以下步骤：S110、提供一玻璃母材；S120、在所述玻璃母材的第二侧设置一传感器；S130...

【专利技术属性】
技术研发人员：周晧煜，蒋承忠，陈风，
申请(专利权)人：安徽繁盛显示科技有限公司，
类型：发明
国别省市：