已充气填充容器和E-1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯的保存方法技术

提供所填充的E

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】已充气填充容器和E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的保存方法


[0001]本专利技术涉及已充气填充容器和E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的保存方法。

技术介绍

[0002]在干式蚀刻中，为了稳定地进行微细加工，要求干式蚀刻气体为高纯度(例如99.9体积％以上)。另外，干式蚀刻气体在被填充到填充容器中的状态下保存直至使用时为止，所以需要在填充容器中长期维持高纯度。
[0003]专利文献1公开了将可用作干式蚀刻气体的2
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氟丁烷、2
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氟
‑2‑
甲基丙烷和2
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氟戊烷长期维持高纯度地保存的技术。在专利文献1公开的技术中，通过在附着于内表面的铝量少的锰钢制填充容器中填充2
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氟丁烷、2
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氟
‑2‑
甲基丙烷或2
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氟戊烷，来抑制纯度降低。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献1：国际公开第2016/117464号

技术实现思路

[0006]曾对利用E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯作为半导体制造用的干式蚀刻气体进行了研究，但由于E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯在分子内具有双键，因此与2
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氟丁烷、2
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氟
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甲基丙烷和2
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氟戊烷相比稳定性低，在保存时容易引起异构化、聚合、分解等反应。
[0007]因此，如果对E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯应用专利文献1公开的技术，则在长期保存中会发生异构化、聚合、分解等反应，使纯度降低。
[0008]本专利技术的课题在于提供所填充的E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的纯度在长期不易降低的已充气填充容器、以及E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的保存方法。
[0009]为了解决上述课题，本专利技术一方式如以下的[1]～[13]所述。
[0010][1]一种已充气填充容器，是在填充容器中填充E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯而得到的，
[0011]在所述填充容器之中与所填充的所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯接触的部分，是由铜的浓度小于0.5质量％的金属形成的。
[0012][2]根据[1]所述的已充气填充容器，在所述填充容器之中与所填充的所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯接触的部分，是由铜的浓度小于0.4质量％的金属形成的。
[0013][3]根据[1]或[2]所述的已充气填充容器，所述金属为钢。
[0014][4]根据[1]或[2]所述的已充气填充容器，所述金属为锰钢和铬钼钢中的至少一种。
[0015][5]根据[1]～[4]中任一项所述的已充气填充容器，所述铜的浓度是采用X射线光电子能谱分析法测定的。
[0016][6]根据[1]～[5]中任一项所述的已充气填充容器，所述填充容器具备：收纳有所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的储气瓶、以及开启关闭使所述储气瓶内部的所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯流向外部的流路的阀。
[0017][7]根据[1]～[6]中任一项所述的已充气填充容器，填充的所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的纯度为99.90体积％以上。
[0018][8]一种E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的保存方法，将E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯填充到填充容器中进行保存，
[0019]在所述填充容器之中与所填充的所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯接触的部分，由铜的浓度小于0.5质量％的金属形成。
[0020][9]根据[8]所述的E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的保存方法，在所述填充容器之中与所填充的所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯接触的部分，由铜的浓度小于0.4质量％的金属形成。
[0021][10]根据[8]或[9]所述的E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的保存方法，所述金属为钢。
[0022][11]根据[8]或[9]所述的E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的保存方法，所述金属为锰钢和铬钼钢中的至少一种。
[0023][12]根据[8]～[11]中任一项所述的E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的保存方法，所述铜的浓度是采用X射线光电子能谱分析法测定的。
[0024][13]根据[8]～[12]中任一项所述的E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的保存方法，填充的所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的纯度为99.90体积％以上。
[0025]根据本专利技术，所填充的E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的纯度长期不易降低。
具体实施方式
[0026]以下，对本专利技术一实施方式进行说明。再者，本实施方式示出本专利技术的一例，本专利技术并不限定于本实施方式。另外，可以对本实施方式施加各种变更或改良，那样的施加变更或改良后的方式也包含在本专利技术中。
[0027]E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯被研究本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种已充气填充容器，是在填充容器中填充E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯而得到的，在所述填充容器之中与所填充的所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯接触的部分，是由铜的浓度小于0.5质量％的金属形成的。2.根据权利要求1所述的已充气填充容器，在所述填充容器之中与所填充的所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯接触的部分，是由铜的浓度小于0.4质量％的金属形成的。3.根据权利要求1或2所述的已充气填充容器，所述金属为钢。4.根据权利要求1或2所述的已充气填充容器，所述金属为锰钢和铬钼钢中的至少一种。5.根据权利要求1～4中任一项所述的已充气填充容器，所述铜的浓度是采用X射线光电子能谱分析法测定的。6.根据权利要求1～5中任一项所述的已充气填充容器，所述填充容器具备：收纳有所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的储气瓶、以及开启关闭使所述储气瓶内部的所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
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丁烯流向外部的流路的阀。7.根据权利要求1～6中任一项所述的已充气填充容器，填充的所述E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
‑2‑
丁烯的纯度为99.90体积％以上。8.一种E
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1,1,1,4,4,4
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六氟
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丁烯的保存方法，将E
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【专利技术属性】
技术研发人员：谷本阳祐，铃木淳，
申请(专利权)人：株式会社力森诺科，
类型：发明
国别省市：