一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置，属于短波段光学技术领域涉及的一种成像质量测试装置，要解决的技术问题是：提供一种极紫外成像光学仪器的成像质量测试装置。解决的技术方案：包括极紫外光源、金属栅网、离轴抛物面反射镜、待测极紫外成像光学系统、极紫外相机。在极紫外光源的光的传播放方向上，依次放置金属栅网、离轴抛物面反射镜，金属栅网放置在离轴抛物面反射镜的焦面处，通过金属栅网的光线将被离轴抛物面反射镜准直，在离轴抛物面反射镜反射光的光路上依次置有待测极紫外成像光学系统、极紫外相机；极紫外相机像面放置在待测极紫外成像光学系统的焦面处。该装置结构简单，提高了测量分辨率。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于短波段光学
，涉及的一种极紫外成像光学仪 器成像质量测试装置。
技术介绍
对成像光学仪器的成像质量评价是成像光学仪器研发过程中必 不可少的环节，也是成像光学仪器应用功能验证的重要指标之一。对 成像光学仪器的光学系统成像质量评价主要有星点法、刀口法、阴影 法、分辨率测量、调制传递函数测量等手段。其中分辨率测量是最简 单，最直接的方法。随着极紫外光刻光学和空间高分辨率极紫外成像 光学系统研究的深入，迫切需要一种能在极紫外波段检测该波段光学 成像系统的成像质量的装置。与本专利技术最为接近的已有技术是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研制的17.1nm波段CCD相机空间分辨率测试装置(光 学精密工程，第13巻，第56~59页，2005年11月30日)，其结构 如图1所示包括极紫外光源1、金属栅网2、平面反射镜3、球面 反射镜4、待测极紫外成像光学系统5、极紫外相机6。极紫外光源1发出的光通过金属栅网2后，投射到平面反射镜3 上，平面反射镜3将光线反射到球面反射镜4上，光束通过球面反射 镜4反射后变为准直光，准直光进入待测极紫外成像光学系统5，待测极紫外成像光学系统5将入射的光线成像在极紫外相机6上，通过 比较金属栅网2的网格尺度与所成的像，通过计算即可得到待测光学 系统的分辨率数据，由此可评价成像光学仪器的成像质量。该分辨率测试装置存在的主要问题是采用牛顿式折反系统准直 光线，需要用到两块反射镜，且在准直光路的中心存在遮拦，影响对 系统分辨率的检测精度。
技术实现思路
为了克服己有技术存在的缺陷，本专利技术的目的在于简化己有技术 的光路结构，降低其对装调技术的要求，提高反射镜系统的准直效果 和检测精度。本专利技术要解决的技术问题是提供一种极紫外成像光学仪器的成 像质量测试装置。解决技术问题的技术方案如图2所示包括极紫外 光源7、金属栅网8、离轴抛物面反射镜9、待测极紫外成像光学系统10、极紫外相机ll。在极紫外光源7的光的传播放方向上，依次放置金属栅网8、离 轴抛物面反射镜9，金属栅网8放置在离轴抛物面反射镜9的焦面处， 通过金属栅网8的光线将被离轴抛物面反射镜9准直，在离轴抛物面 反射镜9反射光的光路上依次置有待测极紫外成像光学系统10、极 紫外相机11，极紫外相机11的像面放置在待测极紫外成像光学系统 10的焦面处，用于记录金属栅网8所成的像。工作原理说明极紫外光源7发出的光通过金属栅网8，照射到 离轴抛物面反射镜9上，被其准直后进入待测极紫外成像光学系统200910 10，待测极紫外成像光学系统10将金属栅网8成像在极紫外相机11上，金属栅网8的网格尺度与所成的像进行比较，经过计算即可得到 待测极紫外成像光学系统10的分辨率数据。本专利技术的积极效果该装置采用一块离轴抛物面镜代替已有技术中的平面反射镜3和球面反射镜4，简化了系统的结构，提高了出射 准直光束能量，提高了检测系统的分辨率；同时避免了原来光路系统 的中心遮拦，扩人了检测系统的应用范围。 附图说明图1是已有技术的结构示意图2是本专利技术的结构示意图。 具体实施例方式本专利技术按图2所示的结构实施。其中极紫外光源7可以选择空心 阴极光源或激光等离子体光源，金属栅网8用金属镍做原料，为矩形 网格结构，网格的大小根据对不同分辨率测量的要求来选择，网栅网 格的精度范围为2 25^w可以通过微机械加工方法或同步辐射LIGA 工艺制成不同精度的网栅；离轴抛物面反射镜9采用微晶玻璃制作， 并经过光学抛光处理；测量是在真空条件下进行，极紫外光源7发出 的极紫外光束经过精密刻画的金属栅网8后达到离轴抛物面反射镜9 上，最后通过待测极紫外成像光学系统10在极紫外相机11上成像， 通过对金属栅网的网格尺度及其所成像进行比较计算，即可得到待测 光学系统的分辨率数据。权利要求1、一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置，包括极紫外光源(7)、金属栅网(8)、待测极紫外成像光学系统(10)、极紫外相机(11)；其特征在于还包括离轴抛物面反射镜(9)；在极紫外光源(7)的光的传播放方向上，依次放置金属栅网(8)、离轴抛物面反射镜(9)，金属栅网(8)放置在离轴抛物面反射镜(9)的焦面处，通过金属栅网(8)的光线将被离轴抛物面反射镜(9)准直，在离轴抛物面反射镜(9)反射光的光路上依次置有待测极紫外成像光学系统(10)、极紫外相机(11)；极紫外相机(11)像面放置在待测极紫外成像光学系统(10)的焦面处。全文摘要一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置，属于短波段光学
涉及的一种成像质量测试装置，要解决的技术问题是提供一种极紫外成像光学仪器的成像质量测试装置。解决的技术方案包括极紫外光源、金属栅网、离轴抛物面反射镜、待测极紫外成像光学系统、极紫外相机。在极紫外光源的光的传播放方向上，依次放置金属栅网、离轴抛物面反射镜，金属栅网放置在离轴抛物面反射镜的焦面处，通过金属栅网的光线将被离轴抛物面反射镜准直，在离轴抛物面反射镜反射光的光路上依次置有待测极紫外成像光学系统、极紫外相机；极紫外相机像面放置在待测极紫外成像光学系统的焦面处。该装置结构简单，提高了测量分辨率。文档编号G01M11/02GK101625281SQ200910067350公开日2010年1月13日 申请日期2009年7月28日 优先权日2009年7月28日专利技术者岩 巩, 巍 张, 顺 李 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置，包括极紫外光源（７）、金属栅网（８）、待测极紫外成像光学系统（１０）、极紫外相机（１１）；其特征在于还包括离轴抛物面反射镜（９）；在极紫外光源（７）的光的传播放方向上，依次放置金属栅网（８）、离轴抛物面反射镜（９），金属栅网（８）放置在离轴抛物面反射镜（９）的焦面处，通过金属栅网（８）的光线将被离轴抛物面反射镜（９）准直，在离轴抛物面反射镜（９）反射光的光路上依次置有待测极紫外成像光学系统（１０）、极紫外相机（１１）；极紫外相机（１１）像面放置在待测极紫外成像光学系统（１０）的焦面处。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：巩岩，李顺，张巍，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：82[中国|长春]
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