【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于六氟化钨合成装置，具体地涉及一种连续式六氟化钨合成反应器。
技术介绍
1、随着集成电路技术由化学气相沉积转变为原子层沉积，以及3d闪存技术的发展使得式六氟化钨高纯气体用量增加。目前的六氟化钨合成反应为间歇式反应釜，首先将钨粉加入反应器，然后通入三氟化氮或氟氮混合气进行反应，根据出口气体分析判断反应结束，不能实现连续生产，生产效率低下，另外所需的设备多，安装复杂，生产成本高，且存在易泄露的风险。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的不能实现连续生产，生产效率低下，另外所需的设备多，安装复杂，生产成本高，且存在易泄露的风险问题，而提出的一种连续式六氟化钨合成反应器。
2、本专利技术的技术方案：
3、一种连续式六氟化钨合成反应器，包括筒体，所述筒体上部设置有加料管和出气管，所述出气管的底部设置在所述筒体的内部，所述加料管的顶端设置有料斗；所筒体内部设置有进气管，所述进气管的下端穿出筒体，进气管的上端和所述加料管下端相对设置且之间有间隙，与加料管间距50～100mm；设置在所述筒体内部的进气管上设置有喷嘴和内塔板，所述筒体内壁上设置有外塔板，所述内塔板和外塔板交替设置。
4、优选的，所述筒体下部外壁设有加热瓦，中、上部外壁设有夹套冷却器；所述夹套冷却器下部设有冷却水进口，上部设有冷却水出口。
5、优选的，所述出气管设置在筒体的顶部中心，所述出气管下部侧面均匀设置收集孔，收集反应气体。
6、优选
7、优选的，所述加料管中间设置第一插板阀和第二插板阀，所述第一插板阀和第二插板阀设置在筒体外部。
8、优选的，所述筒体顶部设有压力监测点p，侧壁设有第一温度监测点t1和第二温度监测点t2。
9、优选的，所述第一温度监测点t1位于侧壁上部，所述第二温度监测点t2位于侧壁的中部。
10、优选的，所述内塔板和外塔板上均开设风帽，所述内塔板和外塔板之间设有定位销，相互固定。
11、优选的，所述内塔板在远离进气管一端设置有堰边，所述外塔板在远离内壁的一端设置有堰边。
12、优选的，所述内塔板和外塔板与水平面设有大于0度的一个角度。
13、本专利技术获得的有益效果为：
14、本专利技术采用内塔板和外塔板交替布置，实现固体钨粉靠重力自上而下流动并与原料气在塔板上接触反应；实现自动加料，气、固相充分接触，提高反应效率，操作稳定简单。
15、具体为：
16、1、采用内塔板、外塔板倾斜交错布置，且内塔板和外塔板均设置堰边，实现固体钨粉靠重力自上而下流动并与原料气在塔板上接触反应，实现钨粉均匀分布；
17、2、利用内塔板、外塔板交错布置形式，塔板上有一定数量风帽，增大气、固相接触比表面积，提高反应效率，有利于缩小反应器体积；
18、3、利用钨粉颗粒具有一定的安息角特性，随着反应进行可实现钨粉自动补料，实现反应器连续运行；
19、4、原料气从下部进入，反应产物向上穿过塔板，同时和上部钨粉进行热交换，有利于能量回收，降低能耗；
20、5、钨粉相对移动速度较小，降低因钨粉流动对反应器的摩擦腐蚀，延迟反应器的寿命；
21、6、反应器操作简便，安全性高。
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1.一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，包括筒体(1)，所述筒体(1)上部设置有加料管(2)和出气管(6)，所述出气管(6)的底部设置在所述筒体(1)的内部，所述加料管(2)的顶端设置有料斗(3)；所筒体(1)内部设置有进气管(8)，所述进气管(8)的下端穿出筒体(1)，进气管(8)的上端和所述加料管(2)下端相对设置且之间有间隙；设置在所述筒体(1)内部的进气管(8)上设置有喷嘴(9)和内塔板(14)，所述筒体(1)内壁上设置有外塔板(7)，所述内塔板(14)和外塔板(7)交替设置。
2.根据权利要求1所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述筒体(1)下部外壁设有加热瓦(13)，中、上部外壁设有夹套冷却器(10)；所述夹套冷却器(10)下部设有冷却水进口(11)，上部设有冷却水出口(12)。
3.根据权利要求1所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述出气管(6)设置在筒体(1)的顶部中心，所述出气管(6)下部侧面均匀设置收集孔。
4.根据权利要求1所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述喷嘴(9)设置
5.根据权利要求1所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述加料管(2)中间设置第一插板阀(4)和第二插板阀(5)，所述第一插板阀(4)和第二插板阀(5)设置在筒体(1)外部。
6.根据权利要求1所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述筒体(1)顶部设有压力监测点P(15)，侧壁设有第一温度监测点T1(16)和第二温度监测点T2(17)。
7.根据权利要求6所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述第一温度监测点T1(16)位于侧壁上部，所述第二温度监测点T2(17)位于侧壁的下部。
8.根据权利要求1所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述内塔板(14)和外塔板(7)上均开设风帽(18)，所述内塔板(14)和外塔板(7)之间设有定位销。
9.根据权利要求1所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述内塔板(14)在远离进气管(8)一端设置有堰边，所述外塔板(7)在远离内壁的一端设置有堰边。
10.根据权利要求1所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述内塔板(14)和外塔板(7)与水平面设有大于0度的一个角度。
...【技术特征摘要】
1.一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，包括筒体(1)，所述筒体(1)上部设置有加料管(2)和出气管(6)，所述出气管(6)的底部设置在所述筒体(1)的内部，所述加料管(2)的顶端设置有料斗(3)；所筒体(1)内部设置有进气管(8)，所述进气管(8)的下端穿出筒体(1)，进气管(8)的上端和所述加料管(2)下端相对设置且之间有间隙；设置在所述筒体(1)内部的进气管(8)上设置有喷嘴(9)和内塔板(14)，所述筒体(1)内壁上设置有外塔板(7)，所述内塔板(14)和外塔板(7)交替设置。
2.根据权利要求1所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述筒体(1)下部外壁设有加热瓦(13)，中、上部外壁设有夹套冷却器(10)；所述夹套冷却器(10)下部设有冷却水进口(11)，上部设有冷却水出口(12)。
3.根据权利要求1所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述出气管(6)设置在筒体(1)的顶部中心，所述出气管(6)下部侧面均匀设置收集孔。
4.根据权利要求1所述的一种连续式六氟化钨合成反应器，其特征在于，所述喷嘴(9)设置在进气管(8)侧壁，所述内塔板(14)均匀设置在进气管(8)外壁上。...
【专利技术属性】
技术研发人员：李海军，路光辉，张宏磊，旷军，韩士全，潘姝言，罗智方，王华，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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