氟-2-丁烯的保存方法技术

提供一种在保存中不易进行异构化反应的氟

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氟
‑2‑
丁烯的保存方法


[0001]本专利技术涉及氟
‑2‑
丁烯的保存方法。

技术介绍

[0002]专利文献1、2等公开的不饱和氟碳化合物被用作干蚀刻的蚀刻气体。在不饱和氟碳化合物之中，氟
‑2‑
丁烯作为可在最尖端的干蚀刻工艺中使用的蚀刻气体受到关注。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利公报第6451810号
[0006]专利文献2：日本专利公开公报2019年第034972号

技术实现思路

[0007]但是，氟
‑2‑
丁烯存在Z型、E型的几何异构体，在长期保存中可能会进行异构化反应。
[0008]本专利技术的课题是提供一种在保存中不易进行异构化反应的氟
‑2‑
丁烯的保存方法。
[0009]为了解决上述课题，本专利技术的一方案如以下的[1]～[3]所述。
[0010][1]一种氟
‑2‑
丁烯的保存方法，所述氟
‑2‑
丁烯由通式C4H
x
F
y
表示，所述通式中的x为0以上且7以下，y为1以上且8以下，并且x+y为8，
[0011]使所述氟
‑2‑
丁烯不含有氟化氢作为杂质而将所述氟
‑2‑
丁烯保存在容器内，
[0012]或者在所述氟
‑2‑
丁烯含有所述氟化氢时，将气相部的氟化氢的浓度设为100体积ppm以下，而将所述氟
‑2‑
丁烯保存在容器内。
[0013][2]根据[1]所述的氟
‑2‑
丁烯的保存方法，所述氟
‑2‑
丁烯是选自Z
‑
1,1,1,4,4,4
‑
六氟
‑2‑
丁烯、E
‑
1,1,1,4,4,4
‑
六氟
‑2‑
丁烯、Z
‑
1,1,1,2,4,4,4
‑
七氟
‑2‑
丁烯、E
‑
1,1,1,2,4,4,4
‑
七氟
‑2‑
丁烯、Z
‑
1,1,1,2,3,4,4,4
‑
八氟
‑2‑
丁烯和E
‑
1,1,1,2,3,4,4,4
‑
八氟
‑2‑
丁烯中的至少一种。
[0014][3]根据[1]或[2]所述的氟
‑2‑
丁烯的保存方法，在
‑
20℃以上且50℃以下的温度下保存。
[0015]根据本专利技术，在保存中不易进行氟
‑2‑
丁烯的异构化反应。
具体实施方式
[0016]以下，对本专利技术一实施方式进行说明。再者，本实施方式表示本专利技术的一例，本专利技术并不限定于本实施方式。另外，可以对本实施方式施加各种变更或改良，施加了这样的变更或改良后的方式也包含在本专利技术中。
[0017]本实施方式的氟
‑2‑
丁烯的保存方法，是由通式C4H
x
F
y
表示，通式中的x为0以上且7以下，y为1以上且8以下并且x+y为8的氟
‑2‑
丁烯的保存方法，使氟
‑2‑
丁烯含有或不含有氟
化氢(HF)作为杂质，在含有所述氟化氢时，将气相部的氟化氢浓度设为100体积ppm以下而将氟
‑2‑
丁烯保存在容器内。
[0018]如果氟
‑2‑
丁烯含有氟化氢作为杂质，则因氟化氢的催化作用而促进氟
‑2‑
丁烯的异构化反应。因此，含有氟化氢的氟
‑2‑
丁烯恐怕会在保存中进行异构化反应，使纯度降低。
[0019]通过本实施方式的氟
‑2‑
丁烯的保存方法保存的氟
‑2‑
丁烯，不含有氟化氢，或者即使含有氟化氢其含量也少，因此即使长期保存也不易进行异构化反应，不易引起纯度降低。因此，能够长期稳定地保存氟
‑2‑
丁烯。
[0020]在专利文献1、2公开的技术中，并未考虑不饱和氟碳化合物中的氟化氢浓度。因此，根据专利文献1、2公开的技术保存氟
‑2‑
丁烯的情况下，氟
‑2‑
丁烯的异构化反应被氟化氢促进。结果，氟
‑2‑
丁烯在保存中进行异构化反应，使纯度降低。
[0021]以下，对本实施方式的氟
‑2‑
丁烯的保存方法更详细地说明。
[0022][氟
‑2‑
丁烯][0023]本实施方式的氟
‑2‑
丁烯由通式C4H
x
F
y
表示，并且满足通式中的x为0以上且7以下，y为1以上且8以下和x+y为8这3个条件。氟
‑2‑
丁烯的种类只要满足上述条件就没有特别限定。
[0024]作为氟
‑2‑
丁烯的具体例，可举出(Z)
‑
CHF2‑
CF＝CF
‑
CF3、(E)
‑
CHF2‑
CF＝CF
‑
CF3、(Z)
‑
CF3‑
CH＝CF
‑
CF3、(E)
‑
CF3‑
CH＝CF
‑
CF3、(Z)
‑
CH2F
‑
CF＝CF
‑
CF3、(E)
‑
CH2F
‑
CF＝CF
‑
CF3、(Z)
‑
CHF2‑
CH＝CF
‑
CF3、(E)
‑
CHF2‑
CH＝CF
‑
CF3、(Z)
‑
CHF2‑
CF＝CF
‑
CHF2、(E)
‑
CHF2‑
CF＝CF
‑
CHF2、(Z)
‑
CF3‑
CH＝CH
‑
CF3、(E)
‑
CF3‑
CH＝CH
‑
CF3、(Z)
‑
CH3‑
CF＝CF
‑
CF3、(E)
‑
CH3‑
CF＝CF
‑
CF3、(Z)
‑
CH2F
‑
CH＝CF
‑
CF3、(E)
‑
CH2F
‑
CH＝CF
‑
CF3、(Z)
‑
CH2F
‑
CF＝CH<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种氟
‑2‑
丁烯的保存方法，所述氟
‑2‑
丁烯由通式C4H
x
F
y
表示，所述通式中的x为0以上且7以下，y为1以上且8以下，并且x+y为8，使所述氟
‑2‑
丁烯不含有氟化氢作为杂质而将所述氟
‑2‑
丁烯保存在容器内，或者在所述氟
‑2‑
丁烯含有所述氟化氢时，将气相部的氟化氢的浓度设为100体积ppm以下，而将所述氟
‑2‑
丁烯保存在容器内。2.根据权利要求1所述的氟
‑2‑
丁烯的保存方法，所述氟
‑2‑
丁烯是选自Z
‑
1,1,1,4,4,4
‑
六氟
‑2‑
丁烯、E
...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木淳，
申请(专利权)人：株式会社力森诺科，
类型：发明
国别省市：