【技术实现步骤摘要】
本申请涉及尾气处理装置，更具体地说，涉及一种四氟化硅精馏过程中的尾气处理装置和方法。
技术介绍
1、四氟化硅是一种重要的无机化合物，在半导体、光电、电子等领域有广泛的应用。在四氟化硅的生产过程中，会产生大量的尾气，其中含有四氟化硅、氟化氢和颗粒等杂质。这些尾气对环境和人体健康都有一定的危害，因此需要对其进行处理和净化。目前已经存在一些尾气处理装置和方法，但存在处理温度高、制作和运行成本高、污染环境等问题。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是一种四氟化硅纯化过程中的尾气处理装置及方法，用于解决处理温度高、制作和运行成本高、污染环境的问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案是：
3、一种四氟化硅精馏过程中的尾气处理装置，包括第一吸附塔以及与所述第一吸附塔连接的第二吸附塔，所述第一吸附塔和所述第二吸附塔之间并联，所述第一吸附塔和所述第二吸附塔上连接有储液罐，所述储液罐内装有氢氧化钙溶液，所述储液罐与所述第一吸附塔和所述第二吸附塔之间设置有气相色谱仪。
4、在一个具体的可实施方案中，所述第一吸附塔和所述第二吸附塔上设置有进气口和出气口，所述第一吸附塔和所述第二吸附塔内安装有氧化铝多孔海绵。
5、在一个具体的可实施方案中，所述第一吸附塔和所述第二吸附塔的外壳采用玻璃钢和不锈钢。
6、在一个具体的可实施方案中，所述尾气处理方法包括改性过程、尾气处理过程和活化过程。
7、在一个具体的可实施方案中
8、s1、依次使用乙二醇、高纯水、高纯氮气去除氧化铝多孔海绵状结构中的灰尘和油污杂质；
9、s2、将氧化铝多孔海绵状结构浸泡于氢氧化钠和磺化钛氰钴混合溶液中老化48～96小时；
10、s3、将老化后的氧化铝多孔海绵状结构用高纯水洗涤3～5遍；
11、s4、将洗涤后的氧化铝多孔海绵状结构在100～140℃条件下干燥12～24小时，然后通入高纯惰性气体进行吹扫除杂，得到经过改性的氧化铝多孔海绵状结构。
12、在一个具体的可实施方案中，所述尾气处理过程包括如下步骤：
13、s1、将填装有经过改性的氧化铝多孔海绵状结构的吸附塔的塔柱温度维持在30～60℃；
14、s2、通入四氟化硅纯化过程中产生的四氟化硅尾气，反应空速保持在200～500h-1；
15、s3、在吸附塔出口的管路上设置高灵敏度hf报警器(0.1ppm)或者连接一台气相色谱仪，将报警器或气相色谱仪的尾气通入氢氧化钙溶液中，以避免少量四氟化硅气体对大气的污染；
16、s4、当hf报警器报警时或气相色谱仪分析出四氟化硅含量大于0.1ppm，立刻切换尾气处理管路的出口至另一台吸附塔进行四氟化硅尾气的吸附处理。
17、在一个具体的可实施方案中，所述活化过程包括如下步骤:
18、s1、向吸附饱和的第一吸附塔或第二吸附塔内通入高纯水，冲刷1～2小时；
19、s2、然后在60～100℃、0～0.2mpa条件下进行干燥除水，活化完成。
20、本专利技术的积极效果：
21、采用两台吸附塔的配置，一台用于吸附尾气中的四氟化硅时，另一台进行再生活化操作。在实际生产中，可保证尾气处理工艺能够不间断地连续进行。
22、该尾气处理装置具有处理温度低、流速快、制作和运行成本低、活化再生方便等特点。对于去除四氟化硅精馏过程中产生的高纯度四氟化硅尾气具有高效的吸附和去除作用。吸附剂的可再生能力强，制备工艺和活化工艺简单。尾气处理工艺本身对环境的影响小，具有环保、节能的优点。
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1.一种四氟化硅精馏过程中的尾气处理装置，其特征在于，包括第一吸附塔(1)以及与所述第一吸附塔(1)连接的第二吸附塔(2)，所述第一吸附塔(1)和所述第二吸附塔(2)之间并联，所述第一吸附塔(1)和所述第二吸附塔(2)上连接有储液罐(3)，所述储液罐(3)内装有氢氧化钙溶液，所述储液罐(3)与所述第一吸附塔(1)和所述第二吸附塔(2)之间设置有气相色谱仪(4)。
2.根据权利要求1所述的一种四氟化硅精馏过程中的尾气处理装置，其特征在于，所述第一吸附塔(1)和所述第二吸附塔(2)上设置有进气口和出气口，所述第一吸附塔(1)和所述第二吸附塔(2)内安装有氧化铝多孔海绵。
3.根据权利要求1所述的一种四氟化硅精馏过程中的尾气处理装置，其特征在于，所述第一吸附塔(1)和所述第二吸附塔(2)的外壳分别采用玻璃钢和不锈钢。
4.一种用于权利要求1～3中所述四氟化硅精馏过程中的尾气处理方法，其特征在于，所述尾气处理方法依次经过改性过程、尾气处理过程和活化过程。
5.根据权利要求4所述的一种四氟化硅精馏过程中的尾气处理方法，其特征在于，所述改性过程
6.根据权利要求4所述的一种四氟化硅精馏过程中的尾气处理方法，其特征在于，所述尾气处理过程包括如下步骤：
7.根据权利要求4所述的一种四氟化硅精馏过程中的尾气处理方法，其特征在于，所述活化过程包括如下步骤:
...【技术特征摘要】
1.一种四氟化硅精馏过程中的尾气处理装置，其特征在于，包括第一吸附塔(1)以及与所述第一吸附塔(1)连接的第二吸附塔(2)，所述第一吸附塔(1)和所述第二吸附塔(2)之间并联，所述第一吸附塔(1)和所述第二吸附塔(2)上连接有储液罐(3)，所述储液罐(3)内装有氢氧化钙溶液，所述储液罐(3)与所述第一吸附塔(1)和所述第二吸附塔(2)之间设置有气相色谱仪(4)。
2.根据权利要求1所述的一种四氟化硅精馏过程中的尾气处理装置，其特征在于，所述第一吸附塔(1)和所述第二吸附塔(2)上设置有进气口和出气口，所述第一吸附塔(1)和所述第二吸附塔(2)内安装有氧化铝多孔海绵。
3.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张威，张帅，白犇，樊文端，张净普，户帅帅，刘波涛，张乾程，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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