一种钨粉自动加料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种钨粉自动加料装置，包括依次设置的加料车、钨粉槽、称量装置、往复传送提升装置和反应器，加料车的上端设置有加料车机械手，加料车机械手能够将钨粉桶抓取到加料车上；钨粉槽内设置有钨粉槽机械手；称量装置用于称量钨粉传送筒内钨粉的重量，往复传送提升装置用于传送钨粉传送筒；反应器的上端设置有加料漏斗，反应器和加料漏斗之间通过加料管路连通；反应器的上方设置有加料平台，加料平台上设置有加料平台机械手；控制器控制加料车、加料车机械手、钨粉槽机械手、称量装置、往复传送提升装置和加料平台机械手自动运行。本实用新型专利技术能够实现钨粉加料过程无人化，降低生产成本，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种钨粉自动加料装置


[0001]本技术涉及六氟化钨生产
，具体涉及一种钨粉自动加料装置。

技术介绍

[0002]六氟化钨是半导体芯片工业中使用的一种气体，目前六氟化钨的主要生产方式是在反应器内用钨粉氟化生成六氟化钨，反应过程不断消耗反应器内的钨粉，需要定期对反应器补加钨粉。而补加钨粉常采用人工加料和半自动加料的方式，劳动强度大，安全风险高，同时加料效率较低。
[0003]因此，提出一种全程自动化、效率高的钨粉自动加料装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种钨粉自动加料装置，该装置能够实现自动向反应器内添加钨粉，实现钨粉加料过程无人化，降低生产成本，提高生产效率。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种钨粉自动加料装置，包括依次设置的加料车、钨粉槽、称量装置、往复传送提升装置和反应器，所述加料车的上端固定设置有加料车机械手，所述加料车机械手能够将钨粉桶抓取到所述加料车上；所述钨粉槽内固定设置有钨粉槽机械手；所述称量装置用于称量钨粉传送筒内钨粉的重量，所述往复传送提升装置用于传送所述钨粉传送筒；所述反应器的上端设置有加料漏斗，所述反应器和所述加料漏斗之间通过加料管路连通；所述反应器的上方设置有加料平台，所述加料平台上固定设置有加料平台机械手；所述加料车、加料车机械手、钨粉槽机械手、称量装置、往复传送提升装置和加料平台机械手均由控制器控制自动运行。
[0006]优选地，所述钨粉槽内装有钨粉。
[0007]优选地，所述往复传送提升装置的下端设置有传送机座。
[0008]优选地，所述加料管路的外壁上设置有振动器，所述振动器也由所述控制器控制自动运行。
[0009]优选地，所述加料管路的下端贯穿所述加料平台与所述反应器连接。
[0010]本技术与现有技术相比具有以下优点：
[0011]本技术能够使钨粉加料过程全自动进行，降低操作员工的劳动强度，避免员工进入车间的安全风险，提高加料效率。
[0012]下面结合附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
附图说明
[0013]图1是本技术的结构示意图。
[0014]附图标记说明：
[0015]1—加料车；2—钨粉桶；3—钨粉槽；4—钨粉；5—钨粉槽机械手；6—称量装置；7—
钨粉传送筒；8—传送机座；9—往复传送提升装置；10—反应器；11—加料漏斗；12—振动器；13—加料平台机械手；14—控制器；15—加料车机械手；16—加料管路。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0017]如图1所示，本技术钨粉自动加料装置，包括依次设置的加料车1、钨粉槽3、称量装置6、往复传送提升装置9和反应器10，所述加料车1的上端固定设置有加料车机械手15，所述加料车机械手15能够将钨粉桶2抓取到所述加料车1上，并且能够自动装卸、拆开钨粉桶2，将钨粉桶2内的钨粉倒入钨粉槽3内；所述钨粉槽3内固定设置有钨粉槽机械手5；所述称量装置6用于称量钨粉传送筒7内钨粉的重量，所述往复传送提升装置9用于传送所述钨粉传送筒7，所述往复传送提升装置9的下端设置有传送机座8；所述反应器10的上端设置有加料漏斗11，所述反应器10和所述加料漏斗11之间通过加料管路16连通；所述反应器10的上方设置有加料平台，所述加料平台上固定设置有加料平台机械手13。
[0018]本实施例中，所述钨粉槽3内装有钨粉4；所述加料管路16的外壁上设置有振动器12，所述加料管路16的下端贯穿所述加料平台与所述反应器10连接；所述加料车1、加料车机械手15、钨粉槽机械手5、称量装置6、往复传送提升装置9、振动器12和加料平台机械手13均由控制器14控制自动运行。
[0019]使用本实施例的钨粉自动加料装置的步骤为：
[0020]S1、反应器10内钨粉的降低到需要添加钨粉时，操作人员发出钨粉加料的申请；
[0021]S2、控制器14向中控室的管理人员发出自动加料申请，管理人员同意后，钨粉自动加料装置开始运行；
[0022]S3、加料车1自动行驶至钨粉存放处，加料车机械手15将钨粉桶2抓起装到加料车1上，加料车1自动行驶至指定位置，加料车机械手15打开钨粉桶2，然后把钨粉桶2提起，移动将钨粉桶2内的钨粉倒入钨粉槽3内；
[0023]S4、钨粉槽3内的钨粉槽机械手5，提起往复传送提升装置9运送过来的空的钨粉传递筒7，将钨粉传递筒7装满钨粉4；
[0024]S5、钨粉槽机械手5将装满钨粉的钨粉传递筒7放置到称量装置6上，控制器14控制称量装置6，自动称量钨粉的重量，控制器14记录重量数值并进行累积；
[0025]S6、钨粉槽机械手5将称完重量的钨粉传递筒7，放置到往复传送提升装置9上；
[0026]S7、往复传送提升装置9自动运送钨粉传递筒7到下一指定位置；
[0027]S8、加料平台机械手13将传送过来的称重后的钨粉传递筒7提起，移动将钨粉传递筒7内的钨粉倒入加料漏斗11内，然后将空的钨粉传递筒7放回到往复传送提升装置9上；
[0028]S9、振动器12敲击和振动加料管路16，钨粉从加料漏斗11经过加料管路16进入反应器10内；
[0029]S10、钨粉自动加料装置往复循环，不断的往反应器10内添加钨粉，当控制器14累积的钨粉添加重量达到指令要求时，控制器14发出指令停止运行，并向管理人员发出自动完成钨粉加料工作的信息。
[0030]以上所述，仅是本技术的较佳实施例，并非对本技术作任何限制。凡是根据技术技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效变化，均仍属于本技术技术方案的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种钨粉自动加料装置，其特征在于，包括依次设置的加料车(1)、钨粉槽(3)、称量装置(6)、往复传送提升装置(9)和反应器(10)，所述加料车(1)的上端固定设置有加料车机械手(15)，所述加料车机械手(15)能够将钨粉桶(2)抓取到所述加料车(1)上；所述钨粉槽(3)内固定设置有钨粉槽机械手(5)；所述称量装置(6)用于称量钨粉传送筒(7)内钨粉的重量，所述往复传送提升装置(9)用于传送所述钨粉传送筒(7)；所述反应器(10)的上端设置有加料漏斗(11)，所述反应器(10)和所述加料漏斗(11)之间通过加料管路(16)连通；所述反应器(10)的上方设置有加料平台，所述加料平台上固定设置有加料平台机...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜世楠，吕随强，张明杰，杨雷雷，刘海芳，马朝选，王云飞，邵野，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：