一种可双轴拉伸自旋阀传感器及其制备方法和应用技术

本发明专利技术提供了一种可双轴拉伸自旋阀传感器的制备方法，包括以下步骤：S1：制备固化PDMS衬底；S2：在所述柔性衬底上覆盖带有正方形孔状阵列的金属掩模版；S3：在柔性衬底上沉积自旋阀薄膜；S4：更换电极掩模版，利用磁控溅射沉积一层铂至所述柔性衬底，随后刮涂液态金属作为导线和电极，制作得到可双轴拉伸自旋阀传感器。本发明专利技术还包括该可双轴拉伸自旋阀传感器及其应用。通过本发明专利技术的制备方法解决了自旋阀传感器的可拉伸性问题，得到了具有更优良的可拉伸性能的可双轴拉伸自旋阀传感器。伸性能的可双轴拉伸自旋阀传感器。伸性能的可双轴拉伸自旋阀传感器。

【技术实现步骤摘要】
一种可双轴拉伸自旋阀传感器及其制备方法和应用


[0001]本专利技术涉及传感器
，具体而言，涉及一种可双轴拉伸自旋阀传感器及其制备方法和应用。

技术介绍

[0002]柔性化是目前电子产品的重要发展趋势之一，磁电器件可以为电子产品提供方向感、位移感，增加非接触交互体验，而柔性化则给它们带来可弯曲、可拉伸等特性。
[0003]自旋阀传感器是基于巨磁电阻效应的一种磁电器件，其核心结构主要由钉扎层、被钉扎层、隔离层和自由层四个部分组成。其中自由层的磁化相对取向会随外加磁场的变化而改变，使器件呈现高、低两种不同阻态，这赋予了它磁场探测范围大，工作磁场小的优点。
[0004]目前研发的柔性自旋阀传感器仅能沿预拉伸方向拉伸，无法实现双轴拉伸乃至多向拉伸，且大面积的柔性自旋阀薄膜在拉伸的时候易产生裂纹，导致器件失效，无法满足器件柔性可穿戴的要求。同时，可双轴拉伸的传感器要求与自旋阀薄膜相匹配的可拉伸导线与电极，在自旋阀薄膜微型化之后制备电极变得困难，且传统金属薄膜导线和电极在拉伸状态下容易开裂，增加了器件的故障概率。<br/>
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可双轴拉伸自旋阀传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、将柔性衬底裁剪成正方形，称取PDMS与固化剂，将所述PDMS与所述固化剂混合并除去内部气泡得到PDMS溶液，将所述柔性衬底放在匀胶机吸盘上吸住，将所述PDMS溶液滴加在所述柔性衬底上，进行旋涂处理得到旋涂后的PDMS衬底，将所述旋涂后的PDMS衬底进行烘烤固化，得到固化PDMS衬底；S2、将所述步骤S1制得的固化PDMS衬底裁剪为十字架形，将裁剪好的柔性衬底固定在双轴拉伸夹具上，对柔性衬底分别沿X方向和Y方向进行双轴预拉伸，在所述柔性衬底上覆盖带有正方形孔状阵列的金属掩模版；S3、利用磁控溅射在所述步骤S2处理后的柔性衬底上沉积自旋阀薄膜，沉积结束后取下所述金属掩模版并依次解除X方向和Y方向上的预拉伸；S4、将所述步骤S3中得到的所述柔性衬底取下，更换电极掩模版，在显微镜下将电极掩模版对准所述柔性衬底的自旋阀薄膜区域，利用磁控溅射沉积一层铂至所述柔性衬底，随后刮涂液态金属作为导线和电极，制作得到可双轴拉伸自旋阀传感器。2.根据权利要求1所述的可双轴拉伸自旋阀传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤S1中...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢亚丽，李欣泽，杨华礼，朱小健，李润伟，刘慧媛，潘礼礼，胡海旭，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：