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本发明提供了一种可双轴拉伸自旋阀传感器的制备方法,包括以下步骤:S1:制备固化PDMS衬底;S2:在所述柔性衬底上覆盖带有正方形孔状阵列的金属掩模版;S3:在柔性衬底上沉积自旋阀薄膜;S4:更换电极掩模版,利用磁控溅射沉积一层铂至所述柔性衬...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
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本发明提供了一种可双轴拉伸自旋阀传感器的制备方法,包括以下步骤:S1:制备固化PDMS衬底;S2:在所述柔性衬底上覆盖带有正方形孔状阵列的金属掩模版;S3:在柔性衬底上沉积自旋阀薄膜;S4:更换电极掩模版,利用磁控溅射沉积一层铂至所述柔性衬...